PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகு

Semicorex PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகு என்பது பிளாஸ்மா-மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (PECVD) செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் அத்தியாவசிய கிராஃபைட் கேரியர் மற்றும் எலக்ட்ரோடு கூறு ஆகும். சவாலான உயர்-வெப்பநிலை பிளாஸ்மா இயக்க நிலைகளில் படப் படிவுகளை (சிலிக்கான் நைட்ரைடு எதிர்-பிரதிபலிப்பு படங்கள் போன்றவை) அடைய சிலிக்கான் செதில்கள் அல்லது சூரிய மின்கலங்களை ஆதரிக்க அவை பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

செமிகோரெக்ஸ்PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகுகள்உயர் தூய்மையிலிருந்து துல்லியமாக உருவாக்கப்படுகின்றனஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட். செமிகோரெக்ஸில் இருந்து ஒவ்வொரு PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகும் துல்லியமான எந்திரம், பரிமாண ஆய்வு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை பிளாஸ்மா சூழல்களில் நிலையான செயல்திறனை உறுதிப்படுத்த மின் செயல்திறன் சோதனைக்கு உட்படுகிறது.

PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகின் வேலை பொறிமுறைs

PECVD செயலாக்கத்தின் போது, PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகு சிலிக்கான் செதில்களை PECVD எதிர்வினை அறைக்குள் கொண்டு செல்கிறது மற்றும் RF மின் விநியோகத்துடன் இணைக்கப்பட்ட மின்முனையாக செயல்படுகிறது. அருகிலுள்ள படகு தட்டுகளுக்கு இடையில் மாற்று மின்னழுத்தம் பயன்படுத்தப்படும் போது, ஒரு மின்சார புலம் நிறுவப்படுகிறது. மின்சார புலத்தின் செல்வாக்கின் கீழ், எதிர்வினை வாயுக்கள் (சிலேன் SiH₄ மற்றும் அம்மோனியா NH₃ போன்றவை) பளபளப்பான வெளியேற்றத்திற்கு உட்பட்டு பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகின்றன. பிளாஸ்மாவில் உள்ள அயனிகள் மற்றும் ஃப்ரீ ரேடிக்கல்கள் முன்னோடி வாயுக்களை சிதைத்து, சிலிக்கான் (Si) மற்றும் நைட்ரஜன் (N) அயனிகளை உருவாக்குகின்றன. இந்த அயனிகள் ஒன்றிணைந்து சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si₃N₄) மூலக்கூறுகளை உருவாக்குகின்றன, பின்னர் அவை சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் வைக்கப்பட்டு மெல்லிய படலங்களை உருவாக்குகின்றன.

PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகின் நன்மைகள்

1. விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை

சிலிக்கான் செதில்களுக்கு நெருக்கமான வெப்ப விரிவாக்க குணகம், செமிகார்க்ஸ்PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகுவெப்பமூட்டும் போது மிகக் குறைவான பரிமாண மாற்றத்தை அனுபவிக்கிறது, இது வெப்ப அழுத்தத்தால் செதில்களுக்கு ஏற்படும் சேதத்தை நம்பகத்தன்மையுடன் தவிர்க்கிறது.

2. உயர்ந்த மின் மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன்

செமிகோரெக்ஸ் PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகுகள் சிறந்த மின் கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளன, இது RF மின்னோட்டத்தின் விரைவான கடத்தல் மற்றும் சீரான மின்சார புல விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது நிலையான பிளாஸ்மா உருவாக்கம் மற்றும் சீரான சிலிக்கான் செதில் படிவு ஆகியவற்றிற்கு நன்மை பயக்கும். கூடுதலாக, அதன் உயர்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் விரைவான குளிரூட்டல் மற்றும் வெப்பத்தை எளிதாக்குகிறது, உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது, அதே நேரத்தில் உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட அதிக வெப்பம் படிவு தரத்தை பாதிக்காமல் தடுக்கிறது.

3. வலுவான இரசாயன நிலைத்தன்மை

பிரீமியம் தரப் பொருட்களின் பயன்பாட்டிற்கு நன்றி, செமிகோரெக்ஸ் PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகு எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவுடன் எதிர்வினைக்கு குறைவாகவே உள்ளது. இந்த பண்பு கிராஃபைட் படகில் அரிப்பு, சிதைவு அல்லது தூய்மையற்ற படிவு ஆகியவற்றால் ஏற்படும் சீரற்ற மின்சார புல விநியோகத்தை கணிசமாக தடுக்கிறது, இதனால் படிவு செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பு தரத்தை உறுதி செய்கிறது.

4. சிறந்த இயந்திர வலிமை

அதன் சிறந்த இயந்திர வலிமையுடன், Semicorex PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகு அதிக அளவு செதில் சுமைகளின் எடையை எளிதில் கையாளும். ஏற்றுதல் மற்றும் போக்குவரத்தின் போது ஏற்படும் இயந்திர அழுத்தத்தை அவை எளிதில் சிதைக்காமல் அல்லது உடைக்காமல் நீண்ட நேரம் தாங்கும்.

5. சிறந்த பரிமாண நிலைத்தன்மை

செமிகோரெக்ஸ் PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகு துல்லியமான எந்திரத்தின் மூலம் அனைத்து கூறுகளிலும் விதிவிலக்கான பரிமாண துல்லியத்தை அடைகிறது. இது படிவுகளின் போது சிலிக்கான் செதில்களை ஒரு நிலையான நிலையில் வைத்திருக்கிறது, இது சீரான படிவு மற்றும் தானியங்கு உற்பத்தியுடன் இணக்கத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

சூடான குறிச்சொற்கள்: PECVD சோலார் கிராஃபைட் படகு, சீனா, உற்பத்தியாளர்கள், சப்ளையர்கள், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, மொத்தமாக, மேம்பட்ட, நீடித்தது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை