செமிகோரெக்ஸின் பிபிஎன் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் செதில்களைக் கையாளும் துறையில் அதன் தனித்துவமான பொருள் பண்புகளால் தனித்து நிற்கிறது.
பொருள் பண்புகள்பிபிஎன்மின்னியல் சக்
உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் மின்கடத்தா வலிமை
திபிபிஎன்எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் அதன் விதிவிலக்கான உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பிற்காக புகழ்பெற்றது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் முக்கிய அம்சமாகும். பைரோலிடிக் போரான் நைட்ரைடு (PBN), சக்கின் கட்டுமானத்தில் பயன்படுத்தப்படும் பொருள், பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் மட்பாண்டங்களை விட அதிக எதிர்ப்புத் திறனை வெளிப்படுத்துகிறது, இது ஜான்சன்-ரஹ்பெக் (J-R) சக் விசையை 1050 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலை வரை பராமரிக்க முக்கியமானது. இந்த உயர் மின்தடை, அதன் உயர் மின்கடத்தா வலிமையுடன் இணைந்து, கடுமையான வெப்பத்தில் கூட மின் முறிவு திறம்பட தடுக்கப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, இதன் மூலம் சக்கின் செயல்பாட்டு நம்பகத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது.
வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு
1500°Cக்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்பட்ட PBN இன் அறுகோண லட்டு அமைப்பு, அதன் சிறந்த வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் அதிர்ச்சி எதிர்ப்பிற்கு பங்களிக்கிறது. உள்ளே அதிக அடர்த்தி வெப்பமூட்டும் கூறுகள்பிபிஎன்600-800 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையில் 1.1-1.5% நல்ல சீரான சீரான செதில் வெப்ப சுயவிவரத்தை அடைய மின்னியல் சக் உதவுகிறது. மேலும், PBN-அடிப்படையிலான சக் குறிப்பிடத்தக்க வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த வெப்ப வெகுஜனத்தை நிரூபிக்கிறது, இது 600 ° C ஐ 23 ° C/செகண்ட் வேகத்தில் விரிசல் அல்லது சிதைவு ஆபத்து இல்லாமல் அடைய அனுமதிக்கிறது.
தனிப்பயனாக்கக்கூடிய பல மண்டல வெப்பமாக்கல்
பிபிஎன் மின்னியல் சக் மிகவும் தனிப்பயனாக்கக்கூடியது, அதிகபட்ச வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கும் பல-மண்டல வெப்பமூட்டும் திறன்களைக் கொண்டுள்ளது. தனிப்பயனாக்கத்தின் இந்த நிலை, ஒவ்வொரு சக்கையும் தனிப்பட்ட வாடிக்கையாளர்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, இது பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்கு நெகிழ்வான தீர்வை வழங்குகிறது.
பயன்பாடுகள்பிபிஎன்மின்னியல் சக்
அயன் இம்ப்லாண்டேஷன் மற்றும் வேஃபர் கையாளுதல்
பிபிஎன் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் என்பது அயன் பொருத்துதல் செயல்முறைகளில் விருப்பமான செதில்-கையாளுதல் கருவியாகும். 1000°C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் செதில்களை வைத்திருக்கும் அதன் திறன் சந்தையில் உள்ள பல்துறை மின்னியல் சக்களில் ஒன்றாகும். அதிக அடர்த்தி, மல்டிசோன் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கு நன்றி, மிகவும் இறுக்கமான வெப்பநிலை வரம்புகளுக்குள் செதில்களைப் பராமரிக்கும் திறனால் இந்த பல்துறை மேலும் மேம்படுத்தப்படுகிறது.
சிலிக்கான் கார்பைடு அயன் பொருத்துதல்
SiC அயன் பொருத்துதலின் குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டில், திபிபிஎன்மின்னியல் சக் செதில் வெப்பமாக்கல் மற்றும் கையாளுதலின் சவால்களுக்கு சாத்தியமான தீர்வை வழங்குகிறது. அதிக சக் விசை, அதிக வெப்பமூட்டும் சக்தி, நல்ல வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் வேகமான பதில் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய அதன் இரட்டை-செயல்பாட்டு திறன்கள், SiC அயன் பொருத்துதலின் சிக்கலான தேவைகளை நிவர்த்தி செய்வதற்கான சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.
செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி
பிபிஎன் மின்னியல் சக் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, அங்கு துல்லியமான செதில் கையாளுதல் மற்றும் வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு அவசியம். அதன் உயர் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் விரைவான வெப்பநிலை ரேம்பிங் திறன்கள் கடுமையான வெப்பநிலை மேலாண்மை மற்றும் விரைவான வெப்ப சுழற்சியைக் கோரும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.