செமிகோரெக்ஸின் PBN செராமிக் டிஸ்க் ஒரு சிக்கலான இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் ஒருங்கிணைக்கப்படுகிறது, போரான் டிரைக்ளோரைடு (BCl3) மற்றும் அம்மோனியா (NH3) ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி உயர்ந்த வெப்பநிலை மற்றும் குறைந்த அழுத்தங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த தொகுப்பு முறை விதிவிலக்கான தூய்மை மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு கொண்ட ஒரு பொருளை விளைவிக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி தொழிற்துறையில் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது.**
PBN செராமிக் டிஸ்கின் குறிப்பிடத்தக்க நன்மைகளில் ஒன்று அதன் குறிப்பிடத்தக்க உயர் தூய்மை ஆகும். தொகுப்பு செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுப் பொருட்களின் தூய்மை (BCl3 + NH3 -> BN + HCl) வழக்கமான போரான் நைட்ரைடு பொடிகளை விட அதிகமாக உள்ளது. இதன் விளைவாக, PBN செராமிக் டிஸ்க் 99.99% தூய்மை நிலையை அடைகிறது, மொத்த அசுத்தங்கள் ஒரு மில்லியனுக்கு 100 பாகங்களுக்கும் குறைவாக இருக்கும் (பிபிஎம்). இந்த விதிவிலக்கான தூய்மையானது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கியமானது, அங்கு சிறிதளவு மாசுபாடு கூட மின்னணு கூறுகளில் குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும். அத்தகைய உயர் தூய்மையை உறுதி செய்வதன் மூலம், PBN செராமிக் டிஸ்க் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, இதன் மூலம் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.
PBN செராமிக் டிஸ்க்கின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் CVD செயல்முறையானது கிட்டத்தட்ட சரியான அடுக்கு அமைப்புடன் அதை வழங்குகிறது. இந்த தனித்துவமான அமைப்பு அனிசோட்ரோபிக் வெப்ப கடத்துத்திறனை எளிதாக்குகிறது, இது உலை மற்றும் வெற்றிட அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படும் கூறுகளுக்கு மிகவும் நன்மை பயக்கும். அனிசோட்ரோபிக் வெப்ப கடத்துத்திறன் பிபிஎன் பீங்கான் வட்டு வெப்ப விநியோகத்தை திறம்பட நிர்வகிக்க அனுமதிக்கிறது, வட்டின் மேற்பரப்பு முழுவதும் சீரான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. இந்த திறன் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் இன்றியமையாதது, இது கூறு தோல்விகள் அல்லது திறமையின்மைக்கு வழிவகுக்கும் வெப்ப சாய்வுகளைத் தடுக்க துல்லியமான வெப்ப மேலாண்மை தேவைப்படுகிறது.
வெப்ப நெகிழ்ச்சியின் அடிப்படையில், பிபிஎன் செராமிக் டிஸ்க் ஒரு முன்மாதிரியான பொருளாக உள்ளது. இது வெற்றிடச் சூழலில் 1800 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையையும், நைட்ரஜனில் 2000 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையையும், உருகும் புள்ளியை வெளிப்படுத்தாமல் தாங்கும். இந்த அசாதாரண வெப்ப நிலைத்தன்மை உலை கூறுகள் மற்றும் உருகும் பாத்திரங்களுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது, அங்கு தீவிர வெப்பநிலை செயல்பாட்டின் ஒரு வழக்கமான பகுதியாகும். அத்தகைய உயர் வெப்பநிலையில் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கும் திறன் நீண்ட ஆயுளையும் நம்பகத்தன்மையையும் உறுதி செய்கிறது, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது, இதனால் ஒட்டுமொத்த செயல்பாட்டு செலவுகள் குறைக்கப்படுகின்றன.
இரசாயன செயலற்ற தன்மை PBN செராமிக் டிஸ்கின் மற்றொரு தனிச்சிறப்பாகும். இது அமிலங்கள், காரங்கள், கரிம கரைப்பான்கள், உருகிய உலோகங்கள் மற்றும் கிராஃபைட் உள்ளிட்ட பல்வேறு பொருட்களுடன் எதிர்விளைவுகளை எதிர்க்கும். இந்த செயலற்ற தன்மை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் குறிப்பாக சாதகமானது, அங்கு எதிர்வினை பொருட்கள் வெளிப்படுவது பொதுவானது. வினைத்திறனற்றதாக இருப்பதன் மூலம், பிபிஎன் செராமிக் டிஸ்க், செமிகண்டக்டர் கூறுகளின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்பாட்டை சமரசம் செய்யக்கூடிய தேவையற்ற இரசாயன தொடர்புகளைத் தவிர்க்கிறது.
செமிகண்டக்டர் துறையில் பிபிஎன் செராமிக் டிஸ்க்கின் பயன்பாடுகள் பலதரப்பட்டவை மற்றும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகின்றன. அதன் பண்புகள் பல்வேறு உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் உயர்-தூய்மை சூழல்களில் பயன்படுத்த ஒரு சிறந்த பொருள். எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில், எடுத்துக்காட்டாக, படிவு அமைப்புகளில் வட்டு ஒரு முக்கிய அங்கமாக செயல்படுகிறது, அங்கு அதன் தூய்மை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் உயர்தர குறைக்கடத்தி அடுக்குகளின் உற்பத்தியை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, LEDகள் மற்றும் பிற ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களின் உருவாக்கத்தில், PBN செராமிக் டிஸ்க் ஒரு நிலையான மற்றும் நம்பகமான தளத்தை வழங்குகிறது, இது உகந்த சாதன செயல்திறனை அடைய தேவையான சிக்கலான செயல்முறைகளை ஆதரிக்கிறது.
மேலும், PBN செராமிக் டிஸ்க்கின் பங்கு ஆற்றல் மின்னணு சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு நீட்டிக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த சாதனங்கள் பெரும்பாலும் அதிக வெப்பநிலையில் செயல்படுகின்றன மற்றும் அத்தகைய நிலைமைகளின் கீழ் செயல்திறனை பராமரிக்கக்கூடிய பொருட்கள் தேவைப்படுகின்றன. PBN செராமிக் டிஸ்கின் சிறந்த வெப்ப மற்றும் இரசாயன பண்புகள், மின்சக்தி மின்னணு அமைப்புகளில் உள்ள அடி மூலக்கூறுகள் மற்றும் பிற கூறுகளுக்கு பொருத்தமான தேர்வாக அமைகிறது, இந்த சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நீடித்துழைப்புக்கு பங்களிக்கிறது.
போரான் நைட்ரைடு கட்டமைப்புகள்