கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களுக்கு ஏன் CVD SiC பூச்சு பயன்படுத்த வேண்டும்?

மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி தொழிற்துறை விரைவான திறன் விரிவாக்கத்திற்கு உட்பட்டுள்ளது. சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மற்றும் காலியம் நைட்ரைடு (GaN) எபிடாக்ஸி செயல்முறைகள் உயர் வெப்பநிலை இயக்க சூழல்கள், அதி-உயர்-தூய்மை மூலப்பொருட்கள் மற்றும் மினியேட்டரைஸ் செய்யப்பட்ட சிப் சாதனங்களை நோக்கி தொடர்ந்து உருவாகின்றன. ஆயினும்கூட, கடுமையான உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அரிக்கும் வேலை நிலைமைகளுக்கு வெளிப்படும் வழக்கமான பூசப்படாத கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள், செயல்முறை மாசுபாடு, குறுகிய சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அடிக்கடி உபகரணங்களை நிறுத்துதல், உற்பத்தி வரிசை திறன் மற்றும் சிப் விளைச்சலைத் தொடர்ந்து கட்டுப்படுத்துதல் உள்ளிட்ட முக்கியமான வலி புள்ளிகளைத் தூண்டுகின்றன. இந்தத் தொழில்துறை சவால்களை எதிர்கொள்ள, சிவிடி சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தீர்வுகள், பிரத்தியேகமான மெட்டீரியல் செயல்திறன் தகுதிகளுடன், மேம்பட்ட MOCVD மற்றும் MBE எபிடாக்ஸி உற்பத்தி வரிகளுக்கு உகந்த தேர்வாக மாறியுள்ளது.

மேம்பட்ட உற்பத்தியில் பூசப்படாத கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்களின் முக்கிய குறைபாடுகள்

செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி உற்பத்தி தீவிர வேலை நிலைமைகளின் கீழ் செயல்படுகிறது. SiC மற்றும் GaN எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு 1000 °C முதல் 1600 °C வரை நிலையான உயர் வெப்பநிலை தேவைப்படுகிறது.கிராஃபைட் உறிஞ்சிsஹைட்ரஜன், அம்மோனியா மற்றும் ஹைட்ரஜன் குளோரைடு போன்ற அதிக வினைத்திறன் கொண்ட வாயுக்களுக்குத் தொடர்ந்து வெளிப்படும், இது மூன்று மீள முடியாத சிக்கல்களுக்கு வழிவகுக்கிறது:

1. துகள் தூண்டப்பட்ட மாசுபாடு

பாதுகாப்பற்ற கிராஃபைட் சசெப்டர்கள் ஏராளமான துளைகளைக் கொண்டுள்ளன. அதிக வெப்பநிலையின் கீழ், அவை வாயு அரிப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு உதிர்தல் ஆகியவற்றிற்கு ஆளாகின்றன, நுண்ணிய துகள்களை உருவாக்குகின்றன. இந்த துகள்கள் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளுடன் இணைந்தவுடன், அவை அதிக அடர்த்தி குறைபாடுகளை உருவாக்குகின்றன மற்றும் மின் சாதனங்கள் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சில்லுகளின் விளைச்சலை வெகுவாகக் குறைக்கின்றன. தற்போதைய தொழில்துறை தூய்மை தரநிலைகள் 7N (99.99999%) ஆக உயர்த்தப்பட்டுள்ளன; சுவடு அசுத்தங்கள் சாதனம் கசிவு மற்றும் சிதைந்த ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் செயல்திறனை ஏற்படுத்தும்.

2. கிராஃபைட் கூறுகளின் விரைவான வயதானது

வெற்று கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்கள் இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டிருக்கவில்லை. அரிக்கும் வளிமண்டலங்களுக்கு நீண்டகால வெளிப்பாடு ஆக்ஸிஜனேற்ற தேய்மானத்தை ஏற்படுத்துகிறது, சஸ்செப்டர்கள், வெப்ப காப்பு பீப்பாய்கள் மற்றும் ஓட்ட வழிகாட்டி சட்டைகள் போன்ற கூறுகளின் சிதைவை துரிதப்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக நுகர்வு கொள்முதல் செலவுகள் தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகின்றன. மேலும், கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களுக்கான வயதான விகிதமானது ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட தரநிலையைக் கொண்டிருக்கவில்லை, இது சஸ்பெப்டர்களின் மாற்று நேரத்தை துல்லியமாக கணிக்க இயலாது, உற்பத்தி அட்டவணையை எளிதில் சீர்குலைக்கிறது.

சிவிடி சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு இயந்திரம் மற்றும் நன்மைகள்

கிராஃபைட் பொருட்கள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த இயந்திரத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன, அவை எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர்களுக்கான சிறந்த விருப்பங்களாக அமைகின்றன. இருப்பினும், அதன் உள்ளார்ந்த இரசாயன வினைத்திறன் குறைபாடுகளை அகற்ற முடியாது, அதிக வெப்பநிலை, அதிக அரிக்கும் எபிடாக்ஸி சூழல்களில் அதன் பொருந்தக்கூடிய தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துகிறது. இரசாயன நீராவி படிவு (CVD)சிலிக்கான் கார்பைடுபூச்சு தொழில்நுட்பம் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்கள் மற்றும் தீவிர செயல்முறை சூழல்களுக்கு இடையே உள்ள இடைமுக இணக்கத்தன்மை மோதலை அடிப்படையாக பொருள் மாற்றத்தின் மூலம் தீர்க்கிறது.

சீல் செய்யப்பட்ட எதிர்வினை அறைக்குள், CVD செயல்முறை துல்லியமாக வாயு-கட்ட எதிர்வினைகளைக் கட்டுப்படுத்துகிறது. சிலிக்கான்-கார்பன் முன்னோடி வாயுக்கள் துல்லியமாக ஒழுங்குபடுத்தப்பட்ட வெப்பநிலையின் கீழ் சிதைந்து, சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களை அணு மட்டத்தில் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளில் வைப்பதன் மூலம் தடையற்ற, முழு அடர்த்தியான ஹெர்மீடிக் பாதுகாப்பு அடுக்கை உருவாக்குகிறது. பூச்சு மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையில் அணு பிணைப்பு உருவாகிறது, இது அரிக்கும் வாயுக்களின் ஊடுருவலைத் தடுக்கிறது மற்றும் உள் கிராஃபைட் அசுத்தங்களைப் பிடிக்கிறது, அதே நேரத்தில் அடி மூலக்கூறின் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தின் வலிமையை முழுமையாகத் தக்க வைத்துக் கொள்கிறது. கலப்பு அமைப்பு சிறந்த பாதுகாப்பு மற்றும் நிலையான வெப்ப புல செயல்திறனை சமநிலைப்படுத்துகிறது.

Semicorex CVD SiC பூச்சு தீர்வுகளை தனித்து நிற்க வைப்பது எது?

CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் ஒரு எளிய பூச்சு சிகிச்சை அல்ல, ஆனால் அனைத்து நிலைகளிலும் பரிமாண துல்லியம், பூச்சு தரம் மற்றும் உபகரண இணக்கத்தன்மை ஆகியவற்றை கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தும் ஒரு முழுமையான ஒருங்கிணைந்த பொறியியல் பணிப்பாய்வு. சீனாவில் ஒரு முன்னணி உள்நாட்டு உற்பத்தியாளராக, Semicorex நிலையான, நீண்ட கால மற்றும் செலவு குறைந்த வழங்குவதற்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது.CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுவாடிக்கையாளர்களுக்கான தீர்வுகள். செமிகோரெக்ஸ் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளைச் செயலாக்க துல்லியமான CNC உபகரணங்களைப் பயன்படுத்துகிறது, அவற்றின் வடிவ விளிம்பு, பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, அடிப்படை சமதளம் மற்றும் பள்ளம் பொருத்துதல் துல்லியம் ஆகியவற்றைக் கட்டுப்படுத்துகிறது. வெவ்வேறு இயக்க நிலைமைகள் மற்றும் பயன்பாட்டுத் தேவைகளுக்காக, செமிகோரெக்ஸின் தொழில்நுட்பக் குழு, பூச்சுக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையே அதிக இணக்கத்தன்மையை உறுதிசெய்ய தனிப்பயனாக்கப்பட்ட பூச்சு தீர்வுகளை வழங்குகிறது, அடிக்கடி வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதலால் ஏற்படும் பூச்சு விரிசல் மற்றும் உரித்தல் தோல்வியைத் திறம்பட தடுக்கிறது. CVD SiC பூச்சு முடிந்ததும், செமிகோரெக்ஸ் பூச்சு அப்படியே, அடர்த்தியானது மற்றும் குறைபாடுகள் இல்லாதது என்பதை உறுதிப்படுத்த முழு-ஸ்பெக்ட்ரம் பூச்சு குறைபாடு பரிசோதனையை நடத்தும், இதனால் கணினியில் CVD சிலிக்கான் கார்பைடு-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ட்ரேயின் நிலைத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது.