சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், ஆக்சிஜனேற்றம் என்பது செதில்களை உயர் வெப்பநிலை சூழலில் வைப்பதை உள்ளடக்குகிறது, அங்கு ஆக்ஸிஜன் செதில் மேற்பரப்பில் பாயும் ஆக்சைடு அடுக்கை உருவாக்குகிறது. இது ரசாயன அசுத்தங்களிலிருந்து செதில்களைப் பாதுகாக்கிறது, மின்சுற்றுக்குள் கசிவு மின்னோட்டத்தைத் தடுக்கிறது, அயனி பொருத்துதலின் போது பரவுவதைத் தடுக்கிறது, மேலும் செதில்களின் போது செதில் வழுக்குதலைத் தடுக்கிறது, செதில் மேற்பரப்பில் ஒரு பாதுகாப்புப் படத்தை உருவாக்குகிறது. இந்த கட்டத்தில் பயன்படுத்தப்படும் உபகரணங்கள் ஒரு ஆக்சிஜனேற்ற உலை ஆகும். எதிர்வினை அறைக்குள் உள்ள முக்கிய கூறுகளில் ஒரு செதில் படகு, அடித்தளம், உலை லைனர் குழாய்கள், உள் உலை குழாய்கள் மற்றும் வெப்ப காப்பு தடுப்புகள் ஆகியவை அடங்கும். அதிக இயக்க வெப்பநிலை காரணமாக, எதிர்வினை அறைக்குள் உள்ள கூறுகளுக்கான செயல்திறன் தேவைகளும் அதிகமாக உள்ளன.

திசெதில் படகுசெதில் போக்குவரத்து மற்றும் செயலாக்கத்திற்கான கேரியராகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதிக ஒருங்கிணைப்பு, அதிக நம்பகத்தன்மை, நிலையான எதிர்ப்பு பண்புகள், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, உடைகள் எதிர்ப்பு, சிதைவுக்கு எதிர்ப்பு, நல்ல நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். செதில் ஆக்சிஜனேற்ற வெப்பநிலை தோராயமாக 800℃ மற்றும் 1300℃ மற்றும் சுற்றுச்சூழலில் உள்ள உலோக அசுத்தங்களின் உள்ளடக்கத்திற்கான தேவைகள் மிகவும் கண்டிப்பானவை என்பதால், செதில் படகு போன்ற முக்கிய கூறுகள் சிறந்த வெப்ப, இயந்திர மற்றும் இரசாயன பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும், ஆனால் மிகக் குறைந்த உலோக மாசுபாட்டைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். அடி மூலக்கூறின் அடிப்படையில், அவற்றை குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகள், சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் செதில் படகுகள், முதலியன பிரிக்கலாம். இருப்பினும், 7nm க்கும் குறைவான செயல்முறை முனைகளின் முன்னேற்றம் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை சாளரங்களின் விரிவாக்கம், பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் படகுகள் படிப்படியாக வெப்ப மேலாண்மை நிலைத்தன்மை, பகுதிநேர நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் போதுமானதாக இல்லை. சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படகுகள் படிப்படியாக பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் தீர்வுகளை மாற்றுகின்றன.

1. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி

ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் அயன் பொருத்துதல் போன்ற சிப் உற்பத்தியின் உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில், SiC படகுகள் சிலிக்கான் செதில்களை ஆதரிக்கப் பயன்படுகின்றன.

2. ஒளிமின்னழுத்த தொழில்

சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் சிறந்த இயந்திர வலிமை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை உலோகம், இயந்திரங்கள், புதிய ஆற்றல் மற்றும் கட்டுமானப் பொருட்களின் இரசாயனங்கள் போன்ற பிரபலமான துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. TOPcon செல்களுக்கு பரவல், LPCVD (குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு) மற்றும் PECVD (பிளாஸ்மா இரசாயன நீராவி படிவு) போன்ற ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தியில் வெப்ப செயல்முறைகளுக்கும் அதன் செயல்திறன் போதுமானது. பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​படகு ஆதரவுகள், சிறிய படகுகள் மற்றும் குழாய் தயாரிப்புகள் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருட்கள் அதிக வலிமை, சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் எந்த சிதைவையும் வழங்காது. அவற்றின் ஆயுட்காலம் குவார்ட்ஸை விட ஐந்து மடங்கு அதிகமாகும், பராமரிப்பு வேலையில்லா நேரத்தின் காரணமாக இயக்க செலவுகள் மற்றும் ஆற்றல் இழப்புகளை கணிசமாகக் குறைக்கிறது. இது ஒரு தெளிவான செலவு நன்மையை விளைவிக்கிறது, மேலும் மூலப்பொருட்கள் பரவலாகக் கிடைக்கின்றன.

3. மூன்றாம் தலைமுறை செமிகண்டக்டர் தொழில்

உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) எதிர்வினை அறைகளில், சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் சபையர் அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிக்கப் பயன்படுகின்றன, அம்மோனியா (NH3) போன்ற அரிக்கும் வாயு சூழல்களைத் தாங்குகின்றன, மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி பொருட்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை ஆதரிக்கின்றன சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சியில், சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சி உலைகளில் சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் விதைப் படிக ஆதரவாகச் செயல்படுகின்றன, உருகிய சிலிக்கானின் உயர் வெப்பநிலை அரிக்கும் சூழலைத் தாங்கி, சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றைப் படிகங்களின் வளர்ச்சிக்கு நிலையான ஆதரவை வழங்குகின்றன.

Semicorex உயர்தர SiC செராமிக் வழங்குகிறதுசெதில் படகுகள். எங்கள் தயாரிப்புகள் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் விதிவிலக்கான செயல்முறை நிலைத்தன்மையை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகள் அல்லது கூடுதல் தொழில்நுட்பத் தகவல்களுக்கு, தயவுசெய்து எங்கள் பொறியியல் குழுவைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

தொலைபேசி: +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com