ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் பற்றிய சுருக்கமான அறிமுகம்

ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (ஆர்டிஏ அல்லது ஆர்டிபி என சுருக்கமாக) குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் விரைவான வெப்ப செயலாக்க தொழில்நுட்பமாகும். அதன் அடிப்படைக் கொள்கையானது, உயர்-தீவிர கதிரியக்க வெப்ப மூலத்தைப் பயன்படுத்தி (ஹலோஜன் விளக்குகள், லேசர்கள், ஃபிளாஷ் விளக்குகள் போன்றவை) செதில்களின் மேற்பரப்பை விரைவாக வெப்பப்படுத்துவதாகும்.

அனீலிங் செயல்முறைகளின் முக்கிய வகைகள்

மேம்பட்ட உற்பத்தி முனைகளில் எப்போதும்-குறுகிய அனீலிங் கால தேவையால் உந்தப்பட்டு, அனீலிங் தொழில்நுட்பங்களின் முழு போர்ட்ஃபோலியோ உருவாக்கப்பட்டுள்ளது, செயலாக்க நேரம் வினாடிகளில் இருந்து மில்லி விநாடிகள் மற்றும் மைக்ரோ விநாடிகள் வரை வரிசையாக குறைக்கப்பட்டது.

1. விரைவான வெப்ப அனீலிங் ஊற

1 ~ 30 வினாடிகள் கொண்ட பாரம்பரிய RTA செயல்முறை உச்ச வெப்பநிலையில் வாழ்கிறது.

2. ஸ்பைக் ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங்

செதில்கள் உச்ச வெப்பநிலையை (~1050°C) அடைகின்றன, உடனடி குளிர்விக்கும் முன் மிகக் குறைவான துணை-வினாடியில் வசிக்கின்றன; தீவிர ஆழமற்ற சந்திப்பு உருவாக்கத்திற்கான முக்கிய செயல்முறை.

3. ஃபிளாஷ் விளக்கு அனீலிங்

ஆர்க் விளக்குகளிலிருந்து வரும் தீவிர மில்லி விநாடி அளவிலான ஃபிளாஷ், மொத்த அடி மூலக்கூறை குளிர்ச்சியாக வைத்திருக்கும் போது, ​​செதில் மேற்பரப்பை மட்டும் உடனடியாக வெப்பப்படுத்துகிறது.

4.லேசர் ஸ்பைக் அனீலிங்

ஸ்கேனிங் லேசர் கற்றை மைக்ரோ செகண்ட் முதல் மில்லி விநாடி வரை உள்ளமைக்கப்பட்ட வெப்பத்தை மேல் சிலிக்கான் லேயருக்கு மட்டுமே வழங்குகிறது. இது மிகக் குறைந்த வெப்ப பட்ஜெட், அதிக டோபண்ட் செயல்படுத்தும் திறன் மற்றும் ஆழமற்ற சாத்தியமான சந்திப்புகளை வழங்குகிறது.

---

அயன் பொருத்தப்பட்ட பிறகு விரைவான வெப்ப அனீலிங் ஏன் தேவைப்படுகிறது?

அயனி பொருத்துதல் என்பது ஒரு ஆக்கிரமிப்பு குண்டுவீச்சு செயல்முறையாகும், இது சிலிக்கான் செதில்களைத் தாக்க உயர் ஆற்றல் அயனிகளைச் சார்ந்து ஊக்கமருந்து செய்வதை நிறைவு செய்கிறது, இது செதில் கடுமையான சேதத்தை ஏற்படுத்தும் மற்றும் அனீலிங் செயல்முறை மூலம் மட்டுமே தீர்க்கப்படும் இரண்டு முக்கியமான குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தும்.

1. டோபண்டுகள் முறையற்ற லேட்டிஸ் தளங்களை ஆக்கிரமித்துள்ளன

டோபான்ட் அணுக்களுக்கு (போரான், பாஸ்பரஸ், ஆர்சனிக்) இலவச சார்ஜ் கேரியர்களை (துளைகள் அல்லது எலக்ட்ரான்கள்) உருவாக்க, அவை பூர்வீக சிலிக்கான் அணுக்களுக்குப் பதிலாக மாற்று லட்டு தளங்களை ஆக்கிரமிக்க வேண்டும். இருப்பினும், பொருத்தப்பட்ட உடனேயே, பெரும்பாலான டோபண்டுகள் இடைநிலை நிலைகளில் சிக்கிக் கொள்கின்றன. இந்த இடைநிலை டோபண்டுகள் மின்சாரம் செயலற்றவை மற்றும் கடத்தலுக்கு எந்த கேரியர்களையும் பங்களிக்க முடியாது. அனீலிங் என்பது இடைநிலை டோபண்டுகளை மாற்று தளங்களுக்கு நகர்த்துவதற்கு வெப்ப ஆற்றலை வழங்குகிறது, இதனால் உண்மையான "டோபண்ட் ஆக்டிவேஷனை" அடைந்து, அவற்றை செயல்பாட்டு நன்கொடையாளர்கள் அல்லது ஏற்பிகளாக மாற்றுகிறது. டோபண்ட் செயல்படுத்தும் விகிதம் நேரடியாக டோப் செய்யப்பட்ட அடுக்கின் தாள் எதிர்ப்பை நிர்வகிக்கிறது.

2. லட்டு அமைப்பு கடுமையாக சேதமடைந்துள்ளது

உயர்-டோஸ் அயனி பொருத்துதல் செதில் மேற்பரப்பில் உள்ள வரிசைப்படுத்தப்பட்ட படிக லேட்டிஸை சீர்குலைக்கிறது மற்றும் உருவமாற்றத்திற்கு கூட வழிவகுக்கும்: முதலில் நன்கு சீரமைக்கப்பட்ட ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் ஒழுங்கற்ற கண்ணாடி போன்ற உருவமற்ற சிலிக்கான் அடுக்காக மாறுகிறது. அனீலிங் இந்த உருவமற்ற சிலிக்கான் அடுக்கை மீண்டும் ஒரு படிகமாக மாற்ற அனுமதிக்கிறது. இந்த செயல்முறை திட-கட்ட எபிடாக்சியல் ரீகிரிஸ்டலைசேஷன் (SPER) என்று அழைக்கப்படுகிறது.

அனீலிங் செயல்முறை ஏன் "விரைவாக" இருக்க வேண்டும்?

உயர்-வெப்பநிலை சிகிச்சை கட்டாயமாக இருந்தால், விரைவான வெப்ப அனீலிங் செயலாக்கத்திற்கு பதிலாக நீடித்த வெப்பமாக்கலுக்கு வழக்கமான உலைகளை ஏன் பயன்படுத்தக்கூடாது? காரணம், அதிக வெப்பநிலை அசுத்தங்களைச் செயல்படுத்துவதோடு மட்டுமல்லாமல், அவை உள்நோக்கி பரவுவதற்கும் காரணமாகும், இது சந்திப்பை ஆழமாக்குகிறது. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு அல்ட்ரா-ஷாலோ சந்திப்புகள் (USJ) தேவை, ஆழம் குறைவான சந்திப்பு, சிறந்தது.

டோபண்ட் பரவல் தூரம் சூத்திரத்தால் வரையறுக்கப்பட்ட வெப்ப பட்ஜெட் மூலம் தீர்மானிக்கப்படுகிறது:

பரவல் நீளம் ≈ √(D · t), D ∝ exp(−Eₐ/kT)

D = டோபண்ட் பரவல் குணகம் (வெப்பநிலையுடன் அதிவேகமாக உயர்கிறது)

t = அதிக வெப்பநிலையில் வாழும் நேரம்

அதிக வெப்பநிலை மற்றும் நீண்ட வெப்ப நிலைகள் இரண்டும் ஆழமான சந்திப்புகளுக்கு இட்டுச் செல்கின்றன, இது ஒரு அடிப்படை பரிமாற்றத்தை உருவாக்குகிறது: முழு டோபண்ட் செயல்படுத்தலுக்கு போதுமான அதிக வெப்பநிலை அவசியம், இருப்பினும் சந்தி ஆழப்படுத்துதலை அடக்குவதற்கு குறைந்தபட்ச வெப்ப காலம் தேவைப்படுகிறது.

ஒரே சாத்தியமான தீர்வு, உச்ச வெப்பநிலைக்கு வேகமாகச் செல்வதும், அதைத் தொடர்ந்து உடனடி குளிர்ச்சியும், அதி-குறுகிய சாளரத்தில் அதிக வெப்பநிலை வெளிப்படுவதைக் கட்டுப்படுத்துவதும் ஆகும். வழக்கமான உலை வெப்பமாக்கல் சிகிச்சையை விட விரைவான வெப்ப அனீலிங்கின் முக்கிய நன்மை இதுவாகும்: இரண்டாவது அல்லது மில்லி விநாடி அளவிலான வெப்பநிலை சைக்கிள் ஓட்டுதல் ஒட்டுமொத்த வெப்ப பட்ஜெட்டைக் குறைக்கிறது.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுRTP/RTA வேஃபர் கேரியர்கள்வாடிக்கையாளர்களின் தேவைகளை அடிப்படையாகக் கொண்டது. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com