செமிகண்டக்டர் ஃபர்னஸ் ரியாக்டர்

குறைக்கடத்தி உலை உலைகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் முக்கிய உபகரணங்களாகும், அவை முதன்மையாக வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், அனீலிங் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு போன்ற முக்கியமான செயல்முறைகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஒரு பொதுவான உலை அமைப்பு (கிடைமட்ட / செங்குத்து பரவல் உலை) முக்கியமாக பின்வரும் முக்கிய கூறுகளை உள்ளடக்கியது: ஒரு வெப்ப அமைப்பு, ஒரு வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு, ஒரு போக்குவரத்து அமைப்பு, ஒரு வாயு ஓட்டம் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு (MFC) மற்றும் ஒரு கழிவு வாயு வெளியேற்ற அமைப்பு.

ஒட்டுமொத்த கட்டடக்கலை கண்ணோட்டத்தில், உயர் வெப்பநிலை உலைகள் கிடைமட்ட மற்றும் செங்குத்து வகைகளாக பிரிக்கப்படுகின்றன, குவார்ட்ஸ் குழாய் மற்றும் கணினியில் உள்ள வெப்பமூட்டும் கூறுகளின் நிலை ஆகியவற்றால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது. ஒரு உயர் வெப்பநிலை உலை பொதுவாக ஐந்து அடிப்படை கூறுகளை உள்ளடக்கியது: ஒரு கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு, ஒரு செயல்முறை உலை குழாய், ஒரு எரிவாயு விநியோக அமைப்பு, ஒரு வாயு வெளியேற்ற அமைப்பு மற்றும் ஒரு ஏற்றுதல் அமைப்பு. கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு பல மைக்ரோகண்ட்ரோலர்களுடன் இணைக்கப்பட்ட கணினியைக் கொண்டுள்ளது, இது முழு செயல்முறையின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டிற்கு பொறுப்பாகும்.

பொருள் தேர்வு குறித்து, உலை குழாய் பொருட்கள் முதன்மையாக அடங்கும்குவார்ட்ஸ்(அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும்),அலுமினா (Al₂O₃), சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), அல்லது உலோகக் கலவைகள் (இன்கோனல் போன்றவை). வெப்பமாக்கல் அமைப்பின் வெப்பமூட்டும் கூறுகள் பொதுவாக எதிர்ப்பு கம்பிகள் (காந்தல், MoSi₂ போன்றவை), சிலிக்கான் கார்பைடு கம்பிகள் (SiC) அல்லது அகச்சிவப்பு ஹீட்டர்களைப் பயன்படுத்துகின்றன. துல்லியமான வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாட்டை அடைய வெப்ப மண்டலம் ஒற்றை வெப்பநிலை மண்டலமாக அல்லது பல வெப்பநிலை மண்டலங்களாக வடிவமைக்கப்படலாம். வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு நிகழ்நேரத்தில் வெப்பநிலையை கண்காணிக்க தெர்மோகப்பிள்களை (K-வகை, S-வகை) பயன்படுத்துகிறது, PID கட்டுப்படுத்தி மூலம் ±1℃ வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியத்தை அடைகிறது அல்லது PLC நிரல்படுத்தக்கூடிய வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டைப் பயன்படுத்துகிறது.

செயல்முறை அளவுரு வரம்பு மற்றும் பொருந்தக்கூடிய பொருட்கள்

வெப்பநிலை அளவுரு வரம்பு: செயல்முறையைப் பொறுத்து வெப்பநிலை வரம்பு மாறுபடும். நிலையான ஹீட்டரின் செயல்முறை வெப்பநிலை வரம்பு 300-1100℃, மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை உலைகள் 250-500℃. வழக்கமான செயல்முறை வெப்பநிலைகள் 400-1100℃, ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் செயல்முறைகள் பொதுவாக 800-1100℃, LPCVD செயல்முறைகள் 500-800℃, மற்றும் அனீலிங் செயல்முறைகள் 400-500℃.

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில், சிலிக்கான் செதில்கள் தோராயமாக 1200 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையில் எபிடாக்சியல் உலைகளில் சூடேற்றப்படுகின்றன. ஆவியாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் டெட்ராகுளோரைடு (SiCl₄) மற்றும் ட்ரைக்ளோரோசிலேன் (SiHCl₃) ஆகியவை செதில் மேற்பரப்பில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியைத் தூண்டுவதற்காக உலையில் சேர்க்கப்படுகின்றன.

மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் செயல்முறையானது 800-1200 டிகிரி செல்சியஸ் அதிக வெப்பநிலையில் ஒரு மெல்லிய, சீரான சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்கை உருவாக்கும் செயல்முறையை உள்ளடக்கியது. வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் ஈரமாகவோ அல்லது உலர்ந்ததாகவோ இருக்கலாம், ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்வினைக்கு பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்களைப் பொறுத்து.

பொருந்தக்கூடிய பொருள் அமைப்புகள்: உலை குழாய் செயல்முறைகள் சிலிக்கான் (Si), சிலிக்கான் ஜெர்மானியம் (SiGe) மற்றும் குவார்ட்ஸ் உள்ளிட்ட பல்வேறு குறைக்கடத்தி பொருட்களுக்கு ஏற்றது. SiGe செயல்முறைகளில், CVD முறையானது முக்கிய செயல்முறையாகும். சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறை சூடாக்கி, SiH₄ மற்றும் GeH₄ வாயுக்களின் கலவையை அறிமுகப்படுத்துவதன் மூலம், சிலிக்கான் ஜெர்மானியம் அடுக்கு சிதைந்து அதிக வெப்பநிலையில் (500-800°C) படிகிறது, இது ஜெர்மானிய ஊக்கமருந்து செறிவு மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கு தடிமன் ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது.

Semicorex உயர்தர தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உலை கூறுகளை வழங்குகிறது. எங்கள் தயாரிப்புகள் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் விதிவிலக்கான செயல்முறை நிலைத்தன்மையை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகள் அல்லது கூடுதல் தொழில்நுட்பத் தகவல்களுக்கு, தயவுசெய்து எங்கள் பொறியியல் குழுவைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

தொலைபேசி: +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com