பல்வேறு வகையான உலைகளுக்கு இடையிலான கட்டமைப்பு வேறுபாடுகள்

எதிர்வினை அறை கட்டமைப்பின் அடிப்படையில், வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்கள் (உலை குழாய் உபகரணங்கள்) முக்கியமாக மூன்று வகைகளாக பிரிக்கப்படுகின்றன: செங்குத்து உலை குழாய்கள், கிடைமட்ட உலை குழாய்கள் மற்றும் விரைவான வெப்ப செயலாக்க (RTP) உலைகள்.

செங்குத்து உலைக் குழாய்கள் செங்குத்தாக அமைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் குழாய்களைக் கொண்டுள்ளன, வெப்பத்திற்காக குழாய்களைச் சுற்றி செதில்கள் வைக்கப்படுகின்றன. அவற்றின் முக்கிய நன்மைகள் சீரான வெப்பநிலை விநியோகம், துல்லியமான வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு, அதிக தன்னியக்கமாக்கல், குறைவான துகள்கள் மாசுபாடு, சிறிய தடம் மற்றும் தொகுதி செயலாக்கத்திற்கான ஆதரவு (குறிப்பாக 12-இன்ச் செதில்களுக்கு ஏற்றது) ஆகியவை தற்போது கிடைக்கும் முக்கிய உபகரணங்களாகும். உலக சந்தை அளவு 2024ல் $3.2 பில்லியனை எட்டியது (SEMI தரவு). அவற்றின் குறைபாடுகளில் எளிதில் வாயு-திரவப் பிரிப்பு, மற்றும் நடுத்தரத்தின் கீழ்நோக்கிய ஓட்டம் ஆகியவை உலைக் குழாயை எரிக்கச் செய்யும்.

கிடைமட்ட உலை குழாய்கள் கிடைமட்டமாக வைக்கப்படும் குவார்ட்ஸ் குழாய்கள், ஒரு நேரத்தில் 100-200 செதில்களை செயலாக்குகின்றன. அவற்றின் நன்மைகள் உலைக் குழாய்க்குள் சீரான வாயு-திரவ ஓட்டம் மற்றும் மிகவும் துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு ஆகியவை அடங்கும். அவற்றின் குறைபாடுகளில் ஒரு பெரிய தடம் மற்றும் உயர்-அலாய் ஸ்டீல் இடைநிலை குழாய் ஆதரவின் அதிக நுகர்வு ஆகியவை அடங்கும். கட்டமைப்பு ரீதியாக, கிடைமட்ட உலை குழாய்கள் செங்குத்தாக செங்குத்தாக கிடைமட்ட குழாய்களுக்குள் செயலாக்கத்திற்காக வைக்கின்றன.

ரேபிட் தெர்மல் அனீலிங் (RTP) உலைகள் ஒற்றைச் செதில்களை விரைவாகச் சூடாக்க ஆலசன் அகச்சிவப்பு விளக்குகளைப் பயன்படுத்துகின்றன, அவை அறை வெப்பநிலையை மாற்றாமல் செதில் வெப்பநிலையை மட்டும் மாற்றும் வேகமான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் விகிதங்களை வழங்குகின்றன. அவை சிறிய-தொகுதி விரைவான அனீலிங்கிற்கு ஏற்றவை ஆனால் வெகுஜன உற்பத்திக்கு அல்ல.

செதில் செயலாக்கத்தில், கிடைமட்ட உலை குழாய்கள் செதில்களை ஒரு குவார்ட்ஸ் படகில் வைக்கின்றன, இது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஆதரவு சட்டத்தில் உள்ளது. ஆதரவு சட்டமானது குவார்ட்ஸ் உலைக் குழாயில் தள்ளப்படுகிறது, அங்கு செதில் ஒரு நிலையான வெப்பநிலை மண்டலத்தில் எதிர்வினைக்கு உட்படுகிறது. செங்குத்து உலை குழாய்கள், மறுபுறம், ஒரு குவார்ட்ஸ் கோபுரத்தில் செதில்களை வைத்து, செயலாக்கத்திற்காக குவார்ட்ஸ் உலைக் குழாயில் மெதுவாக உயர்த்தவும். எதிர்வினைக்குப் பிறகு, வளைவு அல்லது உடைவதைத் தடுக்க செதில் மெதுவாகக் குறைக்கப்படுகிறது.

Semicorex உயர்தரத் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சப்ளைகள்குவார்ட்ஸ் உலை உலை. எங்கள் தயாரிப்புகள் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் விதிவிலக்கான செயல்முறை நிலைத்தன்மையை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகள் அல்லது கூடுதல் தொழில்நுட்பத் தகவல்களுக்கு, தயவுசெய்து எங்கள் பொறியியல் குழுவைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

தொலைபேசி: +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com