குறைக்கடத்தி சிலிக்கான் ஒற்றைப் படிகங்களின் வெப்பப் புலத்தில் பூச்சு

செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் சிங்கிள் கிரிஸ்டல் ஹாட் ஃபீல்டில் உள்ள பூசப்பட்ட பாகங்கள் பொதுவாக பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு உட்பட CVD முறையால் பூசப்படுகின்றன.சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுமற்றும்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, ஒவ்வொன்றும் வெவ்வேறு குணாதிசயங்களைக் கொண்டது.

பொதுவான புள்ளிகள்: அடி மூலக்கூறு உயர்-தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட், பொதுவாக 5ppm சாம்பலை விடக் குறைவானது; பூச்சு CVD முறை பயன்படுத்தப்படுகிறது; பூச்சு அடிப்படையில் 100% கார்பன் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு; பூச்சுக்குப் பிறகு மேற்பரப்பு ஒப்பீட்டளவில் அடர்த்தியானது, வாயு, குறிப்பாக உலை சிலிக்கான் நீராவி அல்லது சிலிக்கான் ஆக்சைடு வாயு அடிப்படையில் தடுக்கப்படலாம்; அதன் சொந்த தூசி volatilization மிகவும் குறைவாக உள்ளது.

வேறுபாடுகள்: பூச்சுகளின் நிலையான தடிமன், பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு பொதுவாக சுமார் 40um; சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பொதுவாக 100um செய்யப்படுகிறது, ஆனால் வாடிக்கையாளர்களின் பல்வேறு தேவைகளுக்கு ஏற்ப, ஒரு பூச்சு மற்றும் இரண்டு பூச்சுகள் உட்பட 30um~150um செய்ய முடியும்; டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பொதுவாக 35±15um ஆகும்.

பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு, அதன் அடர்த்தி நுண்துளை இல்லாத கிராஃபைட்டின் அடர்த்திக்கு சமம், இது சுமார் 2.2 ஆகும். இது மேற்பரப்பின் இணையான திசையில் குறைந்த மின்தடை மற்றும் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, எனவே இது மேற்பரப்பு வெப்பநிலையின் நிலைத்தன்மையை வைத்திருக்க முடியும், மேலும் இது வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் மற்றும் நெகிழ்ச்சித்தன்மையின் உயர் மாடுலஸ் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. மேற்பரப்பின் செங்குத்து திசையில், வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம் பெரியது மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் குறைவாக உள்ளது.

சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட தயாரிப்புகளுக்கு, பூச்சுகளின் மீள் மாடுலஸ் மிக அதிகமாக உள்ளது, உள் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மீள் மாடுலஸை விட பல மடங்கு அதிகமாகும், எனவே தயாரிப்பு சிதைவைத் தவிர்க்க, அதை மெதுவாகக் கையாள வேண்டும்.

பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு மற்றும் அனைத்து தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, முக்கிய உலோக உறுப்பு உள்ளடக்கம் 0.1 அல்லது 0.01ppm ஐ விட குறைவாக உள்ளது, போரான் தனிமத்தை சமாளிப்பது 0.01 அல்லது 0.15ppm ஆகும்.

Semicorex தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையுடன் குறைக்கடத்திக்கான உயர்தர CVD பூச்சு தயாரிப்பை வழங்குகிறது. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், எங்களைத் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com