சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகுகள்: செமிகண்டக்டரில் "செதில்களின் கண்ணுக்கு தெரியாத பாதுகாவலர்கள்"

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், ஆக்சிஜனேற்றம் என்பது செதில்களை உயர் வெப்பநிலை சூழலில் வைப்பதை உள்ளடக்குகிறது, அங்கு ஆக்ஸிஜன் செதில் மேற்பரப்பில் பாயும் ஆக்சைடு அடுக்கை உருவாக்குகிறது. இது ரசாயன அசுத்தங்களிலிருந்து செதில்களைப் பாதுகாக்கிறது, மின்சுற்றுக்குள் கசிவு மின்னோட்டத்தைத் தடுக்கிறது, அயனி பொருத்துதலின் போது பரவுவதைத் தடுக்கிறது, மேலும் செதில்களின் போது செதில் வழுக்குதலைத் தடுக்கிறது, செதில் மேற்பரப்பில் ஒரு பாதுகாப்புப் படத்தை உருவாக்குகிறது. இந்த கட்டத்தில் பயன்படுத்தப்படும் உபகரணங்கள் ஒரு ஆக்சிஜனேற்ற உலை ஆகும். எதிர்வினை அறைக்குள் உள்ள முக்கிய கூறுகளில் ஒரு செதில் படகு, அடித்தளம், உலை லைனர் குழாய்கள், உள் உலை குழாய்கள் மற்றும் வெப்ப காப்பு தடுப்புகள் ஆகியவை அடங்கும். அதிக இயக்க வெப்பநிலை காரணமாக, எதிர்வினை அறைக்குள் உள்ள கூறுகளுக்கான செயல்திறன் தேவைகளும் அதிகமாக உள்ளன.

செதில் படகு செதில் போக்குவரத்து மற்றும் செயலாக்கத்திற்கான கேரியராக பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதிக ஒருங்கிணைப்பு, அதிக நம்பகத்தன்மை, நிலையான எதிர்ப்பு பண்புகள், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, உடைகள் எதிர்ப்பு, சிதைவுக்கு எதிர்ப்பு, நல்ல நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். செதில் ஆக்சிஜனேற்ற வெப்பநிலை தோராயமாக 800℃ மற்றும் 1300℃ மற்றும் சுற்றுச்சூழலில் உள்ள உலோக அசுத்தங்களின் உள்ளடக்கத்திற்கான தேவைகள் மிகவும் கண்டிப்பானவை என்பதால், செதில் படகு போன்ற முக்கிய கூறுகள் சிறந்த வெப்ப, இயந்திர மற்றும் இரசாயன பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும், ஆனால் மிகக் குறைந்த உலோக மாசுபாட்டைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

அடி மூலக்கூறின் அடிப்படையில், செதில் படகுகளை குவார்ட்ஸ் படிகப் படகுகள் என வகைப்படுத்தலாம்.சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்செதில் படகுகள், முதலியன. இருப்பினும், 7nm க்கும் குறைவான செயல்முறை முனைகளின் முன்னேற்றம் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை சாளரங்களின் விரிவாக்கம், பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் படகுகள் படிப்படியாக வெப்ப நிலைத்தன்மை, துகள் கட்டுப்பாடு மற்றும் வாழ்நாள் மேலாண்மை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் போதுமானதாக இல்லை. சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் (SiC படகுகள்) படிப்படியாக பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் தீர்வுகளை மாற்றுகின்றன.

ஏன்சிலிக்கான் கார்பைடு?

1. உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை

உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை என்பது SiC படகுகளின் மிக முக்கியமான நன்மை. மிக அதிக வெப்பநிலையில் (> 1300°C) கூட அவை எந்த உருமாற்றத்தையும் அல்லது தொய்வையும் காட்டாது, நீண்ட காலத்திற்கு துல்லியமான செதில் ஸ்லாட்டை நிலைநிறுத்துகிறது.

2. அல்ட்ரா-லாங் ஆயுட்காலம்

ஒரு படகு அதிக சுமை தாங்கும் திறனைக் கொண்டுள்ளது, ஒரே நேரத்தில் நூற்றுக்கணக்கான 12 அங்குல செதில்களை ஆதரிக்கும் திறன் கொண்டது. பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் படகுகளுடன் ஒப்பிடுகையில், SiC படகுகள் சராசரி ஆயுட்காலத்தை 5-10 மடங்கு அதிகமாக வழங்குகின்றன, இது உபகரணங்களை மாற்றும் அதிர்வெண் மற்றும் உரிமையின் மொத்த செலவைக் குறைக்கிறது.

3. சுத்தமான மேற்பரப்பு மற்றும் மிகக் குறைந்த மாசுபாடு

உயர் பொருள் தூய்மை மற்றும் மிகக் குறைந்த உலோக தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் சிலிக்கான் செதில்களின் இரண்டாம் நிலை மாசுபாட்டைத் தடுக்கிறது. சிறந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை கட்டுப்பாடு, 0.1μm க்கும் குறைவான Ra உடன், துகள் உதிர்தலை அடக்குகிறது மற்றும் மேம்பட்ட செயல்முறைகளின் தூய்மை தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.

4. அல்ட்ரா-உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது

1200°C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலை தேவைப்படும் செயல்முறைகளுக்கு (சில சிறப்பு தடிமனான ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறைகள், SiC சாதனம் உருவாக்குதல் அல்லது ஆழமான அகழி நிரப்புதல் செயல்முறைகள் போன்றவை), SiC படகுகள் மாற்ற முடியாத தேர்வாகும்.

பயன்பாடுகள்சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள்

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி

ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் அயன் பொருத்துதல் போன்ற சிப் உற்பத்தியின் உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில், சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் சிலிக்கான் செதில்களை ஆதரிக்கப் பயன்படுகின்றன, அதிக வெப்பநிலையில் அவற்றின் தட்டையான தன்மையை உறுதிசெய்து, லேட்டிஸ் தவறான அமைப்பு அல்லது சிதைவைத் தடுக்கிறது.

ஒளிமின்னழுத்த தொழில்

சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள்சிறந்த இயந்திர வலிமை, வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, அவை உலோகம், இயந்திரங்கள், புதிய ஆற்றல் மற்றும் கட்டுமானப் பொருட்களின் இரசாயனங்கள் போன்ற பிரபலமான துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. TOPcon செல்களுக்கு பரவல், LPCVD (குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு) மற்றும் PECVD (பிளாஸ்மா இரசாயன நீராவி படிவு) போன்ற ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தியில் வெப்ப செயல்முறைகளுக்கும் அவற்றின் செயல்திறன் போதுமானது. பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​படகு ஆதரவுகள், சிறிய படகுகள் மற்றும் குழாய் தயாரிப்புகள் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருட்கள் அதிக வலிமை, சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் எந்த சிதைவையும் வழங்காது. அவற்றின் ஆயுட்காலம் குவார்ட்ஸை விட ஐந்து மடங்கு அதிகமாகும், பராமரிப்பு வேலையில்லா நேரத்தின் காரணமாக இயக்க செலவுகள் மற்றும் ஆற்றல் இழப்புகளை கணிசமாகக் குறைக்கிறது. இது ஒரு தெளிவான செலவு நன்மையை விளைவிக்கிறது, மேலும் மூலப்பொருட்கள் பரவலாகக் கிடைக்கின்றன.

மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகள்

உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) எதிர்வினை அறையில், சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் சபையர் அடி மூலக்கூறுகளை ஆதரிக்கப் பயன்படுகிறது, அம்மோனியா (NH3) போன்ற அரிக்கும் வாயு சூழல்களைத் தாங்கி, மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி பொருட்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை ஆதரிக்கிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சியில், சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சி உலைகளில் சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் விதைப் படிக ஆதரவாகச் செயல்படுகின்றன, உருகிய சிலிக்கானின் உயர் வெப்பநிலை அரிக்கும் சூழலைத் தாங்கி, சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றைப் படிகங்களின் வளர்ச்சிக்கு நிலையான ஆதரவை வழங்குகின்றன.

சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு மேம்பாட்டுப் போக்குகள்

சந்தையைப் பொறுத்தவரை, SEMI தரவுகளின்படி, உலகளாவிய வேஃபர் படகு சந்தை அளவு 2025 இல் தோராயமாக US$1.4 பில்லியன் மற்றும் 2028 இல் US$1.8 பில்லியனை எட்டும் என்று கணிக்கப்பட்டுள்ளது. 20% சிலிக்கான் கார்பைடு ஊடுருவல் வீதம் மற்றும் சீனாவில் மூன்றில் ஒரு பங்கு சந்தைப் பங்கு (சீனா ஸ்டிரிகண்டக்டர் 6 மில்லியன் அமெரிக்க டாலர்கள்) முறையே US$864 மில்லியன்.

தொழில்நுட்ப ரீதியாக, சிலிக்கான் கார்பைடு குவார்ட்ஸை விட அதிக வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, இது பயன்பாடுகளில் விரிசல் ஏற்படுவதற்கான வாய்ப்புகள் அதிகம். எனவே, தையல்களைக் குறைப்பதற்கும், துகள்கள் உதிர்வு அபாயத்தைக் குறைப்பதற்கும் ஒருங்கிணைந்த மோல்டிங் தொழில்நுட்பம் உற்பத்தியில் ஊக்குவிக்கப்படுகிறது. மேலும், செதில் படகின் பல் பள்ளம் வடிவமைப்பை மேம்படுத்துவது, ஐந்து-அச்சு எந்திரம் மற்றும் கம்பி வெட்டும் தொழில்நுட்பங்களுடன் இணைந்து, செதில் கையாளுதலின் துல்லியம் மற்றும் மென்மையை உறுதி செய்கிறது.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகுகள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com