பொதுவான செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் கூறுகள் மற்றும் பயன்பாடுகள்

குவார்ட்ஸ் முக்கோண படிக அமைப்புக்கு சொந்தமானது, இது சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு கொண்ட ஒரு முப்பரிமாண கட்டமைப்பு கனிம படிகமாகும். பொதுவாக, தூய குவார்ட்ஸ் நிறமற்றது மற்றும் வெளிப்படையானது, ஆனால் இது சுவடு நிறமி அயனிகள், இறுதியாக சிதறடிக்கப்பட்ட சேர்க்கைகள் அல்லது வண்ண மையங்களின் உருவாக்கம் ஆகியவற்றின் விளைவாக பல்வேறு சாயல்களைப் பெறுகிறது. பல சிறந்த பண்புகளுடன், குவார்ட்ஸ் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் பல்வேறு செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் அதன் செயல்திறன் மற்றும் தரம் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் விளைச்சல், செயல்திறன் மற்றும் விலையை நேரடியாக பாதிக்கிறது.

1. குவார்ட்ஸ் குரூசிபிள்

திகுவார்ட்ஸ் சிலுவைகள்உயர்-வெப்பநிலை மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சி செயல்முறையில் பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் மூலப்பொருட்களை வைத்திருக்க பயன்படுகிறது. நிலையான ஆதரவுப் பொருட்களை உறுதி செய்ய, குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிள்கள் சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை (உருகுநிலை >1700℃) மற்றும் கடுமையான உயர்-வெப்பநிலை இயக்க நிலைமைகளின் சவால்களைத் தாங்கும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் ஆகியவற்றைப் பெருமைப்படுத்த வேண்டும். குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கான குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிள்கள் தரம் 4N8 அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸில் இருந்து தயாரிக்கப்பட வேண்டும். இந்த புத்திசாலித்தனமான பொருள் தேர்வுகள் அதிக வெப்பநிலை காரணமாக குவார்ட்ஸ் க்ரூசிபிளில் இருந்து தூய்மையற்ற மழைப்பொழிவால் ஏற்படும் படிக மாசுபாட்டின் அபாயங்களை திறம்பட குறைக்கலாம்.

குவார்ட்ஸ் உலை குழாய்கள் பொதுவாக பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) போன்ற பல்வேறு செதில் உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு உயர்-வெப்பநிலை எதிர்வினை அறைகளாக செயல்படுகின்றன. எனவேகுவார்ட்ஸ் உலை குழாய்கள்உயர் வெப்பநிலை சூழல்களால் ஏற்படும் சிதைவு அல்லது மென்மையாக்கப்படுவதைத் தடுக்க சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். சில செயல்முறைகளில், வெப்ப நிலைத்தன்மையில் ஹைட்ராக்சில் குழுக்களின் தாக்கத்தைக் குறைக்க டீஹைட்ராக்ஸைலேஷன் சிகிச்சை தேவைப்படுகிறது. குவார்ட்ஸ் உலைக் குழாய்களின் உற்பத்திக்கு, எதிர்வினை செயல்பாட்டின் போது அசுத்தங்கள் வீழ்வதைத் தடுக்க மற்றும் செதில் செயலாக்க முடிவுகளைப் பாதிக்காமல் தடுக்க, உலோக அசுத்த உள்ளடக்கம் ≤1 பிபிஎம் கொண்ட உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ் பொருள் தேவைப்படுகிறது.

குவார்ட்ஸ் படகுகள் பொதுவாக குவார்ட்ஸ் உலைக் குழாய்களுடன் இணைந்து டஜன் கணக்கில் நூற்றுக்கணக்கான செதில்களை எடுத்துச் செல்வதற்கும் கொண்டு செல்வதற்கும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. எனவே,குவார்ட்ஸ் படகுகள்பொதுவாக குவார்ட்ஸ் உலை குழாய்கள் போன்ற அதே சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமையின் அடிப்படையில் நிலையான, நம்பகமான செயல்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

குவார்ட்ஸ் கவனம் வளையங்கள்உலர் பொறித்தல் செயல்முறைகளுக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அவை பொதுவாக செதில்களைச் சுற்றி பிளாஸ்மாவைக் கட்டுப்படுத்தவும், ஒரே மாதிரியாக மாற்றவும் நிறுவப்பட்டு, செதில்களின் சீரான பொறிப்பு விகிதத்தையும் வடிவமைப்பையும் உறுதி செய்கிறது. இந்த இயக்கச் சூழலுக்கு பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு வலுவான எதிர்ப்பு, மிக உயர்ந்த பரிமாணத் துல்லியம் மற்றும் அசாதாரண வெளியேற்றங்கள் அல்லது துகள் உருவாக்கத்தைத் தடுக்க மென்மையான மேற்பரப்பு பூச்சு ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்க குவார்ட்ஸ் குவிய வளையங்கள் தேவை.