செமிகண்டக்டர் வேஃபர் கிளீனிங் என்றால் என்ன?

ஆக்சிஜனேற்றம், ஒளிக்கதிர், எபிடாக்ஸி, பரவல் மற்றும் கம்பி ஆவியாதல் போன்ற குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு முன் உடல் அல்லது வேதியியல் முறைகளைப் பயன்படுத்தி செதில் மேற்பரப்பில் இருந்து துகள் அசுத்தங்கள், கரிம அசுத்தங்கள், உலோக அசுத்தங்கள் மற்றும் இயற்கை ஆக்சைடு அடுக்குகளை அகற்றும் செயல்முறையை வேஃபர் கிளீனிங் குறிக்கிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் மகசூல் விகிதம் பெரும்பாலும் அதன் தூய்மையைப் பொறுத்தது.குறைக்கடத்தி செதில்மேற்பரப்பு. எனவே, குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்குத் தேவையான தூய்மையை அடைவதற்கு, கடுமையான செதில் சுத்தம் செய்வது அவசியம்.

செதில் சுத்தம் செய்வதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பங்கள்

1. உலர் சுத்தம்:பிளாஸ்மா சுத்தம் தொழில்நுட்பம், நீராவி கட்ட சுத்தம் தொழில்நுட்பம்.

2. ஈரமான இரசாயன சுத்தம்:தீர்வு மூழ்கும் முறை, இயந்திர ஸ்க்ரப்பிங் முறை, மீயொலி சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பம், மெகாசோனிக் கிளீனிங் தொழில்நுட்பம், ரோட்டரி ஸ்ப்ரே முறை.

3. பீம் சுத்தம்:மைக்ரோ பீம் கிளீனிங் டெக்னாலஜி, லேசர் பீம் டெக்னாலஜி, கன்டென்சேஷன் ஸ்ப்ரே டெக்னாலஜி.

அசுத்தங்களின் வகைப்பாடு பல்வேறு மூலங்களிலிருந்து உருவாகிறது, மேலும் அவற்றின் பண்புகளின்படி பொதுவாக பின்வரும் நான்கு வகைகளாக வகைப்படுத்தப்படுகின்றன:

1.துகள் அசுத்தங்கள்

துகள் அசுத்தங்கள் முக்கியமாக பாலிமர்கள், ஒளிச்சேர்க்கைகள் மற்றும் பொறித்தல் அசுத்தங்களைக் கொண்டுள்ளது. இந்த அசுத்தங்கள் பொதுவாக செமிகண்டக்டர் செதில்களின் மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொள்கின்றன, இது ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி குறைபாடுகள், பொறித்தல் அடைப்பு, மெல்லிய-படம் பின்ஹோல்கள் மற்றும் குறுகிய சுற்றுகள் போன்ற சிக்கல்களை ஏற்படுத்தலாம். அவற்றின் ஒட்டுதல் சக்தி முக்கியமாக வான் டெர் வால்ஸ் ஈர்ப்பு ஆகும், இது துகள்கள் மற்றும் செதில் மேற்பரப்புக்கு இடையே உள்ள மின்னியல் உறிஞ்சுதலை உடைப்பதன் மூலம் உடல் சக்திகள் (அல்ட்ராசோனிக் குழிவுறுதல் போன்றவை) அல்லது இரசாயன தீர்வுகள் (எஸ்சி-1 போன்றவை) மூலம் அகற்றப்படும்.

2.கரிம அசுத்தங்கள்

கரிம அசுத்தங்கள் முக்கியமாக மனித தோல் எண்ணெய்கள், சுத்தமான அறை காற்று, இயந்திர எண்ணெய், சிலிகான் வெற்றிட கிரீஸ், ஒளிச்சேர்க்கை மற்றும் துப்புரவு கரைப்பான்கள் ஆகியவற்றிலிருந்து வருகின்றன. அவை மேற்பரப்பு ஹைட்ரோபோபசிட்டியை மாற்றலாம், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை அதிகரிக்கலாம் மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில்களின் மேற்பரப்பு மூடுபனியை ஏற்படுத்தலாம், இதனால் எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சி மற்றும் மெல்லிய படல படிவு சீரான தன்மையை பாதிக்கிறது. இந்த காரணத்திற்காக, கரிம அசுத்தங்களை சுத்தம் செய்வது பொதுவாக ஒட்டுமொத்த செதில் சுத்தம் வரிசையின் முதல் படியாக நடத்தப்படுகிறது, அங்கு வலுவான ஆக்ஸிஜனேற்றங்கள் (எ.கா., சல்பூரிக் அமிலம் / ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு கலவை, SPM) கரிம அசுத்தங்களை திறம்பட சிதைக்கவும் அகற்றவும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

3.உலோக அசுத்தங்கள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், செயல்முறை இரசாயனங்கள், உபகரணக் கூறுகள் தேய்மானம் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் தூசி ஆகியவற்றிலிருந்து உருவாகும் உலோக அசுத்தங்கள் (Na, Fe, Ni, Cu, Zn போன்றவை) அணு, அயனி அல்லது துகள் வடிவில் செதில் மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொள்கின்றன. அவை கசிவு மின்னோட்டம், த்ரெஷோல்ட் வோல்டேஜ் டிரிஃப்ட் மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் கேரியர் ஆயுட்காலம், சிப் செயல்திறன் மற்றும் விளைச்சலைக் கடுமையாகப் பாதிக்கும் போன்ற சிக்கல்களுக்கு வழிவகுக்கும். இந்த வகை உலோக அசுத்தங்கள் ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் அல்லது ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு (SC-2) கலவையைப் பயன்படுத்தி திறம்பட அகற்றப்படலாம்.

4.இயற்கை ஆக்சைடு அடுக்குகள்

செதில் மேற்பரப்பில் உள்ள இயற்கையான ஆக்சைடு அடுக்குகள் உலோகப் படிவைத் தடுக்கலாம், இது அதிகரித்த தொடர்பு எதிர்ப்பிற்கு வழிவகுக்கும், பொறித்தல் சீரான தன்மை மற்றும் ஆழக் கட்டுப்பாட்டைப் பாதிக்கிறது மற்றும் அயனி பொருத்துதலின் ஊக்கமருந்து விநியோகத்தில் குறுக்கிடுகிறது. HF செதுக்குதல் (DHF அல்லது BHF) பொதுவாக ஆக்சைடு அகற்றுதலுக்காக அடுத்தடுத்த செயல்முறைகளில் இடைமுக ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுகுவார்ட்ஸ் சுத்தம் செய்யும் தொட்டிகள்இரசாயன ஈரமான சுத்தம் செய்ய. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com