சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி செயல்முறை என்றால் என்ன?

சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி என்பது ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட சுற்றுகளுக்கான முதன்மையான புனையமைப்பு செயல்முறையாகும். இது IC சாதனங்களை லேசாக டோப் செய்யப்பட்ட எபிடாக்சியல் அடுக்குகளில் அதிக அளவில் டோப் செய்யப்பட்ட புதைக்கப்பட்ட அடுக்குகளுடன் உருவாக்க அனுமதிக்கிறது, அதே நேரத்தில் வளர்ந்த PN சந்திப்புகளையும் உருவாக்குகிறது, இதனால் IC களின் தனிமைப்படுத்தல் சிக்கலை தீர்க்கிறது.சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் செதில்கள்சாதனங்களின் முன்னோக்கி மின்னழுத்த வீழ்ச்சியைக் குறைக்கும் அதே வேளையில் அவை PN சந்திப்புகளின் உயர் முறிவு மின்னழுத்தத்தை உறுதி செய்யும் என்பதால், தனித்த குறைக்கடத்தி சாதனங்களைத் தயாரிப்பதற்கான முதன்மைப் பொருளாகவும் இருக்கிறது. CMOS சுற்றுகளை உருவாக்க சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் செதில்களைப் பயன்படுத்துவது லாட்ச்-அப் விளைவுகளை அடக்கலாம், எனவே, சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் செதில்கள் CMOS சாதனங்களில் அதிக அளவில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

சிலிக்கான் எபிடாக்ஸியின் கொள்கை

சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி பொதுவாக நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி உலையைப் பயன்படுத்துகிறது. சிலிக்கான் மூலத்தின் சிதைவு (சிலேன், டிக்ளோரோசிலேன், ட்ரைக்ளோரோசிலேன் மற்றும் சிலிக்கான் டெட்ராகுளோரைடு போன்றவை ஹைட்ரஜனுடன் வினைபுரிந்து சிலிக்கானை உருவாக்குகிறது. வளர்ச்சியின் போது, PH₃ மற்றும் B₂H₆ போன்ற ஊக்கமருந்து வாயுக்களை ஒரே நேரத்தில் அறிமுகப்படுத்தலாம். ஒரு பகுதியளவு அழுத்தத்தை முன் கூட்டியே கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. ஒரு குறிப்பிட்ட எதிர்ப்புத்திறன் கொண்ட எபிடாக்சியல் அடுக்கு.

சாதனங்களுக்கான சிலிக்கான் எபிடாக்ஸியின் நன்மைகள்

1.குறைந்த தொடர் எதிர்ப்பு, தனிமைப்படுத்தும் நுட்பங்களை எளிதாக்குதல் மற்றும் CMOS இல் சிலிக்கான் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட ரெக்டிஃபையர் விளைவைக் குறைக்கிறது.

2.உயர் (குறைந்த) எதிர்ப்புத்திறன் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை குறைந்த (உயர்) எதிர்ப்புத் தன்மை கொண்ட அடி மூலக்கூறுகளில் எபிடாக்சியலாக வளர்க்கலாம்;

3.ஒரு N(P) வகை எபிடாக்சியல் லேயரை P(N) வகை அடி மூலக்கூறில் வளர்க்கலாம், இது PN சந்திப்பை நேரடியாக உருவாக்குகிறது, இது பரவல் முறையைப் பயன்படுத்தி ஒரு படிக அடி மூலக்கூறில் PN சந்திப்பை உருவாக்கும் போது ஏற்படும் இழப்பீடு சிக்கலை நீக்குகிறது.

4.மாஸ்கிங் தொழில்நுட்பத்துடன் இணைந்து, தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை நியமிக்கப்பட்ட பகுதிகளில் செய்ய முடியும், இது ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட சுற்றுகள் மற்றும் சிறப்பு கட்டமைப்புகள் கொண்ட சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கான நிலைமைகளை உருவாக்குகிறது.

5. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது, ​​ஊக்கமருந்து வகை மற்றும் செறிவு தேவைக்கேற்ப சரிசெய்யப்படலாம்; செறிவு மாற்றம் திடீரென அல்லது படிப்படியாக இருக்கலாம்.

6. எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது டோபண்டுகளின் வகை மற்றும் செறிவு தேவைக்கேற்ப சரிசெய்யப்படலாம். செறிவு மாற்றம் திடீரென அல்லது படிப்படியாக இருக்கலாம்.

செமிகோரெக்ஸ் வழங்குகிறது சி எபிடாக்சியல் சிஎதிர்ப்பாளர்கள்தேவை குறைக்கடத்தி உபகரணங்களுக்கு. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com