உலர் எட்ச்சிங்கில் உள்ள முக்கிய அளவுருக்கள்

மைக்ரோ-எலக்ட்ரோ-மெக்கானிக்கல் அமைப்புகளின் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் உலர் பொறித்தல் ஒரு முக்கிய தொழில்நுட்பமாகும். உலர் பொறித்தல் செயல்முறையின் செயல்திறன் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் கட்டமைப்பு துல்லியம் மற்றும் செயல்பாட்டு செயல்திறனில் நேரடி தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. பொறித்தல் செயல்முறையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த, பின்வரும் முக்கிய மதிப்பீட்டு அளவுருக்களுக்கு நெருக்கமான கவனம் செலுத்தப்பட வேண்டும்.

1.Etch Rete

பொறித்தல் வீதம் என்பது ஒரு யூனிட் நேரத்திற்கு பொறிக்கப்பட்ட பொருளின் தடிமனைக் குறிக்கிறது (அலகுகள்: nm/min அல்லது μm/min). அதன் மதிப்பு பொறித்தல் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது, மேலும் குறைந்த செதுக்கல் விகிதம் உற்பத்தி சுழற்சியை நீட்டிக்கும். உபகரண அளவுருக்கள், பொருள் பண்புகள் மற்றும் பொறித்தல் பகுதி அனைத்தும் செதுக்கல் விகிதத்தை பாதிக்கிறது என்பதை கவனத்தில் கொள்ள வேண்டும்.

2.தேர்ந்தெடுத்தல்

அடி மூலக்கூறு தேர்ந்தெடுப்பு மற்றும் முகமூடி தேர்ந்தெடுப்பு ஆகியவை இரண்டு வகையான உலர் எச்சிங் தேர்ந்தெடுப்பு ஆகும். வெறுமனே, அதிக முகமூடித் தேர்ந்தெடுப்பு மற்றும் குறைந்த அடி மூலக்கூறு தேர்ந்தெடுப்புத்திறன் கொண்ட பொறித்தல் வாயு தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும், ஆனால் உண்மையில், பொருள் பண்புகளைக் கருத்தில் கொண்டு தேர்வு உகந்ததாக இருக்க வேண்டும்.

3. சீரான தன்மை

செமிகண்டக்டர் சாதனங்களில் பரிமாண விலகல்களுக்கு வழிவகுத்து, ஒரே வேஃபருக்குள் வெவ்வேறு இடங்களில் உள்ள விகித நிலைத்தன்மையே இன்-வேஃபர் சீருடை ஆகும். வேஃபர்-டு-வேஃபர் ஒற்றுமை என்பது வெவ்வேறு செதில்களுக்கு இடையிலான விகித நிலைத்தன்மையைக் குறிக்கிறது, இது தொகுதி-க்கு-தொகுதி துல்லிய ஏற்ற இறக்கங்களை ஏற்படுத்தும்.

4.முக்கிய பரிமாணம்

முக்கிய பரிமாணம் என்பது கோட்டின் அகலம், அகழி அகலம் மற்றும் துளை விட்டம் போன்ற நுண் கட்டமைப்புகளின் வடிவியல் அளவுருக்களைக் குறிக்கிறது.

5.விகிதம்

தோற்ற விகிதம், பெயர் குறிப்பிடுவது போல, துளை அகலத்திற்கு பொறித்தல் ஆழத்தின் விகிதமாகும். MEMS இல் உள்ள 3D சாதனங்களுக்கு அம்ச விகித கட்டமைப்புகள் ஒரு முக்கியத் தேவையாகும், மேலும் குறைந்த விகிதச் சிதைவைத் தவிர்க்க எரிவாயு விகிதம் மற்றும் சக்திக் கட்டுப்பாடு மூலம் மேம்படுத்தப்பட வேண்டும்.

6.எட்ச் சேதம்

செமிகோரெக்ஸ் நிபுணத்துவம் பெற்றது

7.ஏற்றுதல் விளைவு

ஏற்றுதல் விளைவு என்பது பொறிக்கப்பட்ட வடிவத்தின் பரப்பளவு மற்றும் கோடு அகலம் போன்ற மாறிகளுடன் பொறித்தல் வீதம் நேரியல் அல்லாத மாற்றங்களைக் குறிக்கிறது. வேறு வார்த்தைகளில் கூறுவதானால், வெவ்வேறு பொறிக்கப்பட்ட பகுதிகள் அல்லது வரி அகலங்கள் விகிதம் அல்லது உருவ அமைப்பில் வேறுபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும்.

செமிகோரெக்ஸ் நிபுணத்துவம் பெற்றதுSiC பூசப்பட்டதுமற்றும்TaC பூசப்பட்டதுசெமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் எட்ச்சிங் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் தீர்வுகள், உங்களுக்கு ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி: +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com