உலர் பொறிப்பின் போது பக்கச்சுவர்கள் ஏன் வளைகின்றன

உலர் பொறித்தல் என்பது பொதுவாக உடல் மற்றும் வேதியியல் செயல்களை இணைக்கும் ஒரு செயல்முறையாகும், அயன் குண்டுவீச்சு ஒரு முக்கியமான இயற்பியல் பொறித்தல் நுட்பமாகும். பொறிக்கும்போது, ​​அயனிகளின் சம்பவ கோணம் மற்றும் ஆற்றல் விநியோகம் சீரற்றதாக இருக்கும்.

பக்கச்சுவர்களில் வெவ்வேறு இருப்பிட அயனிகளில் அயனி நிகழ்வு கோணம் மாறுபடும் என்றால், செதுக்கல் விளைவும் வேறுபடும். பெரிய அயனி சம்பவக் கோணங்களைக் கொண்ட பகுதிகளில், பக்கச்சுவர்களில் அயனி பொறித்தல் விளைவு வலுவாக இருக்கும், இதனால் அந்தப் பகுதியில் அதிக பக்கச்சுவர் பொறிக்கப்பட்டு பக்கச்சுவர் வளைவு ஏற்படுகிறது. மேலும், சீரற்ற அயனி ஆற்றல் விநியோகமும் இதேபோன்ற விளைவை உருவாக்குகிறது; அதிக ஆற்றல் கொண்ட அயனிகள் பொருளை மிகவும் திறம்பட நீக்குகிறது, இதன் விளைவாக பக்கச்சுவர்களில் வெவ்வேறு இடங்களில் சீரற்ற பொறித்தல் நிலைகள் ஏற்படுகின்றன, மேலும் பக்கச்சுவர் வளைவை ஏற்படுத்துகிறது.

ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் உலர் எச்சிங்கில் முகமூடியாக செயல்படுகிறது, பொறிக்கத் தேவையில்லாத பகுதிகளைப் பாதுகாக்கிறது. இருப்பினும், ஒளிச்சேர்க்கை பிளாஸ்மா குண்டுவீச்சு மற்றும் பொறிப்பின் போது இரசாயன எதிர்வினைகளால் பாதிக்கப்படுகிறது, மேலும் அதன் பண்புகள் மாறக்கூடும்.

சீரற்ற ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் தடிமன், பொறிக்கும்போது சீரற்ற நுகர்வு விகிதங்கள் அல்லது வெவ்வேறு இடங்களில் ஒளிச்சேர்க்கை மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையே உள்ள ஒட்டுதலின் மாறுபாடுகள் அனைத்தும் பொறிக்கும்போது பக்கச்சுவர்களின் சீரற்ற பாதுகாப்பிற்கு வழிவகுக்கும். எடுத்துக்காட்டாக, மெல்லிய அல்லது பலவீனமான ஒளிச்சேர்க்கை ஒட்டுதல் உள்ள பகுதிகள் அடிப்படைப் பொருளை எளிதாக பொறிக்க அனுமதிக்கலாம், இது இந்த இடங்களில் பக்கச்சுவர் வளைவதற்கு வழிவகுக்கும்.

அடி மூலக்கூறு பொருள் பண்புகள் வேறுபாடுகள்

பொறிக்கப்பட்ட அடி மூலக்கூறு பொருள், வெவ்வேறு பகுதிகளில் உள்ள மாறுபட்ட படிக நோக்குநிலைகள் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு போன்ற பண்புகளில் வேறுபாடுகளை வெளிப்படுத்தலாம். இந்த வேறுபாடுகள் பொறித்தல் விகிதங்கள் மற்றும் தேர்ந்தெடுக்கும் தன்மையை பாதிக்கிறது.

படிக சிலிக்கானை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், சிலிக்கான் அணுக்களின் அமைப்பு படிக நோக்குநிலைகளில் வேறுபடுகிறது, இதன் விளைவாக பொறிப்பு வாயு மற்றும் பொறித்தல் விகிதங்களுடன் வினைத்திறனில் மாறுபாடுகள் ஏற்படுகின்றன. பொறிக்கும்போது, ​​பொருள் பண்புகளில் உள்ள இந்த வேறுபாடுகள் பக்கச்சுவர்களில் வெவ்வேறு இடங்களில் சீரற்ற பொறிப்பு ஆழங்களுக்கு வழிவகுக்கும், இறுதியில் பக்கச்சுவர் வளைவை ஏற்படுத்துகிறது.

உபகரணங்கள் தொடர்பான காரணிகள்

பொறிக்கும் கருவிகளின் செயல்திறன் மற்றும் நிலை ஆகியவை பொறிப்பு முடிவுகளை கணிசமாக பாதிக்கின்றன. எடுத்துக்காட்டாக, எதிர்வினை அறைக்குள் சீரற்ற பிளாஸ்மா விநியோகம் மற்றும் சீரற்ற மின்முனை உடைகள் ஆகியவை செதில்களின் போது செதில் மேற்பரப்பில் உள்ள அயனி அடர்த்தி மற்றும் ஆற்றல் போன்ற அளவுருக்களின் சீரற்ற விநியோகத்தை ஏற்படுத்தும்.

மேலும், சீரற்ற வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாடு மற்றும் வாயு ஓட்ட விகிதத்தில் சிறிய ஏற்ற இறக்கங்கள் ஆகியவை பொறித்தல் சீரான தன்மையை பாதிக்கலாம், மேலும் பக்கச்சுவர் வளைவுக்கு பங்களிக்கும்.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுCVD SiC கூறுகள்பொறிப்பதற்கு. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com