2025-11-04
சிலிக்கான்-ஆன்-இன்சுலேட்டரின் சுருக்கமான SOI என்பது சிறப்பு அடி மூலக்கூறு பொருட்களை அடிப்படையாகக் கொண்ட ஒரு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையாகும். 1980 களில் தொழில்மயமாக்கப்பட்டதிலிருந்து, இந்த தொழில்நுட்பம் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் முக்கிய கிளையாக மாறியுள்ளது. அதன் தனித்துவமான மூன்று-அடுக்கு கலவை அமைப்பால் வேறுபடுகிறது, SOI செயல்முறை பாரம்பரிய மொத்த சிலிக்கான் செயல்முறையிலிருந்து குறிப்பிடத்தக்க புறப்பாடு ஆகும்.
ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் சாதன அடுக்கு, சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு இன்சுலேடிங் லேயர் (புதைக்கப்பட்ட ஆக்சைடு அடுக்கு, BOX என்றும் அழைக்கப்படுகிறது) மற்றும் ஒரு சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு,SOI செதில்ஒரு சுயாதீனமான மற்றும் நிலையான மின் சூழலை உருவாக்குகிறது. ஒவ்வொரு அடுக்கும் செதில்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்வதில் ஒரு தனித்துவமான ஆனால் நிரப்பு பாத்திரத்தை நிறைவேற்றுகிறது:
1. பொதுவாக 5 nm முதல் 2 μm வரை தடிமன் கொண்ட மேல் ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் சாதன அடுக்கு, டிரான்சிஸ்டர்கள் போன்ற செயலில் உள்ள சாதனங்களை உருவாக்குவதற்கான மையப் பகுதியாக செயல்படுகிறது. அதன் மிக மெல்லிய தன்மை மேம்படுத்தப்பட்ட செயல்திறன் மற்றும் சாதனத்தின் சிறியமயமாக்கலுக்கான அடித்தளமாகும்.
2.நடுவில் புதைக்கப்பட்ட ஆக்சைடு அடுக்கின் முதன்மை செயல்பாடு மின்சார தனிமைப்படுத்தலை அடைவதாகும். BOX அடுக்கு, அதன் தடிமன் பொதுவாக 5nm முதல் 2μm வரை இருக்கும், இயற்பியல் மற்றும் இரசாயன தனிமைப்படுத்தும் வழிமுறைகளைப் பயன்படுத்தி சாதன அடுக்கு மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையே உள்ள மின் இணைப்புகளைத் திறம்படத் தடுக்கிறது.
3.கீழ் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு குறித்து, அதன் முதன்மை செயல்பாடு கட்டமைப்பு வலிமை மற்றும் நிலையான இயந்திர ஆதரவை வழங்குவதாகும், அவை உற்பத்தி மற்றும் பிற்கால பயன்பாடுகளின் போது செதில்களின் நம்பகத்தன்மைக்கு முக்கியமான உத்தரவாதமாகும். தடிமன் அடிப்படையில், இது பொதுவாக 200μm முதல் 700μm வரம்பிற்குள் வரும்.
SOI வேஃபரின் நன்மைகள்
1.குறைந்த மின் நுகர்வு
இன்சுலேடிங் லேயரின் இருப்புSOI செதில்கள்கசிவு மின்னோட்டம் மற்றும் கொள்ளளவைக் குறைக்கிறது, சாதனத்தின் நிலையான மற்றும் மாறும் ஆற்றல் நுகர்வுக்கு பங்களிக்கிறது.
2.கதிர்வீச்சு எதிர்ப்பு
SOI செதில்களில் உள்ள இன்சுலேடிங் லேயர், காஸ்மிக் கதிர்கள் மற்றும் மின்காந்த குறுக்கீட்டை திறம்பட பாதுகாக்கும், சாதனத்தின் நிலைத்தன்மையில் தீவிர சூழல்களின் தாக்கத்தைத் தவிர்த்து, விண்வெளி மற்றும் அணுசக்தித் தொழில் போன்ற சிறப்புத் துறைகளில் நிலையானதாக செயல்பட உதவுகிறது.
3.சிறந்த உயர் அதிர்வெண் செயல்திறன்
இன்சுலேடிங் லேயர் வடிவமைப்பு சாதனம் மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையேயான தொடர்புகளால் ஏற்படும் தேவையற்ற ஒட்டுண்ணி விளைவுகளை கணிசமாகக் குறைக்கிறது. ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவைக் குறைப்பது உயர் அதிர்வெண் சமிக்ஞை செயலாக்கத்தில் (5G தொடர்பு போன்றவை) SOI சாதனங்களின் தாமதத்தைக் குறைக்கிறது, அதன் மூலம் இயக்கத் திறனை மேம்படுத்துகிறது.
4.வடிவமைப்பு நெகிழ்வுத்தன்மை
SOI அடி மூலக்கூறு உள்ளார்ந்த மின்கடத்தா தனிமைப்படுத்தலைக் கொண்டுள்ளது, டோப் செய்யப்பட்ட அகழி தனிமைப்படுத்தலின் தேவையை நீக்குகிறது, இது உற்பத்தி செயல்முறையை எளிதாக்குகிறது மற்றும் உற்பத்தி விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.
SOI தொழில்நுட்பத்தின் பயன்பாடு
1.நுகர்வோர் மின்னணுத் துறை: ஸ்மார்ட்போன்களுக்கான RF முன்-இறுதி தொகுதிகள் (5G வடிகட்டிகள் போன்றவை).
2.ஆட்டோமோட்டிவ் எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறை: ஆட்டோமோட்டிவ்-கிரேடு ரேடார் சிப்.
3.விண்வெளி: செயற்கைக்கோள் தொடர்பு சாதனம்.
4.மருத்துவ சாதனத் துறை: பொருத்தக்கூடிய மருத்துவ உணரிகள், குறைந்த சக்தி கண்காணிப்பு சில்லுகள்.