உயர்நிலை மின்னியல் சக்கிற்கான மேற்பரப்பு சிகிச்சை

திமின்னியல் சக்சீரான மின்னியல் வெளியேற்றம், வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் செதில் உறிஞ்சுதல் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் நிர்ணயம் போன்ற பல செயல்பாடுகளை மேற்கொள்கிறது. ESC இன் முக்கிய செயல்பாடுகளில் ஒன்று, அதிக வெற்றிடம், வலுவான பிளாஸ்மா மற்றும் பரந்த வெப்பநிலை வரம்பு போன்ற தீவிர இயக்க நிலைமைகளின் கீழ் செதில்களை நிலையாக உறிஞ்சுவதாகும்.

அவற்றின் செயல்திறனை உண்மையில் தீர்மானிக்கிறது வெளிப்புற அமைப்பு அல்லது அடிப்படை பொருள் சூத்திரம் அல்ல, ஆனால் மேற்பரப்பு சிகிச்சை செயல்முறை. தொழில்முறை மேற்பரப்பு சிகிச்சை இல்லாமல், செயல்பாட்டின் போது பின்வரும் சிக்கல்கள் எதிர்கொள்ளப்படும்:

1. பிளாஸ்மா அரிப்பு மற்றும் உலோக அயனி மாசுபாடு

பாதுகாப்பற்ற பீங்கான் மேற்பரப்புகள் பொறித்தல் அல்லது CVD செயல்முறை அமைப்புகளில் பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு ஆளாகின்றன. இந்த வகை அரிப்பு நேரடியாக உலோக அயனிகளின் வெளியீடு அல்லது பீங்கான் துகள்கள் உதிர்ந்து, அதன் மூலம் செதில்களை மாசுபடுத்துகிறது.

2. சீரற்ற வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் போர்பேஜ் சிதைவு

கரடுமுரடான மேற்பரப்புகள் அல்லது மோசமான சிகிச்சையானது செதில் மற்றும் செதில் இடையே சீரற்ற தொடர்பை ஏற்படுத்துகிறதுESC, வெப்பக் கடத்தலைத் தடுக்கிறது மற்றும் CD சீரான தன்மையை பாதிக்கிறது.

3. நிலையற்ற மின்னியல் உறிஞ்சுதல்

எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்கின் மேற்பரப்பு காப்பு செயல்திறன் அல்லது கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றின் தவறான கட்டுப்பாடு எளிதில் போதுமான உறிஞ்சுதல் விசை அல்லது அதிகப்படியான உறிஞ்சுதலுக்கு வழிவகுக்கும், இறுதியில் செதில் செயலாக்கத்தின் விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கிறது.

உயர்-இறுதி ESC களின் மேற்பரப்பு பெரும்பாலும் ஒரு கூட்டு பல அடுக்கு கட்டமைப்பு வடிவமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது, உண்மையான உயர் செயல்திறன் ஒருங்கிணைப்பை அடைய பூச்சுகள் மூலம் செயல்பாட்டு பகுதிகளை துல்லியமாக ஒழுங்குபடுத்துகிறது.

உயர்நிலை ESC களின் பொதுவான மேற்பரப்பு சிகிச்சை தொழில்நுட்பங்கள்:

1.புளோரோபாலிமர் ஒட்டாத பூச்சுகள் (PTFE மற்றும் PFA போன்றவை)

இந்த வகையான பூச்சு குறைந்த-வெப்பநிலை செயல்முறை சூழல்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது, ஏனெனில் அதன் குறைந்த மேற்பரப்பு இலவச ஆற்றல், இது ஒளிச்சேர்க்கை எச்சங்களின் உறிஞ்சுதலை திறம்பட தடுக்கிறது.

2. வைரம் போன்ற கார்பன் (DLC) பூச்சுகள்

அதிக கடினத்தன்மை, பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த உராய்வு குணகம் ஆகியவற்றுடன், அவை அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் துகள்-எதிர்ப்பு பற்றின்மை பயன்பாடுகளுக்கு பொறிக்கும் கருவிகளுக்கு ஏற்றது.

3. PVD கடத்தும் பீங்கான் படங்கள் (CrSiN மற்றும் TiN போன்றவை)

இந்த வகை பூச்சு ஒரு குறிப்பிட்ட பகுதியில் ஒரு நிலையான கடத்தும் பாதையை உருவாக்க முடியும், மேலும் மேற்பரப்பு கட்டணங்களின் சீரான வெளியேற்றத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் உள்ளூர் கட்டண திரட்சியின் சிக்கலை திறம்பட தவிர்க்கலாம்.

இந்த வகையான பூச்சு குறைந்த-வெப்பநிலை செயல்முறை சூழல்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது, ஏனெனில் அதன் குறைந்த மேற்பரப்பு இலவச ஆற்றல், இது ஒளிச்சேர்க்கை எச்சங்களின் உறிஞ்சுதலை திறம்பட தடுக்கிறது.

இந்த வகையான பூச்சு வெப்ப கடத்துத்திறனுடன் ஒட்டாத குணங்களை ஒருங்கிணைக்கிறது, மேலும் அதன் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் உயர் துல்லியமான வெப்பக் கட்டுப்பாட்டு ESC இன் பயன்பாட்டுத் தேவைகளுடன் துல்லியமாக பொருந்துகிறது.