மூன்று வகையான ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறைகளின் அறிமுகம்

ஆக்சிஜனேற்றம் செயல்முறை என்பது சிலிக்கான் மீது ஆக்ஸிஜனேற்றங்கள் (ஆக்ஸிஜன், நீர் நீராவி போன்றவை) மற்றும் வெப்ப ஆற்றலை வழங்கும் செயல்முறையைக் குறிக்கிறது.செதில்கள், சிலிக்கான் மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்றங்களுக்கு இடையே ஒரு இரசாயன எதிர்வினையை ஏற்படுத்துவதன் மூலம் ஒரு பாதுகாப்பு சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SiO₂) படம் உருவாகிறது.

மூன்று வகையான ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறைகள்

1. உலர் ஆக்சிஜனேற்றம்:

உலர் ஆக்சிஜனேற்ற செயல்பாட்டில், செதில்கள் ஆக்சிஜனேற்றத்திற்காக தூய O₂ கொண்டு செறிவூட்டப்பட்ட உயர் வெப்பநிலை சூழலுக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன. ஆக்சிஜன் மூலக்கூறுகள் நீர் மூலக்கூறுகளை விட கனமானவை என்பதால் உலர் ஆக்சிஜனேற்றம் மெதுவாக தொடர்கிறது. இருப்பினும், மெல்லிய, உயர்தர ஆக்சைடு அடுக்குகளின் உற்பத்திக்கு இது சாதகமானது, ஏனெனில் இந்த மெதுவான விகிதம் படத்தின் தடிமன் மீது மிகவும் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது. இந்த செயல்முறையானது ஹைட்ரஜன் போன்ற விரும்பத்தகாத துணை தயாரிப்புகளை உருவாக்காமல் ஒரே மாதிரியான, அதிக அடர்த்தி கொண்ட SiO₂ திரைப்படத்தை உருவாக்க முடியும். MOSFET கேட் ஆக்சைடுகள் போன்ற ஆக்சைடு தடிமன் மற்றும் தரத்தின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் சாதனங்களில் மெல்லிய ஆக்சைடு அடுக்குகளை உற்பத்தி செய்வதற்கு இது ஏற்றது.

2. ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றம்:

சிலிக்கான் செதில்களை உயர்-வெப்பநிலை நீர் நீராவிக்கு வெளிப்படுத்துவதன் மூலம் ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றம் செயல்படுகிறது, இது சிலிக்கான் மற்றும் நீராவிக்கு இடையே ஒரு இரசாயன எதிர்வினையைத் தூண்டி சிலிக்கான் டை ஆக்சைடை (SiO₂) உருவாக்குகிறது. இந்த செயல்முறையானது குறைந்த சீரான தன்மை மற்றும் அடர்த்தியுடன் ஆக்சைடு அடுக்குகளை உருவாக்குகிறது மற்றும் H₂ போன்ற விரும்பத்தகாத துணை தயாரிப்புகளை உருவாக்குகிறது, அவை பொதுவாக முக்கிய செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுவதில்லை. ஏனென்றால், ஆக்சைடு படலத்தின் வளர்ச்சி விகிதம் வேகமாக உள்ளது, ஏனெனில் நீராவியின் வினைத்திறன் தூய ஆக்ஸிஜனை விட அதிகமாக உள்ளது. எனவே, ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றம் பொதுவாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முக்கிய செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுவதில்லை.

3.தீவிர ஆக்சிஜனேற்றம்:  

தீவிர ஆக்சிஜனேற்ற செயல்பாட்டில், சிலிக்கான் செதில் அதிக வெப்பநிலைக்கு சூடேற்றப்படுகிறது, இந்த கட்டத்தில் ஆக்ஸிஜன் அணுக்கள் மற்றும் ஹைட்ரஜன் மூலக்கூறுகள் இணைந்து அதிக செயலில் உள்ள ஃப்ரீ ரேடிக்கல் வாயுக்களை உருவாக்குகின்றன. இந்த வாயுக்கள் சிலிக்கான் செதில்களுடன் வினைபுரிந்து SiO₂ படலத்தை உருவாக்குகின்றன.

அதன் தனித்துவமான நன்மை உயர் வினைத்திறன்: இது கடின-அடையக்கூடிய பகுதிகளில் (எ.கா., வட்டமான மூலைகள்) மற்றும் குறைந்த-வினைத்திறன் பொருட்கள் (எ.கா., சிலிக்கான் நைட்ரைடு) ஆகியவற்றில் ஒரே மாதிரியான படங்களை உருவாக்கலாம். இது மிகவும் சீரான, உயர்தர ஆக்சைடு பிலிம்களைக் கோரும் 3D குறைக்கடத்திகள் போன்ற சிக்கலான கட்டமைப்புகளை உற்பத்தி செய்வதற்கு மிகவும் பொருத்தமானதாக அமைகிறது.