2025-10-17
வேஃபர்செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பிணைப்பு ஒரு முக்கிய முக்கியமான தொழில்நுட்பமாகும். குறிப்பிட்ட செயல்பாடுகளை அடைய அல்லது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் உதவுவதற்கு இரண்டு மென்மையான மற்றும் சுத்தமான செதில்களை ஒன்றாக இணைக்க உடல் அல்லது இரசாயன முறைகளைப் பயன்படுத்துகிறது. இது உயர் செயல்திறன், மினியேட்டரைசேஷன் மற்றும் ஒருங்கிணைப்பை நோக்கி குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கும் ஒரு தொழில்நுட்பமாகும், மேலும் இது மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் (MEMS), நானோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் (NEMS), மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தயாரிப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
வேஃபர் பிணைப்பு தொழில்நுட்பங்கள் தற்காலிக பிணைப்பு மற்றும் நிரந்தர பிணைப்பு என வகைப்படுத்தப்படுகின்றன.
தற்காலிக பிணைப்புமெக்கானிக்கல் ஆதரவை வழங்குவதற்கு (ஆனால் மின் இணைப்பு அல்ல) மெல்லியதாக மாற்றுவதற்கு முன் ஒரு கேரியர் மேற்பரப்பில் பிணைப்பதன் மூலம் தீவிர மெல்லிய செதில் செயலாக்கத்தில் அபாயங்களைக் குறைக்கப் பயன்படும் ஒரு செயல்முறையாகும். இயந்திர ஆதரவு முடிந்ததும், வெப்ப, லேசர் மற்றும் இரசாயன முறைகளைப் பயன்படுத்தி ஒரு பிணைப்பு செயல்முறை தேவைப்படுகிறது.
நிரந்தர பிணைப்பு3D ஒருங்கிணைப்பு, MEMS, TSV மற்றும் பிற சாதன பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளில் மீளமுடியாத இயந்திரக் கட்டமைப்பு பிணைப்பை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு செயல்முறையாகும். இடைநிலை அடுக்கு உள்ளதா என்பதன் அடிப்படையில் நிரந்தர பிணைப்பு பின்வரும் இரண்டு வகைகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது:
1. இடைநிலை அடுக்கு இல்லாமல் நேரடி பிணைப்பு
1)இணைவு பிணைப்புSOI செதில் உற்பத்தி, MEMS, Si-Si அல்லது SiO₂-SiO₂ பிணைப்பில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
2)கலப்பின பிணைப்புTSV, HBM போன்ற மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
3)அனோடிக் பிணைப்புகாட்சி பேனல்கள் மற்றும் MEMS இல் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
2. ஒரு இடைநிலை அடுக்குடன் நேரடி பிணைப்பு
1)கண்ணாடி பேஸ்ட் பிணைப்புகாட்சி பேனல்கள் மற்றும் MEMS இல் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
2)பிசின் பிணைப்புசெதில்-நிலை பேக்கேஜிங்கில் (MLP) பயன்படுத்தப்படுகிறது.
3)இணைவு பிணைப்பு1. இடைநிலை அடுக்கு இல்லாமல் நேரடி பிணைப்பு
4)Reflow சாலிடரிங் பிணைப்புWLP மற்றும் மைக்ரோ-பம்ப் பிணைப்பில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
5)உலோக வெப்ப சுருக்க பிணைப்புHBM ஸ்டாக்கிங், COWOS, FO-WLP ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.