எட்ச்சிங்கில் ஷவர்ஹெட்ஸ்

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஷவர்ஹெட்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சாதனங்களில் முக்கிய கூறுகளாகும், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் அணு அடுக்கு படிவு (ALD) போன்ற மேம்பட்ட செயல்முறைகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

ஒரு முதன்மை செயல்பாடுSiC ஷவர்ஹெட்செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் எதிர்வினை வாயுக்களை சமமாக விநியோகிக்க வேண்டும், சீரான மற்றும் நிலையான டெபாசிட் அடுக்குகளை உறுதி செய்கிறது. CVD மற்றும் ALD செயல்முறைகளில், உயர்தர மெல்லிய படங்களை அடைவதற்கு எதிர்வினை வாயுக்களின் சீரான விநியோகம் முக்கியமானது. SiC ஷவர்ஹெட்ஸின் தனித்துவமான கட்டமைப்பு மற்றும் பொருள் பண்புகள் திறமையான வாயு விநியோகம் மற்றும் சீரான வாயு ஓட்டத்தை செயல்படுத்துகிறது, படத்தின் தரம் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் செயல்திறன் ஆகியவற்றிற்கான கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.

செதில் எதிர்வினை செயல்பாட்டின் போது, ​​ஷவர்ஹெட் மேற்பரப்பு நுண் துளைகளால் (துளை விட்டம் 0.2-6 மிமீ) அடர்த்தியாக மூடப்பட்டிருக்கும். துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட துளை அமைப்பு மற்றும் வாயு பாதையின் மூலம், சிறப்பு செயல்முறை வாயுக்கள் ஆயிரக்கணக்கான சிறிய துளைகள் வழியாக வாயு விநியோக தகடு வழியாக அனுப்பப்பட்டு செதில் மேற்பரப்பில் சமமாக வைக்கப்படுகின்றன. இது செதில்களின் வெவ்வேறு பகுதிகளில் மிகவும் சீரான மற்றும் சீரான பட அடுக்குகளை உறுதி செய்கிறது. எனவே, தூய்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பிற்கான மிக உயர்ந்த தேவைகளுக்கு கூடுதலாக, வாயு விநியோக தகடு துளை விட்டத்தின் நிலைத்தன்மை மற்றும் துளைகளின் உள் சுவர்களில் பர்ர்களின் இருப்பு ஆகியவற்றின் மீது கடுமையான கோரிக்கைகளை வைக்கிறது. அதிகப்படியான சகிப்புத்தன்மை மற்றும் துவார அளவின் நிலையான விலகல் அல்லது உள் சுவரில் பர்ர்கள் இருப்பது, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படத்தின் சீரற்ற தடிமனுக்கு வழிவகுக்கும், இது சாதனத்தின் செயல்முறை விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கிறது. பிளாஸ்மா-உதவி செயல்முறைகளில் (PECVD மற்றும் உலர் பொறித்தல் போன்றவை), ஷவர்ஹெட், மின்முனையின் ஒரு பகுதியாக, RF சக்தி மூலத்தைப் பயன்படுத்தி ஒரு சீரான மின்சார புலத்தை உருவாக்குகிறது, சீரான பிளாஸ்மா விநியோகத்தை ஊக்குவிக்கிறது, இதனால் பொறித்தல் அல்லது படிவு சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் அமைப்புகள் (MEMS), சக்தி குறைக்கடத்திகள் மற்றும் பிற துறைகளின் உற்பத்தியில் SiC ஷவர்ஹெட்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவற்றின் செயல்திறன் நன்மைகள் குறிப்பாக 7nm மற்றும் 5nm செயல்முறைகள் மற்றும் அதற்குக் கீழே உள்ள உயர்-துல்லிய படிவு தேவைப்படும் மேம்பட்ட செயல்முறை முனைகளில் தெளிவாகத் தெரிகிறது. அவை நிலையான மற்றும் சீரான வாயு விநியோகத்தை வழங்குகின்றன, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட அடுக்கின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன, இதன் மூலம் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன.

Semicorex சலுகைகள் தனிப்பயனாக்கப்பட்டதுCVD SiCமற்றும்சிலிக்கான் மழை தலைகள்வாடிக்கையாளர்களின் தேவைகளை அடிப்படையாகக் கொண்டது. உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com