பிளாஸ்மா டைசிங் என்றால் என்ன?

பிளாஸ்மா டைசிங் என்றால் என்ன?

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறையின் இறுதிப் படியாக வேஃபர் டைசிங் உள்ளது, சிலிக்கான் செதில்களை தனித்தனி சில்லுகளாக பிரிக்கிறது (டைஸ் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது). பாரம்பரிய முறைகள் வைர கத்திகள் அல்லது லேசர்களைப் பயன்படுத்தி சில்லுகளுக்கு இடையில் உள்ள டைசிங் தெருக்களில் வெட்டி, அவற்றை செதில்களிலிருந்து பிரிக்கிறது. பிளாஸ்மா டைசிங் ஒரு உலர் பொறித்தல் செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி, பிரிப்பு விளைவை அடைய, டைசிங் தெருக்களில் உள்ள பொருட்களை ஃப்ளோரின் பிளாஸ்மா மூலம் பொறிக்கிறது. குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்துடன், சந்தை அதிக அளவில் சிறிய, மெல்லிய மற்றும் மிகவும் சிக்கலான சில்லுகளை கோருகிறது. பிளாஸ்மா டைசிங் பாரம்பரிய வைர கத்திகள் மற்றும் லேசர் தீர்வுகளை படிப்படியாக மாற்றுகிறது, ஏனெனில் இது விளைச்சல், உற்பத்தி திறன் மற்றும் வடிவமைப்பு நெகிழ்வுத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது, இது குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் முதல் தேர்வாகிறது.

பிளாஸ்மா டைசிங், டைசிங் தெருக்களில் உள்ள பொருட்களை அகற்ற இரசாயன முறைகளைப் பயன்படுத்துகிறது. இயந்திர சேதம் இல்லை, வெப்ப அழுத்தம் மற்றும் உடல் ரீதியான தாக்கம் இல்லை, எனவே இது சில்லுகளுக்கு சேதத்தை ஏற்படுத்தாது. எனவே, பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி பிரிக்கப்பட்ட சில்லுகள் வைர கத்திகள் அல்லது லேசர்களைப் பயன்படுத்தும் பகடைகளை விட கணிசமாக அதிக எலும்பு முறிவு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன. இயந்திர ஒருமைப்பாட்டின் இந்த முன்னேற்றம், பயன்பாட்டின் போது உடல் அழுத்தத்திற்கு உட்பட்ட சில்லுகளுக்கு குறிப்பாக மதிப்புமிக்கது.

பிளாஸ்மா டைசிங் சில்லு உற்பத்தி திறன் மற்றும் ஒரு ஒற்றை செதில் சிப் வெளியீடு பெரிதும் மேம்படுத்த முடியும். டயமண்ட் பிளேடுகள் மற்றும் லேசர் டைசிங்கிற்கு ஸ்க்ரைப் லைன்களில் ஒவ்வொன்றாக டைசிங் தேவைப்படுகிறது, அதே சமயம் பிளாஸ்மா டைசிங் அனைத்து ஸ்க்ரைப் லைன்களையும் ஒரே நேரத்தில் செயலாக்க முடியும், இது சில்லுகளின் உற்பத்தி திறனை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது. பிளாஸ்மா டைசிங் ஒரு வைர கத்தியின் அகலம் அல்லது லேசர் ஸ்பாட்டின் அளவு ஆகியவற்றால் உடல் ரீதியாக வரையறுக்கப்படவில்லை, மேலும் டைசிங் தெருக்களை குறுகலாக்கலாம், மேலும் ஒரு செதில் இருந்து அதிக சில்லுகளை வெட்ட அனுமதிக்கிறது. இந்த வெட்டும் முறையானது செதில் அமைப்பை நேர்-கோடு வெட்டும் பாதையின் தடைகளிலிருந்து விடுவிக்கிறது, இது சிப் வடிவம் மற்றும் அளவு வடிவமைப்பில் அதிக நெகிழ்வுத்தன்மையை அனுமதிக்கிறது. இது செதில் பகுதியை முழுமையாகப் பயன்படுத்துகிறது, இயந்திர டைசிங்கிற்கு செதில் பகுதியை தியாகம் செய்ய வேண்டிய சூழ்நிலையைத் தவிர்க்கிறது. இது சிப் வெளியீட்டை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது, குறிப்பாக சிறிய அளவிலான சில்லுகளுக்கு.

மெக்கானிக்கல் டைசிங் அல்லது லேசர் நீக்கம் செதில் மேற்பரப்பில் குப்பைகள் மற்றும் துகள் மாசுபாட்டை விட்டுவிடலாம், கவனமாக சுத்தம் செய்தாலும் அதை முழுமையாக அகற்றுவது கடினம். பிளாஸ்மா டைசிங்கின் வேதியியல் தன்மை, அது ஒரு வெற்றிட பம்ப் மூலம் அகற்றப்படக்கூடிய வாயு துணை தயாரிப்புகளை மட்டுமே உருவாக்குகிறது, செதில் மேற்பரப்பு சுத்தமாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. இந்த சுத்தமான, இயந்திரமற்ற தொடர்பு பிரிப்பு குறிப்பாக MEMS போன்ற உடையக்கூடிய சாதனங்களுக்கு ஏற்றது. செதில் அதிர்வு மற்றும் உணர்திறன் கூறுகளை சேதப்படுத்த எந்த இயந்திர சக்திகளும் இல்லை, மேலும் கூறுகளுக்கு இடையில் சிக்கி அவற்றின் இயக்கத்தை பாதிக்க எந்த துகள்களும் இல்லை.

அதன் பல நன்மைகள் இருந்தபோதிலும், பிளாஸ்மா டைசிங் சவால்களை அளிக்கிறது. அதன் சிக்கலான செயல்முறைக்கு துல்லியமான மற்றும் நிலையான டைசிங்கை உறுதி செய்ய உயர்-துல்லியமான உபகரணங்கள் மற்றும் அனுபவம் வாய்ந்த ஆபரேட்டர்கள் தேவை. மேலும், பிளாஸ்மா கற்றையின் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் ஆற்றல் சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாடு மற்றும் பாதுகாப்பு முன்னெச்சரிக்கைகளில் அதிக கோரிக்கைகளை வைக்கிறது, அதன் பயன்பாட்டின் சிரமம் மற்றும் செலவை அதிகரிக்கிறது.