செதுக்குவதில் வளையங்கள் என்றால் என்ன

சிப் தயாரிப்பில், ஃபோட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் செதுக்கல் இரண்டு நெருக்கமாக இணைக்கப்பட்ட படிகள். ஃபோட்டோலித்தோகிராபி பொறிப்புக்கு முந்தியுள்ளது, அங்கு ஒளிச்சேர்க்கையைப் பயன்படுத்தி செதில் சுற்று முறை உருவாக்கப்படுகிறது. எட்ச்சிங், ஃபோட்டோரெசிஸ்ட்டால் மூடப்படாத ஃபிலிம் லேயர்களை அகற்றி, முகமூடியில் இருந்து செதில்களுக்கு வடிவத்தை மாற்றுவதை முடித்து, அயன் பொருத்துதல் போன்ற அடுத்தடுத்த படிகளுக்குத் தயாராகிறது.

பொறித்தல் என்பது வேதியியல் அல்லது இயற்பியல் முறைகளைப் பயன்படுத்தி தேவையற்ற பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுத்து அகற்றுவதை உள்ளடக்கியது. பூச்சு, எதிர்ப்பு பூச்சு, ஃபோட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் மேம்பாடு ஆகியவற்றைத் தொடர்ந்து, செதுக்குதல் செதில் மேற்பரப்பில் வெளிப்படும் தேவையற்ற மெல்லிய படப் பொருட்களை அகற்றி, விரும்பிய பகுதிகளை மட்டுமே விட்டுச்செல்கிறது. அதிகப்படியான ஒளிச்சேர்க்கை பின்னர் அகற்றப்படும். இந்த படிகளை மீண்டும் மீண்டும் செய்வது சிக்கலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளை உருவாக்குகிறது. பொறித்தல் பொருள் அகற்றுதலை உள்ளடக்கியதால், இது "கழித்தல் செயல்முறை" என்று அழைக்கப்படுகிறது.

உலர் எச்சிங், பிளாஸ்மா எச்சிங் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது செமிகண்டக்டர் எச்சிங்கில் ஆதிக்கம் செலுத்தும் முறையாகும். பிளாஸ்மா எட்சர்கள் அவற்றின் பிளாஸ்மா உருவாக்கம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டு தொழில்நுட்பங்களின் அடிப்படையில் இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கப்படுகின்றன: கொள்ளளவு இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா (CCP) பொறித்தல் மற்றும் தூண்டல் இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா (ICP) பொறித்தல். சிசிபி எட்சர்கள் முதன்மையாக மின்கடத்தாப் பொருட்களை பொறிப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அதே சமயம் ஐசிபி எட்சர்கள் முதன்மையாக சிலிக்கான் மற்றும் உலோகங்களை பொறிப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் அவை கடத்தி எச்சர்கள் என்றும் அழைக்கப்படுகின்றன. மின்கடத்தா எச்சர்கள் சிலிக்கான் ஆக்சைடு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு மற்றும் ஹாஃப்னியம் டை ஆக்சைடு போன்ற மின்கடத்தாப் பொருட்களை குறிவைக்கின்றன.

செதுக்கும் செயல்பாட்டில், நாம் முதன்மையாக இரண்டு வகையான மோதிரங்களைப் பயன்படுத்துவோம்: ஃபோகஸ் மோதிரங்கள் மற்றும் ஷீல்ட் மோதிரங்கள்.

ஃபோகஸ் ரிங்

பிளாஸ்மாவின் விளிம்பு விளைவு காரணமாக, அடர்த்தி மையத்தில் அதிகமாகவும் விளிம்புகளில் குறைவாகவும் இருக்கும். ஃபோகஸ் ரிங், அதன் வளைய வடிவம் மற்றும் CVD SiC இன் பொருள் பண்புகள் மூலம், ஒரு குறிப்பிட்ட மின்சார புலத்தை உருவாக்குகிறது. இந்த புலம் பிளாஸ்மாவில் உள்ள சார்ஜ் செய்யப்பட்ட துகள்களை (அயனிகள் மற்றும் எலக்ட்ரான்கள்) செதில் மேற்பரப்பில், குறிப்பாக விளிம்பில் வழிநடத்துகிறது மற்றும் கட்டுப்படுத்துகிறது. இது விளிம்பில் உள்ள பிளாஸ்மா அடர்த்தியை திறம்பட உயர்த்தி, மையத்தில் அதை நெருக்கமாகக் கொண்டுவருகிறது. இது செதில் முழுவதும் சீரான பொறிப்பை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, விளிம்பு சேதத்தை குறைக்கிறது மற்றும் மகசூலை அதிகரிக்கிறது.

கேடய வளையம்

பொதுவாக மின்முனைக்கு வெளியே அமைந்துள்ளது, அதன் முதன்மை செயல்பாடு பிளாஸ்மா வழிதல் தடுப்பதாகும். கட்டமைப்பைப் பொறுத்து, இது மின்முனையின் ஒரு பகுதியாகவும் செயல்படலாம். பொதுவான பொருட்களில் CVD SiC அல்லது ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் அடங்கும்.

Semicorex உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுCVD SiCமற்றும்சிலிக்கான்வாடிக்கையாளர்களின் தேவைகளின் அடிப்படையில் மோதிரங்களை பொறித்தல். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொடர்பு தொலைபேசி எண் +86-13567891907

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com