SIC படிக வளர்ச்சி உலையின் தொழில்நுட்ப சிக்கல்கள் என்ன

படிக வளர்ச்சி உலை என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களின் வளர்ச்சிக்கான முக்கிய கருவியாகும். இது பாரம்பரிய படிக சிலிக்கான்-தர படிக வளர்ச்சி உலை போன்றது. உலை அமைப்பு மிகவும் சிக்கலானது அல்ல. இது முக்கியமாக உலை உடல், வெப்பமாக்கல் அமைப்பு, சுருள் பரிமாற்ற வழிமுறை, வெற்றிட கையகப்படுத்தல் மற்றும் அளவீட்டு அமைப்பு, வாயு பாதை அமைப்பு, குளிரூட்டும் அமைப்பு, கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு போன்றவற்றால் ஆனது. வெப்ப புலம் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகள் SIC படிகத்தின் தரம், அளவு மற்றும் கடத்துத்திறன் போன்ற முக்கிய குறிகாட்டிகளை தீர்மானிக்கின்றன.

ஒருபுறம், சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களின் வளர்ச்சியின் போது வெப்பநிலை மிக அதிகமாக உள்ளது மற்றும் கண்காணிக்க முடியாது, எனவே முக்கிய சிரமம் செயல்பாட்டில் உள்ளது. முக்கிய சிரமங்கள் பின்வருமாறு:

(1) வெப்ப புலக் கட்டுப்பாட்டில் சிரமம்: மூடிய உயர் வெப்பநிலை அறையை கண்காணிப்பது கடினம் மற்றும் கட்டுப்படுத்த முடியாதது. பாரம்பரிய சிலிக்கான் அடிப்படையிலான தீர்வு அடிப்படையிலான நேரடி-புல் படிக வளர்ச்சி உபகரணங்களைப் போலல்லாமல், அதிக அளவு ஆட்டோமேஷன் மற்றும் படிக வளர்ச்சி செயல்முறையைக் காணலாம், கட்டுப்படுத்தலாம் மற்றும் சரிசெய்யலாம், சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்கள் 2,000 ° C க்கு மேல் அதிக வெப்பநிலை சூழலில் ஒரு மூடிய இடத்தில் வளர்கின்றன, மேலும் உற்பத்தியின் போது வளர்ச்சி வெப்பநிலையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த வேண்டும், இது வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை கடினமாக்குகிறது;

. மைக்ரோபைப்ஸ் (எம்.பி.எஸ்) ஒரு சில மைக்ரான் முதல் பல்லாயிரக்கணக்கான மைக்ரான் வரை அளவிலான வகை குறைபாடுகள் ஆகும், மேலும் அவை சாதனங்களுக்கான கொலையாளி குறைபாடுகள். சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிகங்களில் 200 க்கும் மேற்பட்ட வெவ்வேறு படிக வடிவங்கள் உள்ளன, ஆனால் ஒரு சில படிக கட்டமைப்புகள் மட்டுமே உற்பத்திக்குத் தேவையான குறைக்கடத்தி பொருட்கள். படிக வடிவ மாற்றம் வளர்ச்சியின் போது ஏற்பட வாய்ப்புள்ளது, இதன் விளைவாக பாலிமார்பிக் சேர்த்தல் குறைபாடுகள் ஏற்படுகின்றன. எனவே, சிலிக்கான்-கார்பன் விகிதம், வளர்ச்சி வெப்பநிலை சாய்வு, படிக வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் காற்று ஓட்ட அழுத்தம் போன்ற அளவுருக்களை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவது அவசியம். கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் வெப்பத் துறையில் வெப்பநிலை சாய்வு உள்ளது, இது பூர்வீக உள் அழுத்தத்திற்கு வழிவகுக்கிறது மற்றும் இதன் விளைவாக இடப்பெயர்வுகள் (அடித்தள விமான இடப்பெயர்வு பிபிடி, திருகு இடப்பெயர்வு டி.எஸ்.டி, எட்ஜ் இடப்பெயர்வு டெட்) படிக வளர்ச்சியின் போது வழிவகுக்கிறது, இதன் மூலம் அடுத்தடுத்த எபிடாக்ஸி மற்றும் சாதனங்களின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை பாதிக்கிறது.

(3) ஊக்கமருந்து கட்டுப்பாட்டில் சிரமம்: திசையில் அளவிடப்பட்ட கட்டமைப்பைக் கொண்ட ஒரு கடத்தும் படிகத்தைப் பெற வெளிப்புற அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்துவது கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்.

(4) மெதுவான வளர்ச்சி விகிதம்: சிலிக்கான் கார்பைட்டின் வளர்ச்சி விகிதம் மிகவும் மெதுவாக உள்ளது. வழக்கமான சிலிக்கான் பொருட்களுக்கு ஒரு படிக கம்பியாக வளர 3 நாட்கள் மட்டுமே தேவை, சிலிக்கான் கார்பைடு படிக தண்டுகளுக்கு 7 நாட்கள் தேவை. இது இயற்கையாகவே சிலிக்கான் கார்பைடு உற்பத்தி திறன் மற்றும் மிகவும் வரையறுக்கப்பட்ட வெளியீட்டிற்கு வழிவகுக்கிறது.

மறுபுறம், சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு தேவையான அளவுருக்கள் மிக அதிகமாக உள்ளன, இதில் சாதனங்களின் காற்று புகாதது, எதிர்வினை அறையில் வாயு அழுத்தத்தின் நிலைத்தன்மை, வாயு அறிமுக நேரத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு, வாயு விகிதத்தின் துல்லியம் மற்றும் படிவு வெப்பநிலையின் கடுமையான மேலாண்மை ஆகியவை அடங்கும். குறிப்பாக, சாதனத்தின் மின்னழுத்த மதிப்பீட்டின் முன்னேற்றத்துடன், எபிடாக்சியல் செதில் முக்கிய அளவுருக்களைக் கட்டுப்படுத்துவதில் சிரமம் கணிசமாக அதிகரித்துள்ளது. கூடுதலாக, எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தடிமன் அதிகரிக்கும்போது, ​​எதிர்ப்பின் சீரான தன்மையை எவ்வாறு கட்டுப்படுத்துவது மற்றும் குறைபாடு அடர்த்தியைக் குறைப்பது, அதே நேரத்தில் தடிமன் மற்றொரு பெரிய சவாலாக மாறிவிட்டது என்பதை உறுதி செய்கிறது. மின்மயமாக்கப்பட்ட கட்டுப்பாட்டு அமைப்பில், பல்வேறு அளவுருக்கள் துல்லியமாகவும் நிலையானதாகவும் கட்டுப்படுத்தப்படலாம் என்பதை உறுதிப்படுத்த உயர் துல்லியமான சென்சார்கள் மற்றும் ஆக்சுவேட்டர்களை ஒருங்கிணைப்பது அவசியம். அதே நேரத்தில், கட்டுப்பாட்டு வழிமுறையின் உகப்பாக்கும் முக்கியமானது. சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பல்வேறு மாற்றங்களுக்கு ஏற்ப பின்னூட்டம் சமிக்ஞையின் படி கட்டுப்பாட்டு மூலோபாயத்தை நிகழ்நேரத்தில் சரிசெய்ய முடியும்.

செமிகோரெக்ஸ் அதிக தூய்மை தனிப்பயனாக்கப்பட்டதுபீங்கான்மற்றும்கிராஃபைட்SIC படிக வளர்ச்சியில் கூறுகள். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களுடன் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொலைபேசி # +86-13567891907 ஐ தொடர்பு கொள்ளவும்

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com