செமிகோரெக்ஸ் கிடைமட்ட குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகள், செமிகண்டக்டர்-கிரேடு உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன, அவை குறைக்கடத்தி செதில்களைப் பிடிக்கவும், சரிசெய்யவும் மற்றும் மாற்றவும் பயன்படுத்தப்படும் சுமந்து செல்லும் கூறுகளாகும். செமிகண்டக்டர் செதில்களின் உற்பத்தி திறன் மற்றும் விளைச்சலை அதிகரிக்க சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, கிடைமட்ட குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகள் சவாலான உயர்-வெப்பநிலை அரிப்பை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு உகந்த தீர்வுகளாகும்.
கிடைமட்ட குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகள்பொதுவாக செமிகண்டக்டர் செதில்களை கிடைமட்டமாக வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்களின் உலைக் குழாய்களுக்குள் வைத்திருக்கும், வெளிப்புற வெப்பமூட்டும் சாதனங்களால் சூடுபடுத்தப்படும். வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம், உயர் வெப்பநிலை பரவல், அனீலிங் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறைகள் போன்ற உயர்-வெப்பநிலை அரிக்கும் குறைக்கடத்தி வெப்ப சிகிச்சை செயல்முறைகளில் அவை பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
செமிகோரெக்ஸ் கிடைமட்ட குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகளின் செயல்பாடுகள்
1.நிலையான பிடிப்பு மற்றும் பாதுகாத்தல்
செமிகோரெக்ஸ் கிடைமட்ட குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகள் சிறந்த சுமை தாங்கும் திறன் கொண்டவை மற்றும் பல குறைக்கடத்தி செதில்களுக்கு நிலையான ஆதரவை தொடர்ந்து வழங்க முடியும். மேலும் அவற்றின் உகந்த வெளிப்புற வடிவமைப்பு மற்றும் துல்லியமான ஸ்லாட் அமைப்பு ஒவ்வொன்றையும் உறுதி செய்கிறதுசெதில்கிடைமட்ட குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகளில் கச்சிதமாக பொருத்தப்பட்டு உறுதியாகப் பாதுகாக்கப்படுகிறது, இது போக்குவரத்து மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறைகளின் போது நடுக்கம், இடப்பெயர்ச்சி மற்றும் சாய்வதால் ஏற்படும் செதில் கீறல்கள் மற்றும் மோதல்களைக் கணிசமாகக் குறைக்கிறது.
2.செயல்முறை சீரான உதவி
கிடைமட்ட குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகளின் சம இடைவெளி ஸ்லாட் அமைப்பு குறைக்கடத்தி செதில்களை ஒழுங்காக வைக்க அனுமதிக்கிறது, இதனால் உயர் வெப்பநிலை உலைகளில் நிலையான மற்றும் மென்மையான வாயு ஓட்டம் புலத்தை உருவாக்குகிறது. கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு ஒவ்வொரு செதில் பரப்பிலும் சீரான வாயு தொடர்பு மற்றும் எதிர்வினை வீதத்தை அடைகிறது, இதன் மூலம் முழுமையற்ற செதில் ஆக்சிஜனேற்றம், சீரற்ற மெல்லிய-படம் படிவு மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு விலகல் போன்ற சீரற்ற வெப்பமூட்டும் மற்றும் வேறுபட்ட வாயு தொடர்புகளால் ஏற்படும் பல்வேறு குறைபாடுகளை திறம்பட குறைக்கிறது.
3. நீண்ட கால சேவை வாழ்க்கை
குவார்ட்ஸ் பொருளின் உயர்ந்த உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பிற்கு நன்றி, செமிகோரெக்ஸ் கிடைமட்ட குவார்ட்ஸ் செதில் படகுகள் 1100-1200℃ அதிக வெப்பநிலையை சிதைப்பது அல்லது உருகாமல் நீண்ட நேரம் தாங்கும்.குவார்ட்ஸ்ஆக்ஸிஜன், நைட்ரஜன் மற்றும் ஹைட்ரஜன் குளோரைடு போன்ற குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்களுக்கு வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றது. இந்த விதிவிலக்கான இரசாயன செயலற்ற தன்மை செயல்முறை வாயுக்களிலிருந்து அரிப்பு அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, சேவை ஆயுளை பெரிதும் நீட்டிக்கிறது மற்றும் உபகரணங்கள் மாற்றும் நேரத்தையும் செலவுகளையும் குறைக்கிறது.