செமிகோரெக்ஸ் கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் என்பது செமிகண்டக்டர் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் உகந்த வெப்பநிலை நிலைகளை பராமரிக்க வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் காப்புப் பொருளாகும். Semicorex உயர்ந்த வெப்ப மேலாண்மையுடன் மேம்பட்ட தீர்வுகளை வழங்குகிறது, உயர்தர பொருட்கள் மற்றும் முக்கியமான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி பயன்பாடுகளில் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.*
Semicorex Graphite Soft Felt என்பது உயர்-செயல்திறன் காப்புப் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு மேம்பட்ட பொருள், குறிப்பாக குறைக்கடத்தி துறையில். இருந்து தயாரிக்கப்பட்டதுகார்பன் ஃபைபர், இந்த மென்மையான உணர்வு குறைக்கடத்தி படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அங்கு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வெப்ப மேலாண்மை மிகவும் முக்கியமானது. அதன் உயர்ந்த வெப்ப காப்பு பண்புகளுக்கு பெயர் பெற்ற கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட், படிக வளர்ச்சி உலைகளின் நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதில் அவசியம்.
பொருள் கலவை மற்றும் பண்புகள்
கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் பொதுவாக ஒரு கலவையிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறதுகார்பன் இழைகள், இது அதிக அளவிலான போரோசிட்டி மற்றும் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பை அடைய செயலாக்கப்படுகிறது. இந்த நுண்துளை அமைப்பு, பொருளை திறம்பட வெப்பத்தைத் தக்கவைக்க அனுமதிக்கிறது, இது படிக வளர்ச்சி உலைகளில் இன்சுலேடிங் லேயராகப் பயன்படுத்துவதற்கான சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. மென்மையான உணர்வின் நெகிழ்வுத்தன்மையானது பல்வேறு வடிவவியல் மற்றும் உலை வடிவமைப்புகளுக்கு இணங்க அனுமதிக்கிறது, நிலையான மற்றும் தனிப்பயன் பயன்பாடுகளில் உகந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. அதன் குறைந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் குறைந்தபட்ச வெப்ப இழப்பை உறுதி செய்கிறது, ஆற்றல் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் போது துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை பராமரிக்க உதவுகிறது.
முக்கிய அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்
சிறந்த வெப்ப காப்பு: கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட்டின் மிக முக்கியமான பண்புகளில் ஒன்று அதன் சிறந்த வெப்ப காப்பு பண்புகள் ஆகும். இது குறைக்கடத்தி படிக வளர்ச்சிக்கு இன்றியமையாத பொருளாக அமைகிறது, உயர்தர படிகங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு சீரான வெப்பநிலையை பராமரிப்பது மிக முக்கியமானது. பொருளின் குறைந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் வெப்ப இழப்பைக் குறைக்கிறது, ஆற்றலை மிகவும் திறமையாகப் பயன்படுத்த உதவுகிறது மற்றும் உலை சூழலில் தேவையற்ற வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களைத் தடுக்கிறது.
உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் மிக அதிக வெப்பநிலையை சிதைவின்றி தாங்கும். குறைக்கடத்தி துறையில், படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளுக்கு பெரும்பாலும் 2000 ° C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலை தேவைப்படுகிறது. கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் இத்தகைய நிலைமைகளின் கீழ் அதன் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது, கடுமையான சூழல்களிலும் நம்பகமான செயல்திறனை வழங்குகிறது. இந்த உயர்-வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை, செமிகண்டக்டர் செதில்கள், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகங்கள் மற்றும் பிற உயர் தூய்மை பொருட்கள் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் படிக வளர்ச்சி உலைகளுக்கு சிறந்த தீர்வாக அமைகிறது.
இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை: அதன் வெப்ப பண்புகளுக்கு கூடுதலாக, கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, இது படிக வளர்ச்சியின் போது எதிர்கொள்ளும் வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயன நீராவிகளின் அரிப்பை எதிர்க்கும். இது நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது, இதன் மூலம் செயல்பாட்டு செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
இலகுரக மற்றும் கையாள எளிதானது: பொருள் இலகுரக, இது சிக்கலான உலை அமைப்புகளில் கையாளவும், வெட்டவும் மற்றும் நிறுவவும் எளிதாக்குகிறது. அதன் மென்மையான, நெகிழ்வான தன்மையானது, குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு வடிவமைக்கப்படுவதற்கு அனுமதிக்கிறது, இது திடமான காப்புப் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது அதிக பன்முகத்தன்மையை வழங்குகிறது. தனிப்பயன் வடிவங்கள் அல்லது அளவுகள் தேவைப்படும் பயன்பாடுகளில் இந்த நெகிழ்வுத்தன்மை மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.
பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை: கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் வெப்ப சுழற்சிகளுக்கு உட்படுத்தப்பட்டாலும், அதன் பரிமாண ஒருமைப்பாட்டின் அடிப்படையில் மிகவும் நிலையானது. மீண்டும் மீண்டும் சூடாக்குதல் மற்றும் குளிரூட்டல் மூலம் சுருங்கக்கூடிய, சிதைக்கக்கூடிய அல்லது சிதைக்கக்கூடிய பல காப்புப் பொருட்களைப் போலல்லாமல், கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் அதன் அசல் வடிவத்தையும் கட்டமைப்பையும் தக்கவைத்து, அதன் சேவை வாழ்க்கை முழுவதும் நிலையான காப்பு செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
செமிகண்டக்டர் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சியில் பயன்பாடுகள்
குறைக்கடத்தி படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில், உயர்தர பொருட்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு துல்லியமான வெப்ப நிலைகளை பராமரிப்பது மிகவும் முக்கியமானது. கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் ஒரு பயனுள்ள வெப்பத் தடையாகவும், இன்சுலேடிங் லேயராகவும் செயல்படுவதன் மூலம் இந்த நிலைமைகள் பூர்த்தி செய்யப்படுவதை உறுதி செய்வதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. அதன் முதன்மைப் பயன்பாடானது படிக வளர்ச்சி உலைகளில் உள்ளது, இது உலை சுவர்கள், தட்டுகள் அல்லது சிலுவைகளை வரிசைப்படுத்த பயன்படுகிறது.
படிக வளர்ச்சி உலைகள்: சிலிக்கான் செதில்கள் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகங்கள் போன்ற உயர்-தூய்மை குறைக்கடத்தி பொருட்களின் உற்பத்தியில், துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு அவசியம். கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் நிலையான வெப்ப நிலைகளை பராமரிக்கவும், வெப்ப இழப்பைத் தடுக்கவும் மற்றும் உலை கூறுகளை அதிக வெப்ப அழுத்தத்திலிருந்து பாதுகாக்கவும் காப்பு அடுக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களைக் குறைப்பதன் மூலம், கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் படிக வளர்ச்சி செயல்முறையின் சீரான தன்மை மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்த உதவுகிறது.
பாலிகிரிஸ்டலின் மற்றும் சிங்கிள் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி: மிக அதிக வெப்பநிலையில் உலைகளில் பாலிகிரிஸ்டலின் அல்லது ஒற்றை படிகங்கள் வளர்க்கப்படும் பயன்பாடுகளில் பொருள் மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும். கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட்டின் சிறந்த வெப்ப காப்பு பண்புகள், வளர்ச்சி சூழலில் வெப்பநிலை நிலையானதாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இது சீரான படிக அமைப்புகளை அடைவதற்கு முக்கியமானது. சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகங்களின் வளர்ச்சியில் இந்தப் பயன்பாடு பொதுவானது, இவை பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், உயர் அதிர்வெண் சாதனங்கள் மற்றும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை படிக வளர்ச்சி: அதன் வெப்ப பண்புகளுக்கு கூடுதலாக, கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட்டின் இரசாயன நிலைத்தன்மை உயர்-தூய்மை படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த சிறந்தது. மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படும் உயர்தர, உயர்-தூய்மை படிகங்களின் உற்பத்திக்கு பங்களிக்கும், வெளிப்புற மூலங்களால் ஏற்படும் மாசுபாட்டிலிருந்து உணர்திறன் குறைக்கடத்தி பொருட்களைப் பாதுகாக்க பொருள் உதவுகிறது.
உலை செயல்பாடுகளில் ஆற்றல் திறன்: பயனுள்ள காப்பு வழங்குவதன் மூலம், கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் படிக வளர்ச்சி உலைகளில் ஆற்றல் நுகர்வு குறைக்கிறது. குறைந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பத்தை தக்கவைத்துக்கொள்வதன் மூலம், பொருள் குறைந்த ஆற்றல் உள்ளீட்டில் தேவையான வெப்பநிலையை பராமரிக்க உதவுகிறது, ஒட்டுமொத்த செயல்பாட்டு செலவுகளை குறைக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
செமிகோரெக்ஸ் கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் என்பது செமிகண்டக்டர் துறையில், குறிப்பாக படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் இன்றியமையாத ஒரு உயர் செயல்திறன் காப்புப் பொருளாகும். அதன் சிறந்த வெப்ப காப்பு, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை ஆகியவை குறைக்கடத்தி படிக வளர்ச்சி உலைகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. சீரான வெப்பநிலை நிலைகளை உறுதி செய்வதன் மூலமும், வெப்ப அழுத்தத்திலிருந்து உலைக் கூறுகளைப் பாதுகாப்பதன் மூலமும், கிராஃபைட் சாஃப்ட் ஃபெல்ட் படிக வளர்ச்சியின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது, இது உயர்-தூய்மை குறைக்கடத்தி படிகங்கள் மற்றும் பிற மேம்பட்ட பொருட்களின் உற்பத்திக்கு இன்றியமையாத பொருளாக அமைகிறது.