குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் சிக்கலான சுற்றுச்சூழல் அமைப்பில், வெப்ப நிலைத்தன்மை என்பது தரத்தின் அடித்தளமாகும். சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) இங்காட்களை வளர்த்தாலும் அல்லது GaN மின் சாதனங்களுக்கான எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை டெபாசிட் செய்தாலும், வெப்பமூட்டும் உறுப்பு முழுமையான துல்லியத்தை வழங்க வேண்டும். எங்கள் கிராஃபைட் ஹீட்டர்கள் உங்கள் அணு உலையின் நம்பகமான வெப்ப மையமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, இது 2,000°C வரை கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
1. பொருள் சிறப்பு: உயர் தூய்மை ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்
ஒரு ஹீட்டரின் செயல்திறன் அதன் அடி மூலக்கூறுடன் தொடங்குகிறது. Semicorex இல், நாங்கள் மிகச் சிறந்ததை மட்டுமே பயன்படுத்துகிறோம்ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட், உறுதி செய்ய அனைத்து பக்கங்களிலிருந்தும் சம அழுத்தத்தின் கீழ் உருவாக்கப்பட்டது:
- சீரான மின் எதிர்ப்பு:சீரற்ற செதில் வளர்ச்சியை ஏற்படுத்தும் உள்ளூர்மயமாக்கப்பட்ட "ஹாட் ஸ்பாட்களை" நீக்குகிறது.
- நுண்தானிய அமைப்பு:சிறந்த இயந்திர வலிமை பாம்பு பாதைகளின் சிக்கலான CNC எந்திரத்தை அனுமதிக்கிறது.
- மிகக் குறைந்த சாம்பல் உள்ளடக்கம்:சுத்திகரிப்பு செயல்முறைகள் உலோக அசுத்தங்களை <5 ppm ஆகக் குறைத்து, மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது.
2. வெப்ப சீரான வடிவியல் பொறியியல்
எங்கள் ஹீட்டர்கள் ஒரு முழுமையான வட்டமான வெப்பப் புலத்தை உறுதி செய்வதற்காக கணித ரீதியாக உகந்ததாக ஒரு சிக்கலான எதிர்ப்பு பாதையைக் கொண்டுள்ளது:
- பாம்பு பாதை வடிவமைப்பு:விரைவான மற்றும் துல்லியமான வெப்பநிலை ரேம்பிங்கிற்கு எதிர்ப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு பகுதியை அதிகரிக்கிறது.
- ஒருங்கிணைந்த மவுண்டிங் ஆயுதங்கள்:பாதுகாப்பான மின் இணைப்புக்கான துல்லியமான துளையிடப்பட்ட துளைகள், குறைந்த தொடர்பு எதிர்ப்பை உறுதி செய்கின்றன.
- வெப்ப சமச்சீர்:ரேடியல் வெப்பநிலை சாய்வுகளைக் குறைத்து, சசெப்டரின் வடிவவியலைப் பொருத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
3. மேம்பட்ட பாதுகாப்பு பூச்சுகள்
செமிகோரெக்ஸ் ஆக்கிரமிப்பு இரசாயன சூழல்களுக்கு எதிராக பாதுகாக்க மேம்பட்ட பூச்சு மேம்பாடுகளை வழங்குகிறது:
- CVD SiC பூச்சு:MOCVD சூழல்களில் "கார்பன் தூசி" மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தடுக்கும் ஹெர்மீடிக் முத்திரை.
- CVD TaC பூச்சு:SiC படிக வளர்ச்சிக்கு 2,000°Cக்கு மேல், ஹைட்ரஜன் அரிப்புக்கு இணையற்ற எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
தொழில்நுட்ப செயல்திறன் விவரக்குறிப்புகள்
| சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு | தொழில்துறை நன்மை |
|---|---|---|
| அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை | 2,200°C வரை | அனைத்து SiC/GaN வளர்ச்சி சுயவிவரங்களையும் ஆதரிக்கிறது |
| சாம்பல் உள்ளடக்கம் | < 2 - 5 பிபிஎம் | டோபண்ட்-லெவல் மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது |
| அடர்த்தி | 1.82 - 1.88 g/cm³ | உயர் இயந்திர மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை |
| நெகிழ்வு வலிமை | 50 - 70 MPa | இயந்திர அழுத்தம் மற்றும் அதிர்வுகளுக்கு எதிர்ப்பு |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் | 100 - 130 W/m·K | திறமையான மற்றும் விரைவான வெப்ப பரிமாற்றம் |
செமிகண்டக்டர் ஃபேப்பில் முக்கியமான பயன்பாடுகள்
- SiC இங்காட் வளர்ச்சி (PVT):பதங்கமாதலை இயக்குவதற்குத் தேவையான துல்லியமான செங்குத்து வெப்பநிலை சாய்வை வழங்குதல்.
- MOCVD & PECVD:III-V கலவை குறைக்கடத்திகளில் சஸ்பெப்டர்களுக்கு முதன்மை வெப்ப ஆதாரமாக செயல்படுகிறது.
- உயர் வெப்பநிலை அனீலிங்:உயர் மின்னழுத்த சக்தி சாதனங்களில் டோபண்டுகளை செயல்படுத்துவதற்கு சுத்தமான, நம்பகமான வெப்பம்.
ஒவ்வொரு கிராஃபைட் ஹீட்டரும் 100% CMM பரிமாணச் சரிபார்ப்பிற்கு உட்பட்டு, உங்கள் குறிப்பிட்ட உலை மாதிரியில் சரியான பொருத்தத்தை உறுதிப்படுத்துகிறது. கடுமையான தொழில் தரநிலைகளுக்கு இணங்குவதை உறுதிசெய்து, முழுமையான கண்டுபிடிப்பு மற்றும் பொருள் சான்றிதழை நாங்கள் வழங்குகிறோம். ரெசிஸ்டிவ் பாதையை மேம்படுத்துவதன் மூலம், சுழற்சி நேரங்களைக் குறைக்கவும், ஒரு தொகுதிக்கு "பிரைம் கிரேடு" செதில்களின் எண்ணிக்கையை அதிகரிக்கவும் ஃபேப்களுக்கு உதவுகிறோம்.
