கண்ணாடி போன்ற கார்பன் கோடட் ரிஜிட் ஃபீல்ட்

கண்ணாடி போன்ற கார்பன் கோடட் ரிஜிட் ஃபெல்ட்டின் முதன்மை நன்மைகளில் ஒன்று அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப எதிர்ப்பாகும். கண்ணாடி போன்ற கார்பன் பூச்சு ஒரு மந்த வளிமண்டலத்தில் 2000 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையைத் தாங்க உதவுகிறது, இது உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. இந்த திறன் பூச்சுகளின் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் உயர் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு ஆகியவற்றால் நிரப்பப்படுகிறது, இது விரைவான வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் போது சேதமடையாமல் கார்பன் ஃபைபர் திடமான அடி மூலக்கூறைப் பாதுகாக்கிறது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கியமானவை, அங்கு உணர்திறன் கூறுகளின் ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்க நிலையான வெப்ப மேலாண்மை அவசியம்.

கண்ணாடி போன்ற கார்பன் பூச்சு குறிப்பிடத்தக்க இரசாயன மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை கார்பன் ஃபைபர் திடமான உணர்விற்கு வழங்குகிறது. இந்த எதிர்ப்பானது, ஆக்கிரமிப்பு இரசாயனங்கள் மற்றும் அரிக்கும் முகவர்களின் வெளிப்பாட்டால் வகைப்படுத்தப்படும் சூழல்களில் பொருள் நிலையானதாகவும் பயனுள்ளதாகவும் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. வாயுக்கள் மற்றும் திரவங்களுக்கு பூச்சுகளின் ஊடுருவாத தன்மை அடி மூலக்கூறை மேலும் பாதுகாக்கிறது, இல்லையெனில் அதன் செயல்திறனை சமரசம் செய்யக்கூடிய ஊடுருவலைத் தடுக்கிறது. இந்த குணாதிசயம் கண்ணாடி போன்ற கார்பன் கோடட் ரிஜிட் செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில் குறிப்பாக மதிப்புமிக்கதாக உணர்கிறது, அங்கு கடுமையான இரசாயன செயல்முறைகளுக்கு வெளிப்பாடு பொதுவானது.

உயர் தூய்மை என்பது கண்ணாடி போன்ற கார்பன் பூச்சு வழங்கும் மற்றொரு முக்கியமான நன்மை. அடையக்கூடிய தூய்மை நிலைகள் 99.99999% ஐ அடைவதால், பூச்சு துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி தூய்மையான அறை சூழல்களில் முக்கியமான கருத்தாகும். குறைக்கப்பட்ட துகள் உமிழ்வு மாசுபடுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, இதனால் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் விளைச்சலை அதிகரிக்கிறது. இந்தத் தூய்மையானது, பொருளின் ஐசோட்ரோபிக் அமைப்புடன் இணைந்து, எல்லாத் திசைகளிலும் ஒரே மாதிரியான பண்புகளை உறுதிப்படுத்துகிறது, இது பல்வேறு பயன்பாடுகளில் கண்ணாடி போன்ற கார்பன் கோடட் ரிஜிட் ஃபெல்ட்டின் நிலையான செயல்திறனுக்கு பங்களிக்கிறது.

கண்ணாடி போன்ற கார்பன் பூச்சுகளின் மின் மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் கடினமான உணர்திறனின் பல்துறை திறனை மேலும் அதிகரிக்கிறது. இந்த கடத்தும் பண்புகள் திறமையான வெப்பம் மற்றும் மின்னோட்ட நிர்வாகத்தை செயல்படுத்துகின்றன, ஹீட்டர்கள் மற்றும் பிற வெப்ப செயலாக்க கருவிகள் போன்ற பயன்பாடுகளை ஆதரிக்கின்றன. பயனுள்ள வெப்ப மற்றும் மின் செயல்திறனை எளிதாக்குவதன் மூலம், கண்ணாடி போன்ற கார்பன் கோடட் ரிஜிட் ஃபெல்ட் சிக்கலான குறைக்கடத்தி அமைப்புகளில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத சொத்தாக மாறுகிறது, அங்கு துல்லியம் மிக முக்கியமானது.

குறைக்கடத்தி துறையில், கண்ணாடி போன்ற கார்பன் கோடட் ரிஜிட் ஃபெல்ட்டின் பயன்பாடுகள் விரிவானவை மற்றும் வேறுபட்டவை. பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) கருவிகளில் உள்ள கூறுகளுக்கு இது ஒரு சிறந்த பொருளாகும், அங்கு அதன் இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப திறன்கள் முக்கியமானவை. கூடுதலாக, பொருள் ஒரு பயனுள்ள ஸ்பட்டரிங் இலக்காகவும், பகுப்பாய்வு உபகரணங்களுக்கான மாதிரி வைத்திருப்பவராகவும் செயல்படுகிறது, அங்கு அதன் உயர் தூய்மை மற்றும் நிலைத்தன்மை துல்லியமான விளைவுகளை உறுதி செய்கிறது. இந்த பன்முகத்தன்மை கண்ணாடி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கான ஜிக்ஸில் அதன் பயன்பாடு வரை நீட்டிக்கப்படுகிறது, அதன் வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் கண்ணாடி பொருட்களை வடிவமைத்தல் மற்றும் உருவாக்குதல் ஆகியவற்றில் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கு ஊடுருவக்கூடிய தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

குறைக்கடத்தி மண்டலத்திற்கு அப்பால், கண்ணாடி போன்ற கார்பன் பூச்சுகளின் நன்மைகள் மற்ற உயர் தொழில்நுட்ப பயன்பாடுகளுக்கு தாக்கங்களைக் கொண்டுள்ளன. அதன் வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவை ஹீட்டர்கள் மற்றும் வெப்ப பகுப்பாய்வு உபகரணங்களில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது, அங்கு வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன தொடர்புகளின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் செயல்திறனைப் பராமரிக்கும் பொருளின் திறன், இது பரந்த அளவிலான கோரும் தொழில்துறை பயன்பாடுகளில் நம்பகமான அங்கமாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

நுண்ணிய கண்ணாடி போன்ற கார்பனின் SEM படம்