இணைந்த குவார்ட்ஸ் பீடம்

செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷனில், ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் பீடமானது செதில்களை வைத்திருக்கும் குவார்ட்ஸ் படகுக்கு ஆதரவு அமைப்பாக செயல்படுகிறது. ஒரு நிலையான வெப்பநிலையை பராமரிப்பதன் மூலம், இது சீரான மெல்லிய-பட படிவுகளை அடைய உதவுகிறது, இது குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு ஒரு முக்கிய காரணியாகும். செயல்முறை அறைக்குள் வெப்ப மற்றும் ஒளி விநியோகம் சீராக இருப்பதை பீடம் உறுதி செய்கிறது, இதன் மூலம் படிவு செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

இணைந்த குவார்ட்ஸ் பொருளின் நன்மைகள்

1.உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு

உருகிய குவார்ட்ஸ் பீடமானது தோராயமாக 1730 டிகிரி செல்சியஸ் மென்மையாக்கும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, இது 1100 டிகிரி செல்சியஸ் முதல் 1250 டிகிரி செல்சியஸ் வரையிலான வெப்பநிலையில் நீடித்த பயன்பாட்டைத் தாங்க அனுமதிக்கிறது. மேலும், இது 1450 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையில் குறுகிய கால வெளிப்பாட்டைத் தாங்கும்.

2.அரிப்பு எதிர்ப்பு

ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் பீடமானது, ஹைட்ரோபுளோரிக் அமிலத்தைத் தவிர, பெரும்பாலான அமிலங்களுக்கு வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றது. அதன் அமில எதிர்ப்பு மட்பாண்டங்களை விட 30 மடங்கு மற்றும் துருப்பிடிக்காத எஃகு 150 மடங்கு அதிகமாகும். உயர்ந்த வெப்பநிலையில், உருகிய குவார்ட்ஸின் இரசாயன நிலைத்தன்மையுடன் வேறு எந்தப் பொருளும் பொருந்தாது, இது கடுமையான இரசாயன சூழல்களுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.

3. வெப்ப நிலைத்தன்மை

இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் பீடத்தின் தனித்துவமான அம்சங்களில் ஒன்று அதன் குறைந்தபட்ச வெப்ப விரிவாக்க குணகம் ஆகும். இந்த பண்பு கடுமையான வெப்பநிலை மாற்றங்களை விரிசல் இல்லாமல் தாங்க அனுமதிக்கிறது. உதாரணமாக, இது விரைவாக 1100 டிகிரி செல்சியஸ் வரை சூடேற்றப்பட்டு, சேதம் ஏற்படாமல் அறை வெப்பநிலையில் தண்ணீரில் மூழ்கடிக்கப்படலாம்-அதிக அழுத்த உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு இது ஒரு அத்தியாவசிய பண்பு.

உற்பத்தி செயல்முறை

இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் பீடத்திற்கான உற்பத்தி செயல்முறை மிக உயர்ந்த தரத்தை உறுதி செய்வதற்காக உன்னிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது. 10,000 அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட வகுப்புகளின் சுத்தமான அறை சூழல்களில் நடத்தப்படும் தெர்மோஃபார்மிங் மற்றும் வெல்டிங் செயல்முறைகள் மூலம் பீடங்கள் தயாரிக்கப்படுகின்றன. அல்ட்ராப்பூர் நீர் (18 MΩ) மூலம் சுத்தம் செய்தல்மேலும் தயாரிப்பின் தூய்மை மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. ஒவ்வொரு இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் பீடமும் 1,000 அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட கிளீன்ரூமில் கடுமையான ஆய்வு, சுத்தம் மற்றும் பேக்கேஜிங் செய்து குறைக்கடத்தி புனையலின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

உயர் தூய்மை ஒளிபுகா குவார்ட்ஸ் பொருள்

வெப்பம் மற்றும் ஒளியை திறம்பட தடுக்க, இணைந்த குவார்ட்ஸ் பீடமானது உயர்-தூய்மை ஒளிபுகா குவார்ட்ஸ் பொருளைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த பொருளின் தனித்துவமான பண்புகள், செயல்முறை அறைக்குள் ஒரு நிலையான மற்றும் சீரான வெப்பநிலையை பராமரிக்க பீடத்தின் திறனை மேம்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் செதில்களில் மெல்லிய-பட படிவுகளின் நிலையான தரத்தை உறுதி செய்கிறது.

பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகள்

ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் பீடத்தின் விதிவிலக்கான பண்புகள், குறைக்கடத்தி தொழிற்துறையில் உள்ள பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. ALD செயல்முறைகளில், மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு அவசியமான அணு மட்டத்தில் மெல்லிய பட வளர்ச்சியின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை இது ஆதரிக்கிறது. LPCVD செயல்முறைகளின் போது, ​​பீடத்தின் வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் ஒளி-தடுக்கும் திறன் ஆகியவை சீரான படப் படிவு, சாதன செயல்திறன் மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துவதற்கு பங்களிக்கின்றன.

பரவல் செயல்முறைகளில், இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் பீடத்தின் உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன மந்தநிலை ஆகியவை குறைக்கடத்தி பொருட்களின் நம்பகமான மற்றும் நிலையான ஊக்கமருந்துகளை உறுதி செய்கின்றன. குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் மின் பண்புகளை வரையறுப்பதற்கு இந்த செயல்முறைகள் முக்கியமானவை, மேலும் உகந்த முடிவுகளை அடைவதற்கு இணைந்த குவார்ட்ஸ் போன்ற உயர்தர பொருட்களின் பயன்பாடு அவசியம்.