ESC சக்

செமிகோரெக்ஸ் ESC சக், செமிகண்டக்டர் உற்பத்திச் சூழல்களில் அதிக துல்லியம் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யும் தன்மையை உறுதிசெய்து, செதில்களின் நிலையின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாட்டைப் பராமரிக்க மின்னியல் சக்திகளைப் பயன்படுத்துகிறது. ESC சக்கின் வடிவமைப்பு, அதன் வலுவான பொருள் தேர்வு மற்றும் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய பரிமாணங்களுடன் இணைந்து, பொறித்தல், படிவு மற்றும் அயன் பொருத்துதல் போன்ற செயல்முறைகளில் பல்துறை மற்றும் அத்தியாவசியமான கருவியாக அமைகிறது.

ESC சக், சக்கின் மின்முனைகளுக்கும் செதில்களுக்கும் இடையே உயர் மின்னழுத்த மின்னியல் புலத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் செயல்படுகிறது, இது செதில்களை வைத்திருக்கும் ஒரு கவர்ச்சியான சக்தியை உருவாக்குகிறது. பொதுவாக சிலிக்கான் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடால் செய்யப்பட்ட செதில், இந்த விசையால் பாதுகாக்கப்படுகிறது, இது அதிக வெற்றிட சூழல்களில் துல்லியமான செயல்பாடுகளை அனுமதிக்கிறது. இந்த அமைப்பு மெக்கானிக்கல் கிளாம்பிங் அல்லது வெற்றிட சக்கிங்கின் தேவையை நீக்குகிறது, இது அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தலாம் அல்லது செதில்களை சிதைக்கலாம். ஒரு ESC சக்கைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் நுட்பமான புனையமைப்பு செயல்முறைகளுக்கு ஒரு தூய்மையான, நிலையான சூழலை அடைய முடியும், இது அதிக மகசூல் மற்றும் மிகவும் நிலையான முடிவுகளுக்கு வழிவகுக்கும்.

ESC தொழில்நுட்பத்தின் முக்கிய நன்மைகளில் ஒன்று, செதில்களின் மீது உறுதியான பிடியை பராமரிக்கும் திறன் ஆகும், அதே நேரத்தில் அதன் மேற்பரப்பு முழுவதும் சக்தியை சமமாக விநியோகிக்கும். இது செதில் தட்டையாகவும் நிலையானதாகவும் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இது சீரான பொறித்தல் அல்லது படிவுகளை அடைவதற்கு முக்கியமானது, குறிப்பாக சப்மிக்ரான் துல்லியம் தேவைப்படும் செயல்முறைகளில். ESC சக்கின் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய பரிமாணங்கள், நிலையான 200 மிமீ மற்றும் 300 மிமீ செதில்கள் முதல் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு அல்லது முக்கிய குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் சிறப்பு, தரமற்ற அளவுகள் வரை வெவ்வேறு அளவுகளின் செதில்களுக்கு இடமளிக்க அனுமதிக்கின்றன.

ESC சக்கின் கட்டுமானத்தில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்கள், குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் பொதுவாகக் காணப்படும் கடுமையான சூழல்களுடன் இணக்கத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன. உயர் தூய்மை பீங்கான்கள் அலுமினா அவற்றின் சிறந்த மின் காப்பு பண்புகள், வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்பை எதிர்ப்பதன் காரணமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த பண்புகள் சக் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக வெற்றிட நிலைகளில் திறம்பட செயல்பட அனுமதிக்கின்றன, இது ஒரு சுத்தமான அறை சூழலில் நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்கு தேவையான ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது.

தனிப்பயனாக்கம் என்பது ESC சக்ஸின் மற்றொரு குறிப்பிடத்தக்க நன்மையாகும். செமிகண்டக்டர் புனையமைப்பு செயல்முறையின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பொறுத்து, சக்கின் பரிமாணங்கள், மின்முனை கட்டமைப்புகள் மற்றும் பொருள் கலவைகள் ஆகியவை செயலாக்கப்படும் உபகரணங்கள் மற்றும் செதில்களின் தனிப்பட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. பயன்பாட்டில் பிளாஸ்மா பொறித்தல், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) அல்லது உடல் நீராவி படிவு (PVD) ஆகியவை உள்ளடங்கியிருந்தாலும், ESC சக் செயல்திறனை மேம்படுத்தவும், செயலாக்கத்தின் போது செதில்களின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.