இ-சக்

செமிகோரெக்ஸ் ஈ-சக் என்பது கூலம்ப் வகை ESC ஆகும், இது உயர்-தூய்மை அலுமினாவில் இருந்து தயாரிக்கப்பட்டது, பொறித்தல் இயந்திரங்கள், அயன் பொருத்துதல் அமைப்புகள், உடல் நீராவி படிவு (PVD) மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) அமைப்புகள் உட்பட பல்வேறு உபகரணங்களில் விதிவிலக்கான செயல்திறனை வழங்குகிறது. . முக்கியமான செயல்முறைகளின் போது செதில்களை பாதுகாப்பாக வைத்திருப்பது, துல்லியம், நம்பகத்தன்மை மற்றும் மேம்பட்ட உற்பத்தித்திறனை உறுதி செய்வது இதன் முதன்மை செயல்பாடு ஆகும்.


கூலம்ப் வகை மின்னியல் சக்கின் செயல்பாட்டின் பின்னணியில் உள்ள கொள்கை மின்னியல் ஈர்ப்பை அடிப்படையாகக் கொண்டது. ஒரு உயர் மின்னழுத்த நேரடி மின்னோட்டம் (DC) மின்னியல் சக்கிற்குப் பயன்படுத்தப்படும்போது, ​​செராமிக் மின்கடத்தா அடுக்கு மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில் போன்ற தயாரிப்புகளுக்கு இடையே துருவமுனைப்பு ஏற்படுகிறது. உருவாக்கப்படும் மின்னியல் விசைகள் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளின் பொதுவான அதிவேக மற்றும் அதிக அழுத்த நிலைமைகளின் கீழ் கூட நிலைத்திருக்க அனுமதிக்கும் ஒரு உறுதியான, ஆனால் மென்மையான, செதில்களை உருவாக்குகிறது. செமிகோரெக்ஸ் ஈ-சக் கட்டுமானத்தில் பயன்படுத்தப்படும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட அலுமினா பொருள் இந்த நோக்கத்திற்காக சரியான மின்கடத்தா ஊடகத்தை வழங்குகிறது, அதன் சிறந்த இன்சுலேடிங் பண்புகள் மற்றும் அதிக வெப்ப எதிர்ப்பிற்கு நன்றி.

கூலம்ப் வகை E-Chuck இன் முக்கியமான அம்சம், செதில் மற்றும் சக் மேற்பரப்புக்கு இடையே சீரான மற்றும் சீரான தொடர்பை பராமரிக்கும் திறன் ஆகும். பொறித்தல், படிதல் அல்லது அயன் பொருத்துதல் போன்ற பல்வேறு செயல்முறை நிலைகளின் போது செதில்கள் பாதுகாப்பாக வைத்திருப்பதை இது உறுதி செய்கிறது. சக்கின் வடிவமைப்பில் உள்ள உயர் துல்லியம், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் கோரப்படும் உயர்தர வெளியீட்டை அடைவதற்கு முக்கியமானதாகும். மேலும், இந்த துல்லியமான ஹோல்டிங் பொறிமுறையானது செயல்பாட்டின் போது குறைந்தபட்ச இயக்கம் அல்லது சறுக்கலை உறுதி செய்கிறது, குறைபாடுகள் அல்லது செதில்களுக்கு சேதம் ஏற்படுவதைத் தடுக்கிறது, அவை பெரும்பாலும் உடையக்கூடிய மற்றும் விலை உயர்ந்தவை.

Semicorex E-Chuck பல முக்கிய அம்சங்களை வழங்குகிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. முதலாவதாக, பொறித்தல் மற்றும் படிவு செயல்முறைகள் போன்ற கடுமையான பிளாஸ்மா சூழல்களில் கூட, சக்கிற்குள் உள்ள உள் மின்முனைகள் பாதுகாப்பான மற்றும் நம்பகமான செதில் பொருத்துதலை உறுதி செய்கின்றன. செதில் சீரமைப்பு மற்றும் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க இந்த நிர்ணய முறை முக்கியமானது, இது செயல்முறையின் துல்லியம் மற்றும் இறுதி குறைக்கடத்தி தயாரிப்பின் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது.

மற்றொரு முக்கியமான அம்சம், உள்ளமைக்கப்பட்ட ஹீட்டர்களின் ஒருங்கிணைப்பு ஆகும், இது செயலாக்கத்தின் போது செதில்களின் வெப்பநிலையில் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகள் பெரும்பாலும் விரும்பிய பொருள் பண்புகள் அல்லது பொறித்தல் பண்புகளை அடைய குறிப்பிட்ட வெப்ப நிலைகள் தேவைப்படுகின்றன. Semicorex E-Chuck பல மண்டல வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாட்டுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது, இது செதில் முழுவதும் சீரான மற்றும் சீரான வெப்பத்தை உறுதிசெய்கிறது, இது குறைபாடுகள் அல்லது சீரான முடிவுகளுக்கு வழிவகுக்கும் வெப்ப சாய்வுகளைத் தடுக்கிறது. CVD மற்றும் PVD போன்ற செயல்முறைகளில் இந்த வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாடு மிகவும் முக்கியமானது, அங்கு உயர்தர மெல்லிய படங்களை உருவாக்குவதற்கு சீரான பொருள் படிவு அவசியம்.

கூடுதலாக, E-சக் கட்டுமானத்தில் உயர்-தூய்மை அலுமினாவைப் பயன்படுத்துவது துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் குறிப்பிடத்தக்க கவலையாக உள்ளது. சிறிய அளவிலான மாசுபாடுகள் கூட இறுதி தயாரிப்பில் குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும், விளைச்சலைக் குறைத்து செலவுகளை அதிகரிக்கும். Semicorex E-Chuck இன் குறைந்த துகள் உருவாக்கும் பண்பு, செயல்முறை முழுவதும் செதில் சுத்தமாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, உற்பத்தியாளர்கள் அதிக மகசூல் மற்றும் சிறந்த தயாரிப்பு நம்பகத்தன்மையை அடைய உதவுகிறது.

E-Chuck ஆனது பிளாஸ்மா அரிப்பை மிகவும் எதிர்க்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது அதன் செயல்திறனில் மற்றொரு முக்கியமான காரணியாகும். பிளாஸ்மா எச்சிங் போன்ற செயல்களில், செதில்கள் அதிக வினைத்திறன் கொண்ட அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட வாயுக்களுக்கு வெளிப்படும், சக் இந்த கடுமையான நிலைமைகளை சிதைக்காமல் அல்லது அசுத்தங்களை வெளியிடாமல் தாங்கிக்கொள்ள முடியும். செமிகோரெக்ஸ் இ-சக்கில் பயன்படுத்தப்படும் அலுமினாவின் பிளாஸ்மா-எதிர்ப்பு பண்புகள், இந்த கோரும் சூழல்களுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது, நீண்ட கால நீடித்து நிலைத்திருப்பதையும், நீண்ட காலத்திற்கு நிலையான செயல்திறனையும் உறுதி செய்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் இ-சக்கின் இயந்திர வலிமை மற்றும் உயர்-துல்லியமான எந்திரம் ஆகியவை குறிப்பிடத்தக்கவை. செமிகண்டக்டர் செதில்களின் நுட்பமான தன்மை மற்றும் உற்பத்தியில் தேவைப்படும் இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கருத்தில் கொண்டு, சக்கை சரியான தரத்திற்கு உற்பத்தி செய்வது முக்கியம். E-Chuck இன் உயர்-துல்லியமான வடிவம் மற்றும் மேற்பரப்பு முடித்தல், செதில்கள் பாதுகாப்பாகவும் சமமாகவும் வைத்திருப்பதை உறுதிசெய்கிறது, சேதம் அல்லது செயலாக்க முரண்பாடுகளின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. இந்த இயந்திர வலிமை, சிறந்த வெப்ப மற்றும் மின் பண்புகளுடன் இணைந்து, Semicorex E-Chuck ஐ பரந்த அளவிலான குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு நம்பகமான மற்றும் பல்துறை தீர்வாக ஆக்குகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் ஈ-சக் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் சிக்கலான கோரிக்கைகளுக்கான அதிநவீன தீர்வைக் குறிக்கிறது. கூலம்ப் வகை மின்னியல் கிளாம்பிங், உயர்-தூய்மை அலுமினா கட்டுமானம், ஒருங்கிணைந்த வெப்பமூட்டும் திறன்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் கலவையானது, பொறித்தல், அயன் பொருத்துதல், PVD மற்றும் CVD போன்ற செயல்முறைகளில் அதிக துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை அடைவதற்கு இது ஒரு தவிர்க்க முடியாத கருவியாக அமைகிறது. அதன் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய வடிவமைப்பு மற்றும் வலுவான செயல்திறனுடன், Semicorex E-Chuck ஆனது உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வரிகளின் செயல்திறன் மற்றும் விளைச்சலை அதிகரிக்க விரும்பும் ஒரு சிறந்த தேர்வாகும்.