CVD இரசாயன நீராவி படிவு உலைகள்

CVD மற்றும் CVI க்காக வடிவமைக்கப்பட்ட செமிகோரெக்ஸ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு உலைகள், ஒரு அடி மூலக்கூறில் பொருட்களை வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. எதிர்வினை வெப்பநிலை 2200 ° C வரை இருக்கும். வெகுஜன ஓட்டம் கட்டுப்பாடுகள் மற்றும் மாடுலேட்டிங் வால்வுகள் N, H, Ar, CO2, மீத்தேன், சிலிக்கான் டெட்ராகுளோரைடு, மெத்தில் ட்ரைக்ளோரோசிலேன் மற்றும் அம்மோனியா போன்ற எதிர்வினை மற்றும் கேரியர் வாயுக்களை ஒருங்கிணைக்கின்றன. டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பொருட்களில் சிலிக்கான் கார்பைடு, பைரோலிடிக் கார்பன், போரான் நைட்ரைடு, ஜிங்க் செலினைடு மற்றும் துத்தநாக சல்பைடு ஆகியவை அடங்கும். CVD இரசாயன நீராவி படிவு உலைகள் கிடைமட்ட மற்றும் செங்குத்து அமைப்புகளைக் கொண்டுள்ளன.

விண்ணப்பம்:சி/சி கலப்புப் பொருட்களுக்கான SiC பூச்சு, கிராஃபைட்டுக்கான SiC பூச்சு, ஃபைபர் மற்றும் பலவற்றிற்கான SiC, BN மற்றும் ZrC பூச்சு.

Semicorex CVD இரசாயன நீராவி படிவு உலைகளின் அம்சங்கள்

1. நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்காக உயர்தர பொருட்களால் செய்யப்பட்ட வலுவான வடிவமைப்பு;

2. வெகுஜன ஓட்டம் கட்டுப்படுத்திகள் மற்றும் உயர்தர வால்வுகளின் பயன்பாடு மூலம் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட எரிவாயு விநியோகம்;

3. பாதுகாப்பான மற்றும் நம்பகமான செயல்பாட்டிற்காக அதிக வெப்பநிலை பாதுகாப்பு மற்றும் எரிவாயு கசிவு கண்டறிதல் போன்ற பாதுகாப்பு அம்சங்களைக் கொண்டுள்ளது;

4.பல வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு மண்டலங்களைப் பயன்படுத்துதல், சிறந்த வெப்பநிலை சீரான தன்மை;

5. நல்ல சீல் விளைவு மற்றும் சிறந்த மாசு எதிர்ப்பு செயல்திறன் கொண்ட சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட படிவு அறை;

6. படிவு இறந்த மூலைகள் மற்றும் சரியான படிவு மேற்பரப்பு இல்லாமல், சீரான வாயு ஓட்டத்துடன் பல படிவு சேனல்களைப் பயன்படுத்துதல்;

7. இது படிவு செயல்பாட்டின் போது தார், திட தூசி மற்றும் கரிம வாயுக்களுக்கான சிகிச்சையைக் கொண்டுள்ளது

*மேலே உள்ள அளவுருக்கள் செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப சரிசெய்யப்படலாம், அவை ஏற்றுக்கொள்ளும் தரநிலை, விவரம் விவரக்குறிப்பு அல்ல. தொழில்நுட்ப முன்மொழிவு மற்றும் ஒப்பந்தங்களில் கூறப்படும்.