சி/சி ஹீட்டர்

மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தியில், உயர்தர படிக கட்டமைப்புகளை அடைவதற்கு துல்லியமான வெப்பக் கட்டுப்பாடு அவசியம். செமிகோரெக்ஸ் சி/சி ஹீட்டர் (கார்பன்/கார்பன் மெயின் ஹீட்டர்) விதிவிலக்கான வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது உயர் வெப்பநிலை படிக வளர்ச்சி அமைப்புகளில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக உள்ளது.

மேலே காட்டப்பட்டுள்ள C/C ஹீட்டர், தற்போதைய விநியோகம் மற்றும் வெப்பக் கதிர்வீச்சை மேம்படுத்துவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட துல்லிய-வெட்டு ஸ்லாட்டுகளுடன் பிரிக்கப்பட்ட வளைய அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. இந்த கட்டமைப்பு வெப்ப மண்டலம் முழுவதும் அதிக சீரான வெப்ப உற்பத்தியை செயல்படுத்துகிறது, வெப்ப சாய்வுகளை திறம்பட குறைக்கிறது மற்றும் நிலையான படிக வளர்ச்சி நிலைமைகளை ஆதரிக்கிறது. மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் (CZ முறை) மற்றும் பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் உற்பத்தி போன்ற செயல்முறைகளில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அங்கு வெப்பநிலை துல்லியம் நேரடியாக பொருள் தரம் மற்றும் விளைச்சலை பாதிக்கிறது.

பாரம்பரிய கிராஃபைட் ஹீட்டர்கள் பெரும்பாலும் அதிக வெப்பநிலை சுழற்சிகளில் இயந்திர நீண்ட ஆயுள் மற்றும் வெப்ப சிதைவுடன் போராடுகின்றன.C/C கலவைகள், அதிக வலிமை கொண்ட கார்பன் இழைகளால் வலுவூட்டப்பட்டு, ஒரு சிறந்த மாற்றீட்டை வழங்குகிறது. கார்பன் ஃபைபர்களால் வலுவூட்டப்பட்ட கார்பன் மேட்ரிக்ஸைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், சிலிக்கான் இங்காட் வளர்ச்சியின் போது உருகும்-திடமான இடைமுகத்தைக் கட்டுப்படுத்த தேவையான துல்லியமான வெப்பநிலை சாய்வுகளை வழங்கும் போது C/C ஹீட்டர் விதிவிலக்கான கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்கிறது.

முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்:

அடர்த்தி: ≥1.50 g/cm³

வெப்ப கடத்துத்திறன் (RT): ≥40 W/(m·K)

மின் எதிர்ப்புத்திறன் (RT): 20-30 μΩ·m

மின் எதிர்ப்பாற்றல் (உயர் வெப்பநிலை): 14-20 μΩ·m

சிலிக்கான் வளர்ச்சிக்கான முக்கிய நன்மைகள்

1. விதிவிலக்கான வெப்ப சீரான தன்மை

சி/சி மெயின் ஹீட்டரின் முதன்மை செயல்பாடு சமச்சீர் வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குவதாகும். மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வளர்ச்சியில், வெப்பநிலை சாய்வில் ஒரு சிறிய ஏற்ற இறக்கம் கூட ஆக்ஸிஜன் மழைப்பொழிவு சிக்கல்கள் அல்லது இடப்பெயர்வுகளுக்கு வழிவகுக்கும். எங்கள் ஹீட்டர்களின் ஃபைபர்-வலுவூட்டப்பட்ட அமைப்பு, க்ரூசிபிள் முழுவதும் வெப்பம் சமமாக வெளிப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, இது நிலையான வளர்ச்சி விகிதத்தை ஊக்குவிக்கிறது.

2. மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன தூய்மை

மாசுபாடு குறைக்கடத்தி செயல்திறனின் எதிரி. சாம்பல் உள்ளடக்கம் குறைந்தபட்சமாக (பொதுவாக <20ppm) வைக்கப்படுவதை உறுதிசெய்ய, எங்கள் C/C ஹீட்டர்கள் உயர்-வெப்பநிலை சுத்திகரிப்பு செயல்முறைகளுக்கு உட்படுகின்றன. இது சிலிக்கான் உருகலில் உலோக அசுத்தங்கள் வெளியேறுவதைத் தடுக்கிறது, N-வகை அல்லது P-வகை செதில்களுக்குத் தேவையான உயர் எதிர்ப்புத் திறன் மற்றும் கேரியர் வாழ்நாளை உறுதி செய்கிறது.

3. நீண்ட ஆயுள் மற்றும் செலவு-திறன்

நிலையான ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டுடன் ஒப்பிடும்போது,C/C கலவைகள்அதிக வலிமை-எடை விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளது. அவை வெப்ப அதிர்ச்சியை மிகவும் எதிர்க்கும் மற்றும் 1500℃ க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் நீடித்த பயன்பாட்டிற்குப் பிறகு உடையக்கூடியதாக இருக்காது. ஃபேப் ஆபரேட்டர்களுக்கு இந்த நீடித்து உலைக் கிழிப்புகள் மற்றும் குறைந்த மொத்த உரிமைச் செலவை ஏற்படுத்துகிறது.

செமிகண்டக்டர் துறையில் பயன்பாடுகள்

முதன்மையாக சிலிக்கான் டிராயர்களில் (CZ உலைகள்) மத்திய வெப்பமூட்டும் உறுப்பாகப் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், இந்த C/C ஹீட்டர்களும் ஒருங்கிணைந்தவை:

பாலிசிலிகான் குறைப்பு உலைகள்: இரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறைக்கு நிலையான வெப்பத்தை வழங்குதல்.

உயர்-வெப்பநிலை வெற்றிட உலைகள்: மேம்பட்ட பீங்கான் பொருட்களின் சின்டரிங் மற்றும் அனீலிங்.