அலுமினா வேஃபர் பாலிஷிங் தட்டுகள்

செமிகோரெக்ஸ் அலுமினா செதில் பாலிஷ் தட்டுகள்ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்துதல், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான எந்திரம் மூலம் உயர் தூய்மை அலுமினாவிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் துல்லியமான இயந்திர பாகங்கள். அலுமினா பீங்கான் விதிவிலக்கான இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளை வழங்குவதால், அதி-உயர் மேற்பரப்பு துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனுக்கான கடுமையான தேவைகளுடன், குறிப்பாக குறைக்கடத்தி செதில் மெருகூட்டலுக்கு, துல்லியமான பாலிஷ் பயன்பாடுகளுக்கு அவை சிறந்தவை.

---

சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பிற்கான நீண்ட ஆயுட்காலம்

உயர் துல்லியமான எந்திரத்தில் பயன்படுத்தப்படும் செதில் பாலிஷ் தட்டுகளுக்கு அதிக உடைகள் எதிர்ப்பு அவசியம். அலுமினா பீங்கான் மோஸ் கடினத்தன்மை சுமார் 9 ஆகும், இது வைரம் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடுக்கு அடுத்தபடியாக உள்ளது, இது செமிகண்டக்டர் செதில் மெருகூட்டலின் போது குறைந்த தேய்மானத்துடன் கூடிய செமிகண்டக்டர் மெருகூட்டலின் போது அதிவேக, உயர்-கடமை உராய்வு இயக்க நிலைமைகளைத் தாங்குவதற்கு செதில் பாலிஷ் தட்டுகளை அனுமதிக்கிறது. இந்த சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்புடன், அலுமினா செதில் பாலிஷ் பிளேட்டுகள் நீடித்த சேவை வாழ்க்கையை வெளிப்படுத்துகின்றன, மாற்றத்திற்கான உபகரணங்களை நிறுத்தும் அதிர்வெண்ணைக் கணிசமாகக் குறைக்கின்றன மற்றும் பராமரிப்பு மற்றும் மாற்று செலவுகளைக் குறைக்கின்றன.

விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு

அலுமினாசெதில் மெருகூட்டல் தகடுகள் அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பின் காரணமாக 1000℃ உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் அவற்றின் இயற்பியல் பண்புகள் மற்றும் உராய்வு செயல்திறனை பராமரிக்க முடியும். அடிக்கடி உராய்வினால் ஏற்படும் அதிக வெப்பநிலை வேலை நிலைமைகளுக்கு அவை பொருத்தமானவை, வெப்ப சிதைவை திறம்பட தவிர்க்கின்றன மற்றும் நிலையான மெருகூட்டல் மேற்பரப்பை வைத்திருக்க பங்களிக்கின்றன.

நம்பகமான இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு

அலுமினா செதில் பாலிஷ் தட்டுகள் நம்பகமான இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன. அவை பெரும்பாலான அமிலங்கள் மற்றும் காரங்களையும், CMP செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் பொதுவான இரசாயன மெருகூட்டல் தீர்வுகளையும் தாங்கும். அவற்றின் மேற்பரப்பு தட்டையானது இரசாயன அரிப்பினால் சமரசம் செய்யப்படாது, இதனால் குறைக்கடத்தி செதில்களின் மேற்பரப்பு தரம் பாதிக்கப்படுகிறது.

---

செமிகோரெக்ஸ் அலுமினா செதில் பாலிஷ் தட்டுகளுக்கான விண்ணப்பங்கள்

1.செமிகண்டக்டர் செதில் பாலிஷ்

சிலிக்கான், SiC, சபையர் மற்றும் பல்வேறு செதில் அடி மூலக்கூறுகளின் அரைத்தல், கடினமான மெருகூட்டல் மற்றும் பூச்சு மெருகூட்டல் ஆகியவற்றில் அலுமினா செதில் பாலிஷ் தட்டுகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவற்றின் அதி-குறைந்த கடினத்தன்மை மற்றும் நானோ அளவிலான மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மைக்கு நன்றி, அலுமினா செதில் மெருகூட்டல் தகடுகள் பொறித்தல் மற்றும் லித்தோகிராபி போன்ற மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளின் சரியான மேற்பரப்பு தரத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும்.

2.செதில் மெலிதல் மற்றும் விளிம்பு மெருகூட்டல்

செதில் மெலிதல் செயல்பாட்டின் போது, ​​அலுமினா செதில் மெருகூட்டல் தட்டுகள் துல்லியமாக செதில் தடிமன் கட்டுப்படுத்த மற்றும் ஒரே சீராக பின்பக்க பொருட்களை நீக்க பயன்படுத்தப்படும். விளிம்பு மெருகூட்டல் செயல்பாட்டில், அலுமினா மெருகூட்டல் தகடுகள் செதில் விளிம்புகளில் உள்ள பர்ர்கள் மற்றும் குறைபாடுகளை நீக்குவதன் மூலம் உகந்த செதில் விளிம்பு தரத்தை அடைய உதவும்.