செமிகோரெக்ஸ் ஆல்ன் ஹீட்டர்கள் மேம்பட்ட பீங்கான் அடிப்படையிலான வெப்பக் கூறுகள் ஆகும், இது உயர் செயல்திறன் கொண்ட வெப்ப பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த ஹீட்டர்கள் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், மின் காப்பு மற்றும் வேதியியல் மற்றும் இயந்திர அழுத்தத்திற்கு எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன, இது தொழில்துறை மற்றும் அறிவியல் பயன்பாடுகளை கோருவதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. அல்ன் ஹீட்டர்கள் துல்லியமான மற்றும் சீரான வெப்பத்தை வழங்குகின்றன, அதிக நம்பகத்தன்மை மற்றும் ஆயுள் தேவைப்படும் சூழல்களில் திறமையான வெப்ப நிர்வாகத்தை உறுதி செய்கின்றன.*
செமிகோரெக்ஸ் ஆல்ன் ஹீட்டர்கள் செமிகண்டக்டராகும் செமிகண்டக்டர் பொருட்களை சூடாக்கப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சாதனமாகும். இது முக்கியமாக தயாரிக்கப்படுகிறதுஅலுமினிய நைட்ரைடு பீங்கான்பொருள், சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானதாக செயல்பட முடியும். ஹீட்டர் பொதுவாக ஒரு எதிர்ப்பு கம்பியை வெப்பமூட்டும் உறுப்பாகப் பயன்படுத்துகிறது. வெப்பமயமாக்க எதிர்ப்பு கம்பியை உற்சாகப்படுத்துவதன் மூலம், குறைக்கடத்தி பொருளின் வெப்பத்தை அடைய வெப்பம் ஹீட்டரின் மேற்பரப்புக்கு மாற்றப்படுகிறது. குறைக்கடத்திக்கான அல்ன் ஹீட்டர்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, மேலும் படிக வளர்ச்சி, அனீலிங் மற்றும் பேக்கிங் போன்ற செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தலாம்.
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முன்-இறுதி செயல்பாட்டில் (FEOL), பல்வேறு செயல்முறை சிகிச்சைகள் செதிலில் செய்யப்பட வேண்டும், குறிப்பாக ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலைக்கு செதில்களை சூடாக்க வேண்டும், மேலும் கடுமையான தேவைகள் உள்ளன, ஏனெனில் வெப்பநிலையின் சீரான தன்மை தயாரிப்பு விளைச்சலில் மிக முக்கியமான செல்வாக்கைக் கொண்டுள்ளது; அதே நேரத்தில், வெற்றிடம், பிளாஸ்மா மற்றும் ரசாயன வாயுக்கள் இருக்கும் சூழலிலும் குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் செயல்பட வேண்டும், இதற்கு பீங்கான் ஹீட்டர்களின் (பீங்கான் ஹீட்டர்) பயன்பாடு தேவைப்படுகிறது. பீங்கான் ஹீட்டர்கள் குறைக்கடத்தி மெல்லிய திரைப்பட படிவு கருவிகளின் முக்கிய கூறுகள். அவை செயல்முறை அறையில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் செதில் ஒரு நிலையான மற்றும் சீரான செயல்முறை வெப்பநிலையைப் பெறவும், செதில் ஒரு நிலையான மற்றும் சீரான செயல்முறை வெப்பநிலையைப் பெறவும், அதிக துல்லியமாக செதில் மேற்பரப்பில் மெல்லிய படங்களை எதிர்வினையாற்றவும் உருவாக்கவும் செதில் தொடர்பு கொள்ளப்படுகின்றன.
பீங்கான் ஹீட்டர்களுக்கான மெல்லிய திரைப்பட படிவு உபகரணங்கள் பொதுவாக அடிப்படையில் பீங்கான் பொருட்களைப் பயன்படுத்துகின்றனஅலுமினிய நைட்ரைடு (ALN)அதிக வெப்பநிலை இருப்பதால். அலுமினிய நைட்ரைடு மின் காப்பு மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது; கூடுதலாக, அதன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் சிலிக்கானுக்கு அருகில் உள்ளது, மேலும் இது சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது ஒரு குறைக்கடத்தி சாதன கூறுகளாக பயன்படுத்த மிகவும் பொருத்தமானது.
ஆல்ன் ஹீட்டர்களில் செதிலைக் கொண்ட ஒரு பீங்கான் தளமும், பின்புறத்தில் அதை ஆதரிக்கும் ஒரு உருளை ஆதரவு உடலும் அடங்கும். பீங்கான் தளத்தின் உள்ளே அல்லது மேற்பரப்பில், வெப்பத்திற்கான எதிர்ப்பு உறுப்பு (வெப்ப அடுக்கு) கூடுதலாக, ஒரு RF மின்முனை (RF அடுக்கு) உள்ளது. விரைவான வெப்பம் மற்றும் குளிரூட்டலை அடைவதற்கு, பீங்கான் அடித்தளத்தின் தடிமன் மெல்லியதாக இருக்க வேண்டும், ஆனால் மிக மெல்லியதாக இருக்க வேண்டும். ஆல்ன் ஹீட்டர்களின் ஆதரவு உடல் பொதுவாக அடித்தளத்திற்கு ஒத்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கொண்ட ஒரு பொருளால் ஆனது, எனவே ஆதரவு உடல் பெரும்பாலும் அலுமினிய நைட்ரைடால் ஆனது. பிளாஸ்மா மற்றும் அரிக்கும் வேதியியல் வாயுக்களின் விளைவுகளிலிருந்து முனையங்கள் மற்றும் கம்பிகளைப் பாதுகாக்க ALN ஹீட்டர்கள் ஒரு தண்டு (தண்டு) கூட்டு அடிப்பகுதியின் தனித்துவமான கட்டமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கின்றன. ஹீட்டரின் சீரான வெப்பநிலையை உறுதிப்படுத்த ஆதரவு உடலில் வெப்ப பரிமாற்ற வாயு நுழைவு மற்றும் கடையின் குழாய் வழங்கப்படுகிறது. அடிப்படை மற்றும் ஆதரவு உடல் வேதியியல் ரீதியாக ஒரு பிணைப்பு அடுக்குடன் பிணைக்கப்பட்டுள்ளன.
ஒரு எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் உறுப்பு ஹீட்டர் தளத்தில் புதைக்கப்படுகிறது. இது ஒரு சுழல் அல்லது செறிவான வட்ட சுற்று வடிவத்தை உருவாக்க கடத்தும் பேஸ்ட் (டங்ஸ்டன், மாலிப்டினம் அல்லது டான்டலம்) மூலம் திரை அச்சிடுவதன் மூலம் உருவாகிறது. நிச்சயமாக, உலோக கம்பி, உலோக கண்ணி, உலோகத் தகடு போன்றவற்றையும் பயன்படுத்தலாம். திரை அச்சிடும் முறையைப் பயன்படுத்தும் போது, ஒரே வடிவத்தின் இரண்டு பீங்கான் தகடுகள் தயாரிக்கப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றில் ஒன்றின் மேற்பரப்பில் கடத்தும் பேஸ்ட் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பின்னர், ஒரு எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் உறுப்பை உருவாக்குவது சின்டர் செய்யப்படுகிறது, மேலும் மற்ற பீங்கான் தட்டு ஒரு மின்தடை உறுப்பை அடிவாரத்தில் புதைக்க எதிர்க்கும் வெப்பமூட்டும் உறுப்புடன் ஒன்றுடன் ஒன்று உள்ளது.
அலுமினிய நைட்ரைடு மட்பாண்டங்களின் வெப்ப கடத்துத்திறனை பாதிக்கும் முக்கிய காரணிகள் லட்டு, ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம், தூள் தூய்மை, நுண் கட்டமைப்பு போன்றவற்றின் அடர்த்தி ஆகும், அவை அலுமினிய நைட்ரைடு மட்பாண்டங்களின் வெப்ப கடத்துத்திறனை பாதிக்கும்.