மின்னியல் சக் ESC

Semicorex Electrostatic Chuck ESC ஆனது, அதன் மின்கடத்தா செராமிக் லேயரில் பயன்படுத்தப்படும் உயர் மின்னழுத்த நேரடி மின்னோட்டத்தைப் (DC) பயன்படுத்தி, மின்னியல் ஒட்டுதல் கொள்கையின் அடிப்படையில் செயல்படுகிறது. இந்தத் தொழில்நுட்பமானது, செயலாக்கத்தின் போது செதில்கள் அல்லது பிற பொருட்களைப் பாதுகாப்பாக இணைக்க அனுமதிக்கிறது, பல்வேறு புனையமைப்பு நிலைகளில் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியம் ஆகிய இரண்டையும் உறுதி செய்கிறது.

சக்கிற்கு அதிக DC மின்னழுத்தம் பயன்படுத்தப்படும் போது, ​​பீங்கான் மின்கடத்தா அடுக்கில் உள்ள சார்ஜ் செய்யப்பட்ட அயனிகள் இடம்பெயர்ந்து அதன் மேற்பரப்பில் குவிகின்றன. இது சக் மற்றும் செயலாக்கப்பட வேண்டிய தயாரிப்புக்கு இடையே ஒரு வலுவான மின்னியல் புலத்தை உருவாக்குகிறது. உருவாக்கப்படும் மின்னியல் ஈர்ப்பு செதில்களை வைத்திருக்கும் அளவுக்கு வலுவானது, சிக்கலான மற்றும் உயர்-துல்லியமான செயல்பாடுகளின் போதும் அது அசையாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. இந்த பாதுகாப்பான பிடிப்பு மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் இது மைக்ரோ-இயக்கங்கள் மற்றும் அதிர்வுகளைக் குறைக்க உதவுகிறது, இது பதப்படுத்தப்பட்ட செதில்களின் தரம் மற்றும் ஒருமைப்பாட்டை சமரசம் செய்யலாம். குறைந்தபட்ச இயந்திர தொடர்பு கொண்ட செதில்களைப் பாதுகாக்கும் திறன் உடல் சேதத்தைத் தடுக்கிறது, இது பாரம்பரிய கிளாம்பிங் முறைகளை விட ஒரு தனித்துவமான நன்மையாகும்.

J-R வகை மின்னியல் சக் ESC ஆனது இந்த மின்னியல் ஒட்டுதலை உருவாக்குவதற்கு அவசியமான உள்ளமைக்கப்பட்ட மின்முனைகளுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது. இந்த மின்முனைகள் செதில் அல்லது செயலாக்கப்படும் பிற பொருட்களின் மேற்பரப்பு முழுவதும் மின்னியல் சக்தியை சமமாக விநியோகிக்க சக்கிற்குள் நிலைநிறுத்தப்படுகின்றன. இந்த சீரான விநியோகம் சீரான அழுத்தத்தை உறுதி செய்கிறது, இது பொறித்தல், அயனி பொருத்துதல் மற்றும் படிவு போன்ற சிக்கலான செயல்முறைகளின் போது சீரான தன்மையை பராமரிக்க அவசியம். எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் ESC வழங்கும் துல்லியமான ஒட்டுதல், நவீன குறைக்கடத்தி புனையலின் கோரும் விவரக்குறிப்புகளுக்கு இடமளிக்க அனுமதிக்கிறது.

அதன் முதன்மையான ஒட்டுதல் செயல்பாட்டிற்கு கூடுதலாக, எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் ESC ஒரு அதிநவீன வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது. சக் ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட வெப்பமூட்டும் கூறுகளை உள்ளடக்கியது, அவை செயலாக்கப்படும் பொருளின் வெப்பநிலையைக் கட்டுப்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு ஒரு முக்கியமான காரணியாகும், ஏனெனில் சிறிய வெப்பநிலை மாறுபாடுகள் கூட செயல்முறையின் முடிவை பாதிக்கலாம். மின்னியல் சக் ESC பல-மண்டல வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது, இது செதில்களின் வெவ்வேறு பிரிவுகளை சுயாதீனமாக சூடாக்க அல்லது குளிர்விக்க அனுமதிக்கிறது. இது செதில்களின் முழு மேற்பரப்பிலும் வெப்பநிலை தொடர்ந்து பராமரிக்கப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, சீரான செயலாக்க முடிவுகளை ஊக்குவிக்கிறது மற்றும் வெப்ப சேதம் அல்லது சிதைவு அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

மின்னியல் சக் ESC இன் கட்டுமானத்தில் உயர்-தூய்மை பொருட்களைப் பயன்படுத்துவது மற்றொரு குறிப்பிடத்தக்க அம்சமாகும். இந்த சக்கிற்கு தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொருட்கள் துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, இது குறைக்கடத்தி புனையலில் முக்கியமான கவலையாகும். சிறிய துகள்கள் கூட புனையப்படும் நுண் கட்டமைப்புகளில் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தலாம், இது விளைச்சல் குறைவதற்கும் தயாரிப்பு தோல்விக்கு வழிவகுக்கும். உயர் தூய்மையான பொருட்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எலெக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் ESC ஆனது, செயலாக்க சூழலில் அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தும் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, இதனால் உயர்தர உற்பத்தியை ஆதரிக்கிறது.

மின்னியல் சக் ESC என்பது பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு எதிர்ப்பாகும். பல குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், குறிப்பாக பொறித்தல் மற்றும் படிவு ஆகியவற்றில், சக் எதிர்வினை பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கு வெளிப்படும். காலப்போக்கில், இந்த வெளிப்பாடு சக்கில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களை சிதைத்து, அதன் செயல்திறன் மற்றும் ஆயுட்காலத்தை பாதிக்கிறது. எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் ESC குறிப்பாக பிளாஸ்மா அரிப்பை எதிர்க்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது கடுமையான செயலாக்க சூழல்களிலும் கூட அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்திறனை பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது. இந்த ஆயுள் நீண்ட சேவை வாழ்க்கைக்கு மொழிபெயர்க்கிறது, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி வரிசையில் வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது.

மின்னியல் சக் ESC இன் இயந்திர பண்புகளும் முக்கியமான முக்கியத்துவம் வாய்ந்தவை. சக் மிகவும் இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மையுடன் தயாரிக்கப்படுகிறது, அதன் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளுக்குத் தேவையான துல்லியமான வடிவம் மற்றும் பரிமாணங்களை அது பராமரிக்கிறது. தேவையான மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மை மற்றும் மென்மையை அடைவதற்கு உயர்-துல்லியமான எந்திர நுட்பங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இவை மின்னியல் ஒட்டுதலை உறுதி செய்வதற்கும் மென்மையான செதில்களை சேதப்படுத்தும் அபாயத்தைக் குறைப்பதற்கும் அவசியம். சக்கின் இயந்திர வலிமை சமமாக ஈர்க்கக்கூடியது, இது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த செயல்முறைகளின் போது விதிக்கப்படும் உடல் அழுத்தங்களை சிதைக்காமல் அல்லது செதில்களை பாதுகாப்பாக வைத்திருக்கும் திறனை இழக்காமல் தாங்க அனுமதிக்கிறது.