மின்னியல் சக் இ-சக்

Semicorex Electrostatic Chuck E-Chuck மின்னியல் ஈர்ப்பு கொள்கைகளின் அடிப்படையில் செயல்படுகிறது, இது இயந்திர கவ்விகள் அல்லது வெற்றிட உறிஞ்சுதல் தேவையில்லாமல் நம்பகமான மற்றும் துல்லியமான செதில் தக்கவைப்பை வழங்குகிறது.

ஆன்டேஷன், PVD, CVD, போன்றவை செமிகண்டக்டர் செயலாக்கம். அதன் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய பரிமாணங்கள், இது பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளுக்கு மாற்றியமைக்கக்கூடியதாக ஆக்குகிறது, இது செமிகண்டக்டர் புனையமைப்பு செயல்முறைகளில் நெகிழ்வுத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனைத் தேடும் நிறுவனங்களுக்கு இது ஒரு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.

ஜே-ஆர் வகை மின்னியல் சக் இ-சக்கின் அடிப்படை தொழில்நுட்பம், செதில் மற்றும் சக்கின் மேற்பரப்பிற்கு இடையே மின்னியல் சக்தியை உருவாக்கும் திறன் ஆகும். சக்கிற்குள் பதிக்கப்பட்ட மின்முனைகளுக்கு உயர் மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் இந்த விசை உருவாக்கப்படுகிறது, இது செதில் மற்றும் சக் இரண்டிலும் கட்டணங்களைத் தூண்டுகிறது, இதன் மூலம் வலுவான மின்னியல் பிணைப்பை உருவாக்குகிறது. இந்த பொறிமுறையானது செதில்களை பாதுகாப்பாக வைத்திருப்பது மட்டுமல்லாமல், செதில் மற்றும் சக்கிற்கு இடையேயான உடல் தொடர்பைக் குறைத்து, உணர்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி பொருட்களை சேதப்படுத்தும் சாத்தியமான மாசுபாடு அல்லது இயந்திர அழுத்தத்தை குறைக்கிறது.

Semicorex வாடிக்கையாளர்களின் தேவைகளைப் பொறுத்து, 200 மிமீ முதல் 300 மிமீ அல்லது அதற்கும் அதிகமான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்புகளை உருவாக்க முடியும். இந்த தனிப்பயனாக்கக்கூடிய விருப்பங்களை வழங்குவதன் மூலம், J-R வகை ESC ஆனது பிளாஸ்மா பொறித்தல், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD), இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) மற்றும் அயன் பொருத்துதல் உள்ளிட்ட பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு அதிகபட்ச நெகிழ்வுத்தன்மையை வழங்குகிறது.

பொருட்களின் அடிப்படையில், எலெக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் இ-சக், அலுமினா (Al2O3) அல்லது அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) போன்ற உயர்தர பீங்கான் பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, அவை அவற்றின் சிறந்த மின்கடத்தா பண்புகள், இயந்திர வலிமை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மைக்கு பெயர் பெற்றவை. இந்த மட்பாண்டங்கள் அதிக வெப்பநிலை, அரிக்கும் சூழல்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா வெளிப்பாடு போன்ற குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்குவதற்குத் தேவையான நீடித்த தன்மையுடன் சக்கிற்கு வழங்குகின்றன. கூடுதலாக, செராமிக் மேற்பரப்பு செதில்களுடன் சீரான தொடர்பை உறுதிப்படுத்தவும், மின்னியல் விசையை மேம்படுத்தவும் மற்றும் ஒட்டுமொத்த செயல்முறை செயல்திறனை மேம்படுத்தவும் அதிக அளவு மென்மைக்கு மெருகூட்டப்படுகிறது.

மின்னியல் சக் E-சக் பொதுவாக குறைக்கடத்தி புனையலில் எதிர்கொள்ளும் வெப்ப சவால்களைக் கையாள வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. பொறித்தல் அல்லது படிதல் போன்ற செயல்முறைகளின் போது வெப்பநிலை மேலாண்மை மிகவும் முக்கியமானது, அங்கு செதில்களின் வெப்பநிலை விரைவாக ஏற்ற இறக்கமாக இருக்கும். சக்கில் பயன்படுத்தப்படும் பீங்கான் பொருட்கள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனை வழங்குகின்றன, இது வெப்பத்தை திறமையாக சிதறடிக்கவும் மற்றும் நிலையான செதில் வெப்பநிலையை பராமரிக்கவும் உதவுகிறது.

மின்னியல் சக் E-Chuck ஆனது துகள் மாசுபாட்டைக் குறைப்பதில் முக்கியத்துவத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கியமானது, அங்கு நுண்ணிய துகள்கள் கூட இறுதி தயாரிப்பில் குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும். சக்கின் மென்மையான பீங்கான் மேற்பரப்பு துகள் ஒட்டுதலின் வாய்ப்பைக் குறைக்கிறது, மேலும் செதில் மற்றும் சக்கிற்கு இடையிலான உடல் தொடர்பு குறைவது, மின்னியல் வைத்திருக்கும் பொறிமுறையின் காரணமாக, மாசுபாட்டின் அபாயத்தை மேலும் குறைக்கிறது. J-R வகை ESC இன் சில மாதிரிகள் மேம்பட்ட மேற்பரப்பு பூச்சுகள் அல்லது துகள்களை விரட்டும் மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும் சிகிச்சைகளையும் உள்ளடக்கியது, சுத்தம் அறை சூழல்களில் சக்கின் நீண்ட ஆயுளையும் நம்பகத்தன்மையையும் அதிகரிக்கிறது.

சுருக்கமாக, J-R வகை மின்னியல் சக் E-சக் என்பது ஒரு பல்துறை மற்றும் நம்பகமான செதில்-பிடிப்பு தீர்வாகும், இது பரந்த அளவிலான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் விதிவிலக்கான செயல்திறனை வழங்குகிறது. அதன் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய வடிவமைப்பு, மேம்பட்ட எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் ஹோல்டிங் தொழில்நுட்பம் மற்றும் வலுவான பொருள் பண்புகள் ஆகியவை தூய்மை மற்றும் துல்லியத்தின் மிக உயர்ந்த தரத்தை பராமரிக்கும் அதே வேளையில் செதில் கையாளுதலை மேம்படுத்த விரும்பும் நிறுவனங்களுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. பிளாஸ்மா பொறித்தல், படிதல் அல்லது அயன் பொருத்துதல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்பட்டாலும், J-R வகை ESC ஆனது இன்றைய குறைக்கடத்தித் தொழிலின் கோரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யத் தேவையான நெகிழ்வுத்தன்மை, நீடித்துழைப்பு மற்றும் செயல்திறனை வழங்குகிறது. கூலொம்ப் மற்றும் ஜான்சன்-ரஹ்பெக் ஆகிய இரண்டு முறைகளிலும் செயல்படும் திறன், அதிக வெப்பநிலையைக் கையாளுதல் மற்றும் துகள் மாசுபாட்டை எதிர்க்கும் திறன் ஆகியவற்றுடன், J-R வகை ESC ஆனது அதிக மகசூல் மற்றும் மேம்பட்ட செயல்முறை விளைவுகளைப் பின்தொடர்வதில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக உள்ளது.