8 அங்குல வேஃபர்ஹோல்டர் மோதிரங்கள்

செமிகோரெக்ஸ் 8-இன்ச் வேஃபர்ஹோல்டர் மோதிரங்கள் முக்கியமான வெப்ப, பொறித்தல் மற்றும் படிவு செயல்முறைகள் மூலம் சிலிக்கான் செதில்களைப் பாதுகாப்பதற்கும் ஆதரிப்பதற்கும் நோக்கம் கொண்ட அதிநவீன குறைக்கடத்தி செயலாக்க வன்பொருள் ஆகும். அடர்த்தியான உயர்தர கிராஃபைட்டிலிருந்து கட்டப்பட்டதுசிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு (sic)கூடுதல் வலிமைக்கு, செதில் வைத்திருப்பவர் வளையம் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, வேதியியல் எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றைக் கொடுக்கிறது, இது சி.வி.டி (வேதியியல் நீராவி படிவு), பி.இ.சி.வி.டி மற்றும் எபிடாக்ஸி அமைப்புகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் பயன்படுத்த ஏற்றது.

முக்கிய அம்சங்கள்:

பொருள் கலவை:

அடி மூலக்கூறு பொருள்உயர் தூய்மை கிராஃபைட், இது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டிற்கு தேர்ந்தெடுக்கப்படுகிறது. அதிக அடர்த்தி மற்றும் சீருடைசிலிக்கான் கார்பைடு (sic) திரைப்பட பூச்சுமேற்பரப்பில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, 1000 ° C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் கூட ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் வேதியியல் தாக்குதலுக்கு அதிக எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. கலவையில் நீண்ட காலத்தின் அடுக்கு ஆயுள் மற்றும் செதில்களின் மாசுபடுவதற்கான குறைந்த ஆபத்து உள்ளது.

பாதுகாப்பான செதில் பொருத்துதல்

குறிப்பாக 8 அங்குல (200 மிமீ) செதில்களை வைத்திருக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, வேஃபர்ஹோல்டர் மோதிரம் துல்லியமான சகிப்புத்தன்மையையும் உகந்த முறையில் வடிவமைக்கப்பட்ட உள் வடிவவியலையும் கொண்டுள்ளது. வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல் மற்றும் வாயு ஓட்டத்தின் போது வளையம் நிலைத்தன்மையில் உள்ளது, இது மைக்ரோ-இயக்கத்தைக் குறைக்கிறது, இது துகள் உருவாக்கம் அல்லது செதில் உடைப்புக்கு வழிவகுக்கும்.

வெப்ப சீரான தன்மை:

கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் உள்ளார்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் எஸ்.ஐ.சி பூச்சின் நிலைத்தன்மை ஆகியவை செதில் மேற்பரப்பில் நிலையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்கின்றன. இது நிலையான செயல்முறை முடிவுகள், வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைத்தல் மற்றும் சிறந்த சாதன மகசூல் ஆகியவற்றில் விளைகிறது.

வேதியியல் மற்றும் பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு:

SIC மேற்பரப்பு கிராஃபைட் மையத்தை கடுமையான செயல்முறை பிளாஸ்மாக்கள் மற்றும் வாயுக்களிலிருந்து பாதுகாக்கிறது, இது மீண்டும் மீண்டும் செயல்முறை சுழற்சிகளுக்கு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. அரிக்கும் ஆலசன் கொண்ட செதுக்கல் அல்லது எதிர்வினை வாயு சூழல்களில் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை குறிப்பாக நன்மை பயக்கும்.

தனிப்பயனாக்கம் கிடைக்கிறது:

8 அங்குல வேஃபர்ஹோல்டர் மோதிரங்கள் குறிப்பிட்ட உபகரணங்கள் அல்லது செயல்முறை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயன் வடிவமைக்கப்படலாம், அதாவது, விளிம்பு ஆதரவு வடிவமைப்பில் உள்ள மாறுபாடுகள், இடங்களின் இருப்பிடம் மற்றும் பெருகிவரும் உள்ளமைவு. ஒவ்வொரு பயன்பாட்டிற்கும் சாத்தியமான அதிக செயல்திறனை வழங்க எங்கள் வடிவமைப்பாளர்கள் OEM கள் மற்றும் FAB களுடன் இணைந்து பணியாற்றுகிறார்கள்.

விண்ணப்பங்கள்:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகள்
• பரவல் உலைகள்
• உயர் வெப்பநிலை அனீலிங்
• பிற குறைக்கடத்தி வெப்ப செயலாக்க அமைப்புகள்

ஒவ்வொரு 8 அங்குல வேஃபர்ஹோல்டர் மோதிரங்களும் பரிமாண துல்லியம் சரிபார்ப்பு, பூச்சு ஒட்டுதல் சோதனை மற்றும் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல் தகுதி போன்ற கடுமையான ஆய்வுக்கு உட்படுகின்றன. எங்கள் மேம்பட்ட உற்பத்தி தொழில்நுட்பம் சீரான SIC பூச்சு தடிமன் மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் அதிக கோரிக்கைகளை நிறைவேற்ற மிகச்சிறந்த மேற்பரப்பு பூச்சு உறுதி செய்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் 8-இன்ச் வேஃபர்ஹோல்டர் மோதிரங்கள் (எஸ்.ஐ.சி-பூசப்பட்ட கிராஃபைட்) அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான ஒரு அத்தியாவசிய உபகரணமாகும், இது இயந்திர துல்லியம், பொருள் ஆயுள் மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. செயல்முறை உபகரணங்கள் மேம்படுத்தல்கள் முதல் அடுத்த தலைமுறை வேஃபர் தளங்களை நிர்மாணிப்பது வரை, இந்த தயாரிப்பு இன்றைய கோரும் உற்பத்தி சூழல்களை செயல்படுத்த தேவையான நம்பகத்தன்மையையும் செயல்திறனையும் வழங்குகிறது.