செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு வளையம் என்பது டான்டலம் கார்பைடுடன் பூசப்பட்ட ஒரு கிராஃபைட் வளையமாகும், இது சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி உலைகளில் துல்லியமான வெப்பநிலை மற்றும் வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்ய வழிகாட்டி வளையமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. செமிகோரெக்ஸை அதன் மேம்பட்ட பூச்சு தொழில்நுட்பம் மற்றும் உயர்தரப் பொருட்களுக்குத் தேர்வுசெய்து, படிக வளர்ச்சி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு ஆயுளை மேம்படுத்தும் நீடித்த மற்றும் நம்பகமான கூறுகளை வழங்குகிறது.*
செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு ரிங் என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிக வளர்ச்சி உலைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த கூறு ஆகும், இது ஒரு முக்கியமான வழிகாட்டி வளையமாக செயல்படுகிறது. உயர்தர கிராஃபைட் வளையத்திற்கு டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஒன்றைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது, இந்த தயாரிப்பு SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் உள்ளார்ந்த உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. கிராஃபைட் மற்றும் TaC ஆகியவற்றின் கலவையானது வலிமை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன உடைகளுக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் விதிவிலக்கான சமநிலையை வழங்குகிறது, இது துல்லியம் மற்றும் ஆயுள் தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.
டான்டலம் கார்பைடு வளையத்தின் மையமானது பிரீமியம் தர கிராஃபைட்டால் ஆனது, அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் உயர்ந்த வெப்பநிலையில் பரிமாண நிலைத்தன்மைக்காக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. கிராஃபைட்டின் தனித்துவமான அமைப்பு, உலைக்குள் உள்ள தீவிர நிலைமைகளைத் தாங்கி, படிக வளர்ச்சி செயல்முறை முழுவதும் அதன் வடிவம் மற்றும் இயந்திர பண்புகளை பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது.
வளையத்தின் வெளிப்புற அடுக்கு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) உடன் பூசப்பட்டுள்ளது, இது அதன் அசாதாரண கடினத்தன்மை, அதிக உருகுநிலை (தோராயமாக 3,880 ° C) மற்றும் இரசாயன அரிப்புக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பு, குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலை சூழலில் அறியப்பட்ட ஒரு பொருள். TaC பூச்சு ஆக்கிரமிப்பு இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு எதிராக ஒரு பாதுகாப்பு தடையை வழங்குகிறது, கிராஃபைட் மையமானது கடுமையான உலை வளிமண்டலத்தால் பாதிக்கப்படாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. இந்த இரட்டைப் பொருள் கட்டுமானமானது வளையத்தின் ஒட்டுமொத்த ஆயுட்காலத்தை அதிகரிக்கிறது, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையைக் குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது.
சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சியில் பங்கு
SiC படிகங்களின் உற்பத்தியில், ஒரு நிலையான மற்றும் சீரான வளர்ச்சி சூழலை பராமரிப்பது உயர்தர படிகங்களை அடைவதற்கு முக்கியமானது. டான்டலம் கார்பைடு வளையம் வாயுக்களின் ஓட்டத்தை வழிநடத்துவதிலும், உலைக்குள் வெப்பநிலை பரவலைக் கட்டுப்படுத்துவதிலும் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. ஒரு வழிகாட்டி வளையமாக, இது வெப்ப ஆற்றல் மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களின் சீரான விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது குறைந்தபட்ச குறைபாடுகளுடன் SiC படிகங்களின் சீரான வளர்ச்சிக்கு அவசியம்.
கிராஃபைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன், TaC பூச்சுகளின் பாதுகாப்பு பண்புகளுடன் இணைந்து, SiC படிக வளர்ச்சிக்குத் தேவையான உயர் இயக்க வெப்பநிலையில் வளையத்தை திறமையாகச் செயல்பட அனுமதிக்கிறது. மோதிரத்தின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை ஆகியவை நிலையான உலை நிலைமைகளை பராமரிக்க முக்கியம், இது உற்பத்தி செய்யப்படும் SiC படிகங்களின் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது. உலைக்குள் வெப்ப ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் இரசாயன இடைவினைகளைக் குறைப்பதன் மூலம், டான்டலம் கார்பைடு வளையமானது, உயர்தர மின்னியல் பண்புகளைக் கொண்ட படிகங்களின் உற்பத்திக்கு பங்களிக்கிறது, மேலும் அவை உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) ரிங் என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி உலைகளுக்கு இன்றியமையாத அங்கமாகும், இது ஆயுள், வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் சிறந்த செயல்திறனை வழங்குகிறது. கிராஃபைட் கோர் மற்றும் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஆகியவற்றின் தனித்துவமான கலவையானது, அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்பாட்டைப் பராமரிக்கும் போது உலையின் தீவிர நிலைமைகளைத் தாங்க அனுமதிக்கிறது. உலைக்குள் வெப்பநிலை மற்றும் வாயு ஓட்டத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்வதன் மூலம், TaC ரிங் உயர்தர SiC படிகங்களின் உற்பத்திக்கு பங்களிக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் மிகவும் மேம்பட்ட பயன்பாடுகளுக்கு அவசியம்.
உங்கள் SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறைக்கு Semicorex Tantalum கார்பைடு வளையத்தைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது நீண்ட கால செயல்திறன், குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு செலவுகள் மற்றும் சிறந்த படிக தரம் ஆகியவற்றை வழங்கும் ஒரு தீர்வில் முதலீடு செய்வதாகும். பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் அல்லது பிற உயர் செயல்திறன் கொண்ட செமிகண்டக்டர் அப்ளிகேஷன்களுக்கு SiC வேஃபர்களை நீங்கள் தயாரித்தாலும், உங்கள் உற்பத்திச் செயல்பாட்டில் நிலையான முடிவுகளையும் சிறந்த செயல்திறனையும் உறுதிப்படுத்த TaC ரிங் உதவும்.