டான்டலம் கார்பைடு குரூசிபிள்

Semicorex Tantalum Carbide Crucible ஆனது கிராஃபைட்டிலிருந்து மிக நுணுக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது டான்டலம் கார்பைடு (TaC) உடன் பூசப்பட்டது, இது SiC படிக வளர்ச்சியின் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் தேவையுள்ள சூழலில் சிறந்த செயல்திறனை வழங்குகிறது.

டான்டலம் கார்பைடு என்பது அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் மிக அதிக வெப்பநிலையில் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கும் திறனுக்காக அறியப்பட்ட ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருள் ஆகும். கிராஃபைட் க்ரூசிபிளை TaC உடன் பூசுவதன் மூலம், டான்டலம் கார்பைடு க்ரூசிபிள் இந்த நன்மையான பண்புகளைப் பெறுகிறது, அதன் செயல்திறன் மற்றும் ஆயுட்காலம் கணிசமாக அதிகரிக்கிறது. TaC பூச்சு ஒரு பாதுகாப்புத் தடையாக செயல்படுகிறது, வளர்ச்சியின் போது இருக்கும் SiC பொருள் அல்லது பிற வாயுக்களுடன் கிராஃபைட் வினைபுரிவதைத் தடுக்கிறது. க்ரூசிபிள் அதன் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது மற்றும் SiC படிகங்களின் தரத்தை சமரசம் செய்யக்கூடிய எந்த அசுத்தங்களையும் அறிமுகப்படுத்தாது என்பதை இது உறுதி செய்கிறது.

டான்டலம் கார்பைடு க்ரூசிபிள் SiC படிக வளர்ச்சிக்குத் தேவையான உயர்ந்த வெப்பநிலையில் செயல்படும் திறனைக் கொண்டுள்ளது. SiC படிகங்கள் பொதுவாக 2000°C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் வளர்க்கப்படுகின்றன, மேலும் உயர்தர படிகங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு இத்தகைய உயர் வெப்பநிலையை தொடர்ந்து பராமரிப்பது மிகவும் முக்கியமானது. TaC- பூசப்பட்ட கிராஃபைட் க்ரூசிபிள் இந்த தீவிர நிலைமைகளை சிதைக்காமல் அல்லது சிதைக்காமல் தாங்கும், இது படிக வளர்ச்சி செயல்முறைக்கு ஒரு நிலையான சூழலை வழங்குகிறது. செமிகண்டக்டர் பயன்பாடுகளுக்கு தேவையான படிக அளவு, தூய்மை மற்றும் கட்டமைப்பு பண்புகளை அடைவதற்கு இந்த நிலைத்தன்மை அவசியம்.

டான்டலம் கார்பைடு க்ரூசிபிள் வலுவான இரசாயன எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது SiC படிக வளர்ச்சிக்கு அவசியமானது. வளர்ச்சி செயல்முறை முழுவதும், பல்வேறு வாயுக்கள் மற்றும் எதிர்வினை இனங்கள் SiC படிகங்களை உருவாக்க உதவுகின்றன. இந்தச் சூழல்கள் மிகவும் அரிக்கும் தன்மை கொண்டவையாக இருக்கலாம், இது சிலுவையின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டிற்கு ஆபத்தை விளைவிக்கிறது. TaC பூச்சு இந்த அரிக்கும் கூறுகளிலிருந்து கிராஃபைட்டை திறம்பட பாதுகாக்கிறது. இரசாயனத் தாக்குதலுக்கான இந்த எதிர்ப்பானது க்ரூசிபிளின் ஆயுளை நீடிப்பது மட்டுமல்லாமல், படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் செலவு-செயல்திறனுக்கும் பங்களிக்கிறது.