டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட ரிசீவர்

இந்த செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் பல்வேறு பொருட்கள் மற்றும் பூச்சுகளில், Semicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor அவற்றின் விதிவிலக்கான பண்புகள் மற்றும் செயல்திறன் காரணமாக தனித்து நிற்கிறது. டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் விளக்கம், குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செதில்களை ஆதரிக்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்ட TaC பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டரின் அம்சங்கள், நன்மைகள் மற்றும் பயன்பாடுகளை ஆராய்கிறது.

டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டரின் முக்கிய பொருள் பொதுவாக கிராஃபைட் ஆகும், இது அதிக வெப்பநிலையில் அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இயந்திர நிலைத்தன்மைக்காக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. இருப்பினும், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் எதிர்கொள்ளும் கடுமையான சூழல்களுக்கு கிராஃபைட் மட்டும் பொருத்தமானது அல்ல. அதன் செயல்திறனை மேம்படுத்த, சஸ்செப்டரில் டான்டலம் கார்பைடு அடுக்கு பூசப்பட்டுள்ளது. TaC, ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருள், தோராயமாக 3880 ° C உயர் உருகும் புள்ளி, விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை மற்றும் இரசாயன அரிப்பை எதிர்க்கும். இந்த பண்புகள் TaC ஐ உயர் வெப்பநிலை மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக ஆக்கிரமிப்பு சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படும் சஸ்பெப்டர்களுக்கு சிறந்த பூச்சு பொருளாக ஆக்குகிறது.

TaC பூச்சுகளின் முதன்மையான நன்மைகளில் ஒன்று, சஸ்செப்டரின் வெப்ப நிலைத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துவதாகும். இது டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்பெப்டரை சீரழிவு இல்லாமல் தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்க அனுமதிக்கிறது, இது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் உடல் நீராவி படிவு (PVD) போன்ற செயல்முறைகளில் முக்கியமானது, அங்கு நிலையான வெப்ப செயல்திறன் அவசியம். கூடுதலாக, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பல்வேறு எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் இரசாயன அரிப்பு ஆகியவற்றிற்கு TaC இன் சிறந்த எதிர்ப்பானது, நீண்ட காலத்திற்கு சஸ்பெப்டர் அதன் ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்திறனைப் பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது. இது மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.

TaC இன் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவை டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டரை கையாளுதல் மற்றும் செயலாக்கத்தின் போது தேய்மானம் மற்றும் சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்கிறது. இந்த ஆயுட்காலம் சஸ்செப்டரின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வரிகளில் செலவு சேமிப்பு மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது. மேலும், TaC பூச்சு ஒரு மென்மையான மற்றும் சீரான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது, இது SiC செதில்களில் நிலையான மற்றும் உயர்தர படிவுகளை அடைவதற்கு அவசியம். இந்த சீரான தன்மை செதில் மேற்பரப்பின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க உதவுகிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் ஒட்டுமொத்த தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

TaC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டரின் முதன்மை பயன்பாடு SiC செதில்களின் உற்பத்தியில் உள்ளது, அவை அதிக சக்தி மற்றும் உயர் அதிர்வெண் மின்னணு சாதனங்களில் அதிகளவில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. செயல்திறன், வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் மின்னழுத்த எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் பாரம்பரிய சிலிக்கான் செதில்களை விட SiC செதில்கள் சிறந்த செயல்திறனை வழங்குகின்றன. வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD), இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உள்ளிட்ட பல்வேறு செயல்முறைகளில் TaC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

செமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர், குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களில் குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றத்தைக் குறிக்கிறது. வெப்ப நிலைத்தன்மை, இரசாயன எதிர்ப்பு, இயந்திர வலிமை மற்றும் மேற்பரப்பு சீரான தன்மை ஆகியவற்றின் தனித்துவமான கலவையானது SiC செதில்களை உள்ளடக்கிய செயல்முறைகளுக்கு இது ஒரு தவிர்க்க முடியாத அங்கமாக அமைகிறது. TaC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்களைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் தங்கள் உற்பத்தி வரிசையில் உயர் தரம், செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை அடைய முடியும், இறுதியில் மின்னணுத் துறையில் புதுமை மற்றும் முன்னேற்றத்தை உண்டாக்குகிறது.