TaC பூச்சு அப்பர் ஹாஃப்மூன்

செமிகோரெக்ஸ் TaC பூச்சு அப்பர் ஹாஃப்மூன் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் உயர்-செயல்திறன் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளை அடைவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட கூறு.

TaC பூச்சு அதிக வெப்பநிலைக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, இது எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் கோரும் வெப்ப சூழல்களுக்கு TaC பூச்சு மேல் அரை நிலவை உகந்ததாக ஆக்குகிறது. இது நிலையான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது, மாற்று மற்றும் வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது. TaC பூச்சு அப்பர் ஹாஃப்மூன் பொதுவாக எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் பயன்படுத்தப்படும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்களை தாங்கும், கூறுகளின் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது மற்றும் செயல்முறையின் தூய்மையைப் பராமரிக்கிறது.

மென்மையான மற்றும் சீரான TaC பூச்சு குறைபாடுகள் மற்றும் அசுத்தங்களைக் குறைப்பதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது. இது அதிக மகசூல் விகிதங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் சிறந்த மின்னணு பண்புகளுக்கு பங்களிக்கிறது. வெப்ப மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பின் கலவையானது TaC பூச்சு அப்பர் ஹாஃப்மூனின் செயல்பாட்டு ஆயுளை நீட்டிக்கிறது, இது செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனில் அதிக செயல்திறன் மற்றும் செயல்திறனை பராமரிக்க செலவு குறைந்த தீர்வை வழங்குகிறது.

பயன்பாடுகள்:

உயர் வெப்பநிலை இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறைகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) மற்றும் காலியம் நைட்ரைடு (GaN) எபிடாக்ஸி

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்:

பொருள்: டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு

வெப்பநிலை வரம்பு: 2200°C வரை

இரசாயன எதிர்ப்பு: HF, HCl மற்றும் பிற அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு எதிராக சிறந்தது

பரிமாணங்கள்: குறிப்பிட்ட உலை மாதிரிகளுக்கு ஏற்றவாறு தனிப்பயனாக்கக்கூடியது

செமிகோரெக்ஸ் TaC பூச்சு அப்பர் ஹாஃப்மூன் என்பது மேம்பட்ட செயல்திறன் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு அபாயங்களுடன் உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை அடைவதற்கான ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன் மேம்பட்ட பொருள் பண்புகள் மற்றும் துல்லியமான பொறியியல் அதை குறைக்கடத்தி துறையில் மதிப்புமிக்க சொத்தாக ஆக்குகிறது, அடுத்த தலைமுறை மின்னணு சாதனங்களின் உற்பத்தியை ஆதரிக்கிறது.