TaC பூச்சு வழிகாட்டி மோதிரங்கள் என்பது டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் கூடிய கிராஃபைட் வளையமாகும், இது படிக தரத்தை மேம்படுத்த சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி உலைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸை அதன் மேம்பட்ட பூச்சு தொழில்நுட்பத்திற்காக தேர்வு செய்யவும், சிறந்த ஆயுள், வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் உகந்த படிக வளர்ச்சி செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.*
Semicorex TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகங்களின் தரத்தை மேம்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, குறிப்பாக SiC படிக வளர்ச்சி உலைகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில். இந்த TaC பூச்சு வழிகாட்டி மோதிரங்கள், கிராஃபைட்டால் ஆனவை மற்றும் டான்டலம் கார்பைட்டின் உயர்-தூய்மை அடுக்குடன் பூசப்பட்டவை, வளர்ச்சி அறைக்குள் நிலைத்தன்மை மற்றும் கட்டுப்பாட்டை வழங்குகின்றன, மேலும் SiC படிகங்கள் உகந்த பண்புகளுடன் உருவாகின்றன என்பதை உறுதி செய்கிறது. செமிகண்டக்டர், ஆட்டோமோட்டிவ் மற்றும் பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் SiC பொருட்களுக்கான தேவை தொடர்ந்து வளர்ந்து வருவதால், அத்தகைய கூறுகளின் முக்கியத்துவம் இன்னும் உச்சரிக்கப்படுகிறது.
SiC படிக வளர்ச்சி செயல்பாட்டில், உயர்தர படிகங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு நிலையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சூழலை பராமரிப்பது அவசியம். TaC பூச்சு வழிகாட்டி மோதிரங்கள் உலைக்குள் முக்கியமான கூறுகளாக செயல்படுகின்றன, குறிப்பாக விதை படிகத்திற்கான வழிகாட்டி வளையங்களாக செயல்படுகின்றன. அவற்றின் முதன்மை செயல்பாடு உடல் ஆதரவை வழங்குவது மற்றும் வளர்ச்சியின் போது விதை படிகத்தை வழிநடத்துவதாகும். இது படிகமானது நன்கு வரையறுக்கப்பட்ட மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட முறையில் வளர்வதை உறுதிசெய்கிறது, குறைபாடுகள் மற்றும் முரண்பாடுகளைக் குறைக்கிறது.
மேம்படுத்தப்பட்ட படிக தரம்
TaC பூச்சினால் இயக்கப்பட்ட சீரான வெப்பநிலை விநியோகம், இடப்பெயர்வுகள், நுண்குழாய்கள் அல்லது அடுக்கி வைப்பது போன்ற குறைவான குறைபாடுகளுடன், சீரான SiC படிகங்களுக்கு வழிவகுக்கிறது. SiC செதில்கள் பயன்படுத்தப்படும் தொழில்களில் இது மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் இறுதி குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் படிக தரத்தை மிகவும் சார்ந்துள்ளது.
மேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள் மற்றும் ஆயுள்
நீடித்த TaC பூச்சுடன் வலுவான கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் கலவையானது, இந்த வழிகாட்டி வளையங்கள் நீண்ட காலத்திற்கு வளர்ச்சி உலைக்குள் இருக்கும் தீவிர வெப்பநிலை மற்றும் ஆக்கிரமிப்பு நிலைமைகளைத் தாங்கும். இது பராமரிப்பு அல்லது மாற்றீட்டின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது, செயல்பாட்டுச் செலவுகளைக் குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தியாளர்களுக்கான நேரத்தை அதிகரிக்கிறது.
குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு
TaC பூச்சுகளின் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை, கிராஃபைட்டை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் உலை வாயுக்களுடன் பிற இரசாயன எதிர்வினைகளிலிருந்து பாதுகாக்கிறது. இது தூய்மையான வளர்ச்சி சூழலை பராமரிக்க உதவுகிறது, தூய்மையான படிகங்களுக்கு வழிவகுக்கும் மற்றும் SiC செதில் தரத்தை சமரசம் செய்யக்கூடிய அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தும் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.
உயர்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்
டான்டலம் கார்பைட்டின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் வளர்ச்சி அறைக்குள் வெப்பத்தை நிர்வகிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. சமமான வெப்ப விநியோகத்தை ஊக்குவிப்பதன் மூலம், வழிகாட்டி வளையங்கள் ஒரு நிலையான வெப்ப சூழலை உறுதி செய்கின்றன, இது பெரிய மற்றும் உயர்தர SiC படிகங்களை வளர்ப்பதற்கு அவசியம்.
உகந்த வளர்ச்சி செயல்முறை நிலைத்தன்மை
முழு படிக வளர்ச்சி செயல்முறை முழுவதும் வழிகாட்டி வளையம் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை தக்கவைத்துக்கொள்வதை TaC பூச்சு உறுதி செய்கிறது. இந்த கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையானது வளர்ச்சி செயல்முறையின் சிறந்த கட்டுப்பாட்டாக மொழிபெயர்க்கிறது, இது உயர்தர SiC படிக உற்பத்திக்குத் தேவையான வெப்பநிலை மற்றும் பிற நிலைமைகளின் துல்லியமான கையாளுதலை அனுமதிக்கிறது.
Semicorex TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி உலைகளில் குறிப்பிடத்தக்க நன்மையை வழங்குகின்றன, SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறையை மேம்படுத்துவதற்கு அத்தியாவசிய ஆதரவு, வெப்பநிலை மேலாண்மை மற்றும் சுற்றுச்சூழல் பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. இந்த மேம்பட்ட கூறுகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் குறைந்த குறைபாடுகள், மேம்பட்ட தூய்மை மற்றும் மேம்பட்ட நிலைத்தன்மையுடன் உயர்தர SiC படிகங்களை அடைய முடியும், மேம்பட்ட பொருட்களை நம்பியிருக்கும் தொழில்களின் வளர்ந்து வரும் தேவைகளை பூர்த்தி செய்யலாம். பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் எலக்ட்ரிக் வாகனங்கள் போன்ற துறைகளில் சிலிக்கான் கார்பைடு தொடர்ந்து புரட்சியை ஏற்படுத்தி வருவதால், படிக உற்பத்தியில் இத்தகைய புதுமையான தீர்வுகளின் பங்கை மிகைப்படுத்த முடியாது.