TaC பூசப்பட்ட வேஃபர் சஸ்பெப்டர்

செமிகோரெக்ஸ் TaC கோடட் வேஃபர் சஸ்செப்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் (எபிஐ) செயலாக்கத்திற்கான மெட்டல்-ஆர்கானிக் கெமிக்கல் நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) உலைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். இந்த சிறப்பு ரவுண்ட் சஸ்செப்டர் உயர்தர கிராஃபைட் பொருட்களிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டது மற்றும் தனித்துவமான டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு கொண்டுள்ளது.

TaC பூச்சுகளின் முதன்மை நோக்கம், குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளின் கோரும் நிலைமைகளின் போது TaC பூசப்பட்ட வேஃபர் சஸ்செப்டரின் செயல்திறன் மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றை மேம்படுத்துவதாகும். டான்டலம் கார்பைடு அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, அதிக உருகுநிலை மற்றும் தேய்மானம் மற்றும் அரிப்பை எதிர்ப்பதற்காக அறியப்படுகிறது. இந்த பண்புகள் TaC கோடட் வேஃபர் சஸ்செப்டரை MOCVD உலைக்குள் ஏற்படும் இரசாயன எதிர்வினைகள் மற்றும் உடல் அழுத்தங்களிலிருந்து அடிப்படை கிராஃபைட் சஸ்செப்டரைப் பாதுகாப்பதற்கான சிறந்த தேர்வாக ஆக்குகிறது.

TaC கோடட் வேஃபர் சஸ்செப்டர் செமிகண்டக்டர் பொருட்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் ஒரு முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. துல்லியமான மற்றும் நம்பகமான குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியை அடைவதற்கு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சூழல்களைத் தாங்கும் அதன் திறன் முக்கியமானது.

TaC கோடட் வேஃபர் சஸ்பெப்டர், அதன் கிராஃபைட் கோர் மற்றும் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன், சீரான மற்றும் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதிசெய்கிறது, இது MOCVD செயல்முறையின் போது வளர்க்கப்படும் குறைக்கடத்தி அடுக்குகளின் மறுஉற்பத்தி மற்றும் தரத்திற்கு பங்களிக்கிறது. இந்த மேம்பட்ட பொருள் கலவையானது, நவீன மின்னணு சாதன உற்பத்தியின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதன் மூலம் குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான நம்பகமான மற்றும் நீடித்த தீர்வாக அமைகிறது.