TaC பூசப்பட்ட குழாய்

Semicorex TaC பூசப்பட்ட குழாயின் சக்தி அடிப்படைப் பொருள் மற்றும் சிறப்புப் பூச்சு ஆகியவற்றின் ஒருங்கிணைந்த கலவையில் உள்ளது:

உயர்-தூய்மை ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட் அறக்கட்டளை:TaC பூசப்பட்ட குழாயின் மையமானது அதி-உயர் தூய்மையான ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட்டிலிருந்து உருவாகிறது, இது சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு உள்ளார்ந்த எதிர்ப்பு ஆகியவற்றிற்கு பெயர் பெற்றது. இந்த அடித்தளம் ஒரு வலுவான மற்றும் நிலையான தளத்தை வழங்குகிறது, இது விரைவான வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் சிறப்பியல்பு உயர் வெப்ப சுமைகளைத் தாங்கும் திறன் கொண்டது.

டான்டலம் கார்பைடு---ஆயுள் மற்றும் செயலற்ற தன்மையின் கவசம்:CVD-பயன்படுத்தப்பட்ட TaC பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை மாற்றுகிறது, விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இந்த பாதுகாப்பு அடுக்கு ஆக்கிரமிப்பு வாயுக்கள், பிளாஸ்மாக்கள் மற்றும் குறைக்கடத்தி புனையலின் போது எதிர்கொள்ளும் எதிர்வினை இனங்களுக்கு எதிராக ஒரு தடையாக செயல்படுகிறது, இது குழாயின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது.

இந்த தனித்துவமான பொருள் கலவையானது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு முக்கியமான பல நன்மைகளாக மொழிபெயர்க்கப்பட்டுள்ளது:

நிகரற்ற வெப்பநிலை எதிர்ப்பு:சிலிக்கான் கார்பைடை (SiC) விஞ்சி, அனைத்து அறியப்பட்ட பொருட்களின் மிக உயர்ந்த உருகும் புள்ளிகளில் ஒன்றாக TaC உள்ளது. இந்த தீவிர வெப்பநிலை எதிர்ப்பானது, 2500°Cக்கு மேல் வெப்பநிலை தேவைப்படும் செயல்முறைகளில் நம்பகத்தன்மையுடன் செயல்படுவதற்கு TaC பூசப்பட்ட குழாயை அனுமதிக்கிறது, இது அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தியை வெப்ப வரவு செலவுகளைக் கோருகிறது.

முக்கியமான செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டிற்கான அல்ட்ரா-ஹை தூய்மை:செமிகண்டக்டர் புனையலில் பழமையான செயல்முறை சூழல்களை பராமரிப்பது மிக முக்கியமானது. உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டின் பயன்பாடு மற்றும் நுணுக்கமான CVD பூச்சு செயல்முறையானது, TaC பூசப்பட்ட குழாயிலிருந்து குறைந்தபட்ச வாயு வெளியேற்றம் அல்லது நுண்துகள் உற்பத்தியை உறுதிசெய்கிறது, இது உணர்திறன் செதில் மேற்பரப்புகள் மற்றும் சாதனத்தின் செயல்திறனை சமரசம் செய்யக்கூடிய மாசுபாட்டைத் தடுக்கிறது.

அசைக்க முடியாத இரசாயன எதிர்ப்பு:TaC பூசப்பட்ட குழாயின் இரசாயன செயலற்ற தன்மை, அரிக்கும் வாயுக்கள், எதிர்வினை அயனிகள் மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இந்த வலுவான இரசாயன நிலைத்தன்மையானது நீட்டிக்கப்பட்ட குழாய் ஆயுட்காலம், குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்புத் தேவைகள் மற்றும் குறைந்த ஒட்டுமொத்த உரிமைச் செலவு என மொழிபெயர்க்கிறது.

நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கைக்கான மேம்படுத்தப்பட்ட இயந்திர ஆயுள்:TaC பூச்சுக்கும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையே உள்ள வலுவான பிணைப்பு விசை, TaC பூசப்பட்ட குழாயின் உள்ளார்ந்த கடினத்தன்மையுடன் இணைந்து, தேய்மானம், அரிப்பு மற்றும் இயந்திர அழுத்தங்களுக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இந்த மேம்பட்ட ஆயுட்காலம் நீண்ட சேவை வாழ்க்கைக்கு மொழிபெயர்க்கிறது மற்றும் மாற்றுதலுக்கான வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது, செயல்முறை செயல்திறன் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.