TaC-பூசிய முத்திரை மோதிரம்

செமிகோரெக்ஸ் TaC-பூசப்பட்ட சீல் ரிங், பிளாஸ்மா எட்ச் கெமிஸ்ட்ரிகள் (எ.கா., ஃப்ளோரின், குளோரின், புரோமின்), டோபண்டுகள் (எ.கா., போரான், பாஸ்பரஸ்), செமிகண்டக்டர் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்களின் பரந்த அளவிலான செயலற்ற தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது. துப்புரவு முகவர்கள். இந்த செயலற்ற தன்மை முத்திரை சிதைவு மற்றும் உணர்திறன் செயல்முறை அறைகளில் மாசுபடுவதை தடுக்கிறது.

மற்றும் 3800°C ஐத் தாண்டிய உருகுநிலையுடன், TaC-பூசப்பட்ட சீல் வளையமானது செதில் செயலாக்கத்தின் போது ஏற்படும் உயர்ந்த வெப்பநிலையில் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் இயந்திர வலிமையைப் பராமரிக்கிறது. இது உயர் வெப்பநிலை அனீலிங், படிவு மற்றும் செதுக்கல் செயல்முறைகளின் போது நம்பகமான சீல் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

TaC-பூசப்பட்ட சீல் வளையத்தின் தீவிர கடினத்தன்மை மற்றும் குறைந்த உராய்வு குணகம் ஆகியவை தேய்மானம், அரிப்பு மற்றும் சிராய்ப்பு ஆகியவற்றிற்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. டைனமிக் சீல் பயன்பாடுகளில் இது மிகவும் முக்கியமானது, மீண்டும் மீண்டும் இயக்கம் அல்லது செதில்கள் மற்றும் பிற கூறுகளுடன் தொடர்பு கொள்வது துகள் உருவாக்கம் மற்றும் சீல் தோல்விக்கு வழிவகுக்கும்.

TaC-கோடட் சீல் ரிங் மிகக் குறைந்த அவுட்கேசிங் விகிதங்களை வெளிப்படுத்துகிறது, உயர்ந்த வெப்பநிலையில் கூட, அவை அதிக வெற்றிட பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. இது செயல்முறை தூய்மையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் உணர்திறன் செதில் பரப்புகளில் தேவையற்ற அசுத்தங்கள் படிவதைத் தடுக்கிறது.

குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் குறிப்பிட்ட நன்மைகள்:

நீட்டிக்கப்பட்ட முத்திரை வாழ்நாள்:TaC-பூசப்பட்ட முத்திரை வளையமானது இரசாயனத் தாக்குதல், வெப்பச் சிதைவு மற்றும் இயந்திர உடைகளுக்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குவதன் மூலம் முத்திரையின் வாழ்நாளை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது. இது முத்திரை மாற்றங்களின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது, வேலையில்லா நேரத்தையும் பராமரிப்புச் செலவுகளையும் குறைக்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை மகசூல் மற்றும் வேஃபர் தரம்:TaC-பூசப்பட்ட முத்திரை வளையத்தின் செயலற்ற தன்மை துகள் உருவாக்கம் மற்றும் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது, இது அதிக செயல்முறை விளைச்சல் மற்றும் மேம்பட்ட செதில் தரத்திற்கு வழிவகுக்கிறது. கடுமையான குறைபாடு சகிப்புத்தன்மையுடன் கூடிய உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

மேம்படுத்தப்பட்ட உபகரணங்கள் இயக்க நேரம் மற்றும் உற்பத்தித்திறன்:நீண்ட முத்திரை ஆயுட்காலம் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு தேவைகள் ஆகியவை உபகரணங்களின் இயக்க நேரம் மற்றும் ஒட்டுமொத்த உற்பத்தித்திறனை அதிகரிக்க பங்களிக்கின்றன. உற்பத்தியை அதிகரிக்கவும், அதிக அளவு குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யவும் இது மிகவும் முக்கியமானது.