சிலிக்கான் கார்பைடு சக்

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு சக் முதன்மைச் செயல்பாடானது, செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன் செயல்முறைகளின் பல்வேறு நிலைகளில் சிலிக்கான் செதில்களைப் பாதுகாப்பாகப் பிடித்து நிலைப்படுத்துவதாகும், அதாவது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD), பொறித்தல் மற்றும் லித்தோகிராபி. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மை.

சிலிக்கான் கார்பைடு சக் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இது செதில் மேற்பரப்பில் திறமையான வெப்பச் சிதறல் மற்றும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை செயல்படுத்துகிறது, வெப்ப சாய்வுகளை குறைக்கிறது மற்றும் அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது செதில் சிதைவு மற்றும் குறைபாடுகளின் அபாயத்தை குறைக்கிறது. பொருளின் மேம்பட்ட விறைப்புத்தன்மை மற்றும் வலிமையானது செதில்களின் நிலையான மற்றும் துல்லியமான நிலைப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது, இது ஒளிக்கதிர் மற்றும் பிற முக்கியமான செயல்முறைகளில் சீரமைப்புத் துல்லியத்தைப் பேணுவதற்கு முக்கியமானது. கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைடு சக் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, இது பொதுவாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயனங்களுக்கு செயலற்றதாக ஆக்குகிறது, இதன் மூலம் சக்கின் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் பயன்படுத்துவதன் மூலம் செயல்திறனை பராமரிக்கிறது. அவற்றின் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம், தீவிர வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழும் பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, வெப்ப சுழற்சியின் போது நிலையான செயல்திறன் மற்றும் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டிற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. மேலும், சிலிக்கான் கார்பைட்டின் உயர் மின் எதிர்ப்புத் திறன் சிறந்த மின் காப்பு, மின் குறுக்கீட்டைத் தடுக்கிறது மற்றும் செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் நேர்மையை உறுதி செய்கிறது.

இரசாயன நீராவி படிவு (CVD): சிலிக்கான் கார்பைடு சக் மெல்லிய படலங்களின் படிவுகளின் போது செதில்களைப் பிடிக்கப் பயன்படுகிறது, இது ஒரு நிலையான மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் தளத்தை வழங்குகிறது.

பொறித்தல் செயல்முறைகள்: அவற்றின் இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் நிலைப்புத்தன்மை சிலிக்கான் கார்பைடு சக்கை வினைத்திறன் அயனி பொறித்தல் (RIE) மற்றும் பிற பொறித்தல் நுட்பங்களில் பயன்படுத்த உகந்ததாக ஆக்குகிறது.

ஃபோட்டோலித்தோகிராபி: சிலிக்கான் கார்பைடு சக்கின் இயந்திர நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் துல்லியமானது, வெளிப்பாடு செயல்பாட்டின் போது ஃபோட்டோமாஸ்க்குகளின் சீரமைப்பு மற்றும் கவனம் செலுத்துவதற்கு அவசியம்.

வேஃபர் ஆய்வு மற்றும் சோதனை: சிலிக்கான் கார்பைடு சக் ஆப்டிகல் மற்றும் எலக்ட்ரானிக் ஆய்வு முறைகளுக்கு நிலையான மற்றும் வெப்ப சீரான தளத்தை வழங்குகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு சக் செமிகண்டக்டர் தொழில்நுட்பத்தை மேம்படுத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, இது செதில் செயலாக்கத்திற்கான நம்பகமான, நிலையான மற்றும் வெப்ப திறன்மிக்க தளத்தை வழங்குகிறது. வெப்ப கடத்துத்திறன், இயந்திர வலிமை, இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் மின் காப்பு ஆகியவற்றின் தனித்துவமான கலவையானது அவற்றை குறைக்கடத்தி துறையில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத அங்கமாக ஆக்குகிறது, அதிக மகசூல் மற்றும் நம்பகமான குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு பங்களிக்கிறது.