சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள்

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகின்றன, இது ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் செயல்முறைகளுக்குத் தேவையான தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்க அனுமதிக்கிறது. அவற்றின் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு விரிசல் அல்லது சிதைவின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, இது நீடித்த செயல்பாட்டு நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது. உயர் அடர்த்தி கொண்ட SIC கலவை சிறந்த இயந்திர வலிமையை வழங்குகிறது, தொடர்ச்சியான வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதலின் கீழ் கூட கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது. இயந்திர அழுத்தத்திற்கு இந்த விதிவிலக்கான எதிர்ப்பு செதில் மாசுபாடு மற்றும் உடைப்பதற்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கிறது, அதிக செயல்முறை விளைச்சலுக்கு பங்களிக்கிறது. மேலும், எஸ்.ஐ.சி படகுகள் மிகச்சிறந்த வேதியியல் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன, ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் படிகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஆக்கிரமிப்பு செயல்முறை வாயுக்களுக்கு மந்தமானவை. இந்த சிறப்பியல்பு தேவையற்ற எதிர்வினைகளைத் தடுக்கிறது, இது செதில் தூய்மை மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை சமரசம் செய்யக்கூடும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் முதன்மையாக ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அங்கு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு செதில் வெளிப்பாடு மீதான துல்லியமான கட்டுப்பாடு அவசியம். வெப்ப ஆக்ஸிஜனேற்றத்தின் போது அவை உயர்மட்ட சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்குகளை வளர்ப்பதற்கும், டோபண்ட் வாயுக்களுக்கு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெளிப்பாடு மூலம் சீரான ஊக்கமயமாக்கலை எளிதாக்குவதற்கும் வெப்ப ஆக்ஸிஜனேற்றத்தின் போது செதில்களை ஆதரிக்கின்றன. கூடுதலாக, அவை நீண்டகால வெப்ப வெளிப்பாடு தேவைப்படும் வருடாந்திர மற்றும் பிற உயர் வெப்பநிலை சிகிச்சைகள் ஆகியவற்றிற்கான நிலையான தளத்தை வழங்குகின்றன.

பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் மற்றும் கிராஃபைட் படகுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் ஒப்பிடமுடியாத ஆயுள், நீண்ட ஆயுள் மற்றும் செயல்திறனை வழங்குகின்றன. மாசுபாட்டைக் குறைக்கும் போது கடுமையான வெப்ப மற்றும் வேதியியல் சூழல்களைத் தாங்கும் திறன் அதிக துல்லியமான குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு விருப்பமான தேர்வாக அமைகிறது. தரம் மற்றும் புதுமைகளை மையமாகக் கொண்டு, எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகள் சிறந்த செயல்திறனை வழங்குகின்றன, மேலும் அதிக மகசூல் மற்றும் உலகெங்கிலும் உள்ள குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு திறமையான செதில் செயலாக்கத்தை உறுதி செய்கின்றன. மேம்பட்ட முனை தொழில்நுட்பங்கள் அல்லது மரபு குறைக்கடத்தி புனையலுக்காக, இந்த படகுகள் கடுமையான தொழில் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய நம்பகமான தீர்வை வழங்குகின்றன.

.

(2) சீரான வெப்பமாக்கல்: சிலிக்கான் கார்பைடு படகு வெப்ப சிகிச்சை செயல்பாட்டின் போது உள்ளே செதில்களை சமமாக சூடாக்க அனுமதிக்கிறது. வெப்ப சிகிச்சை செயல்பாட்டின் போது செதில் ஒவ்வொரு பகுதியின் வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வீதம் சீராக இருப்பதை உறுதிப்படுத்த இது உதவுகிறது, இதன் மூலம் செதிலின் மகசூல் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

தற்போது மூன்று முக்கிய வகைகள் உள்ளனசிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்பொருட்கள்: எதிர்வினை சின்தேரிங், அழுத்தமற்ற சின்தேரிங் மற்றும் மறுகட்டமைப்பு சின்தேரிங். பெரும்பாலான பயன்பாடுகளில், எதிர்வினை சின்டர் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு மிகவும் பொருத்தமான மற்றும் செலவு குறைந்த தயாரிப்பு ஆகும். எஸ்.ஐ.சி படகுகள் வழக்கமாக சின்டர் மற்றும் முதலில் பல யூனிட் பகுதிகளை செயலாக்குகின்றன, பின்னர் எஸ்ஐ பேஸ்ட்டைப் பயன்படுத்தி பாகங்களை அதிக வெப்பநிலையில் ஒரு படகில் இணைக்கவும், இறுதியாக சி.வி.டி-எஸ்.ஐ.சி பூச்சு (சுமார் 100um) பயன்படுத்தவும். மறுகட்டமைப்பு நுண்ணியதாக இருப்பதால், SIC பூச்சு இல்லாவிட்டால், அது குறைக்கடத்தி செயல்பாட்டில் பார்ட்டிகல்களை அறிமுகப்படுத்தும். சி.வி.டி-எஸ்.ஐ.சி பூச்சு கொண்ட இந்த வகை மறுகட்டப்பட்ட எஸ்.ஐ.சி படகு மிக நீண்ட உற்பத்தி செயல்முறையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் இது மிகவும் விலை உயர்ந்தது. SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் படகுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​CVD-SIC பூசப்பட்ட மறுகட்டப்பட்ட SIC படகுகள் CTE பொருந்தாத சிக்கலைக் கொண்டிருக்கவில்லை.