SiC வேஃபர் சக்

SiC வேஃபர் சக்கின் மையத்தில் ஒரு அதிநவீன கலவை உள்ளது, அதன் அடித்தளம் கிராஃபைட்டிலிருந்து கட்டப்பட்டது மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) SiC உடன் துல்லியமாக பூசப்பட்டது. கிராஃபைட் மற்றும் SiC பூச்சுகளின் இந்த இணைவு விதிவிலக்கான ஆயுள் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வது மட்டுமல்லாமல், கடுமையான இரசாயன சூழல்களுக்கு இணையற்ற எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது, உற்பத்தி செயல்முறை முழுவதும் நுட்பமான குறைக்கடத்தி செதில்களின் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது.

SiC வேஃபர் சக் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்பாட்டின் போது திறமையான வெப்பச் சிதறலை எளிதாக்குகிறது. இந்தத் திறன் செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் வெப்ப சாய்வுகளைக் குறைக்கிறது, துல்லியமான குறைக்கடத்தி பண்புகளை அடைவதற்கு முக்கியமான சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது. CVD SiC பூச்சு ஒருங்கிணைப்பதன் மூலம், SiC வேஃபர் சக் குறிப்பிடத்தக்க இயந்திர வலிமை மற்றும் விறைப்புத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, இது செதில் செயலாக்கத்தின் போது எதிர்கொள்ளும் கோரும் நிலைமைகளைத் தாங்கும் திறன் கொண்டது. இந்த வலிமையானது சிதைவு அல்லது சேதத்தின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, குறைக்கடத்தி செதில்களின் ஒருமைப்பாட்டைப் பாதுகாக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி விளைச்சலை அதிகரிக்கிறது.

ஒவ்வொரு SiC வேஃபர் சக் நுணுக்கமான துல்லியமான எந்திரத்திற்கு உட்பட்டு, அதன் மேற்பரப்பு முழுவதும் இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மை மற்றும் உகந்த தட்டையான தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. சக் மற்றும் செமிகண்டக்டர் செதில் இடையே சீரான தொடர்பை அடைவதற்கும், நம்பகமான செதில் இறுக்கத்தை எளிதாக்குவதற்கும், நிலையான செயலாக்க முடிவுகளை உறுதி செய்வதற்கும் இந்தத் துல்லியம் முக்கியமானது.

SiC வேஃபர் சக், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி, இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் வெப்ப செயலாக்கம் உள்ளிட்ட பல்வேறு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பரவலான பயன்பாட்டைக் காண்கிறது. அதன் பல்துறை மற்றும் நம்பகத்தன்மை, முக்கியமான புனையமைப்பு படிகளின் போது SiC செதில்களை ஆதரிப்பதற்கு இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது, இறுதியில் இணையற்ற செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையுடன் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்திக்கு பங்களிக்கிறது.