SiC செயல்முறை குழாய் லைனர்கள்

SiC செயல்முறை குழாய் லைனர்கள் சிலிக்கான் செதில்கள் போன்ற குறைக்கடத்தி பொருட்களின் செயலாக்கம் மற்றும் வளர்ச்சிக்கு ஒரு நிலையான மற்றும் செயலற்ற சூழலை வழங்குகிறது. இந்த லைனர்கள் பொதுவாக குறைக்கடத்தி உலைகளின் எதிர்வினை மண்டலங்களுக்குள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அங்கு வெப்பநிலை, வாயு ஓட்டம் மற்றும் இரசாயன எதிர்வினைகள் ஆகியவற்றின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாடு மிக முக்கியமானது.

SiC செயல்முறை குழாய் லைனர்கள் உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடால் செய்யப்படுகின்றன, இது அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், அதிக வலிமை மற்றும் இரசாயன அரிப்பை எதிர்க்கும். இந்த பொருள் கடுமையான செயலாக்க நிலைமைகளின் கீழ் ஆயுள் மற்றும் ஆயுளை உறுதி செய்கிறது. அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மைக்கு நன்றி, SiC செயல்முறை குழாய் லைனர்கள் குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு செயல்முறைகளின் போது எதிர்கொள்ளும் தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்கும். இந்த நிலைத்தன்மை சீரான மற்றும் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இது பொருள் வளர்ச்சி மற்றும் படிவு மீதான துல்லியமான கட்டுப்பாட்டிற்கு அவசியம்.

SiC செயல்முறை குழாய் லைனர்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன, ஏனெனில் அவை குறைக்கடத்தி பொருட்களின் துல்லியமான வளர்ச்சி மற்றும் செயலாக்கத்திற்கான நிலையான, உயர்-தூய்மை மற்றும் வெப்பமாக நிலையான சூழலை வழங்குகின்றன. அவற்றின் விதிவிலக்கான பண்புகள் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களைத் தயாரிப்பதில் அவற்றை இன்றியமையாத கூறுகளாக ஆக்குகின்றன.