SiC ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ்

Semicorex சப்ளைகள் SiC Focus Rings RTA, RTP அல்லது கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய மிகவும் நிலையானது. SiC ஃபோகஸ் மோதிரங்கள் அல்லது விளிம்பு வளையங்கள் செதில் விளிம்பு அல்லது சுற்றளவைச் சுற்றி எட்ச் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. பிளாஸ்மா எட்ச் செயலாக்கத்தின் கடுமைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை கூறுகள் மூலம் மாசுபாடு மற்றும் திட்டமிடப்படாத பராமரிப்பு ஆகியவற்றைக் குறைக்கவும். SiC பூச்சு கொண்ட எங்களது SiC Focus Rings என்பது அடர்த்தியான, அணிய-எதிர்ப்பு சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு ஆகும். இது அதிக அரிப்பு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பு பண்புகள் மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது. வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி கிராஃபைட்டில் மெல்லிய அடுக்குகளில் SiC ஐப் பயன்படுத்துகிறோம்.

SiC ஃபோகஸ் வளையங்களின் அளவுருக்கள்

SiC ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ் அம்சங்கள்

- சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்த CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள்.

- உயர் செயல்திறன் சுத்திகரிக்கப்பட்ட திடமான கார்பனால் செய்யப்பட்ட வெப்ப காப்பு.

- கார்பன்/கார்பன் கலவை ஹீட்டர் மற்றும் தட்டு. - கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.

- பின்ஹோல் எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக ஆயுட்காலத்திற்கான உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் SiC பூச்சு